一种磁悬浮分子泵动平衡方法技术

技术编号:7338435 阅读:391 留言:0更新日期:2012-05-12 21:27
一种磁悬浮分子泵动平衡方法,在启动磁悬浮分子泵电机后,开启力自由不平衡振动控制模块,如果在力自由不平衡振动控制模块的控制下,转子上的不平衡质量使转子在升速过程中的最大径向振幅不超过保护间隙的1/2,那么不平衡振动控制模块能抑制转子的同频振动,使转子转速能够很快超过其刚性临界转速,从而在较高速度下对磁悬浮分子泵的转子进行动平衡操作。本发明专利技术的动平衡方法,可直接在高速下对磁悬浮分子泵的转子进行动平衡操作,步骤简单、效率高。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:张剀武涵李奇志张小章邹蒙
申请(专利权)人:北京中科科仪技术发展有限责任公司清华大学
类型:发明
国别省市:

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