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本实用新型公开一种复合分子泵的整体转子，包括涡轮叶片级和沟槽拖动级，涡轮叶片级和沟槽拖动级为一整体结构。其优点是：涡轮叶片级和沟槽拖动级为一整体材料，涡轮叶片厚度自根部到边缘厚度逐渐减小，抽气沟槽自顶向下深度逐渐减小，转子固有频率远高于工作...
该专利属于上海三井真空设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海三井真空设备有限公司授权不得商用。

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