装卡光掩模的主动卡爪机构制造技术

本实用新型专利技术涉及一种装卡光掩模的主动卡爪机构，包括支承座、摆动气缸、具有卡口的主动卡爪、主动轴套以及涨套和主动转盘，摆动气缸安装在支承座上，主动转盘通过主动轴套安装在支承座上并与摆动气缸的转子连接，主动卡爪通过涨套与主动转盘连接，支承座或/和摆动气缸安装有控制摆动角度的角度传感器。本实用新型专利技术具有结构合理，安装调试方便，能控制光掩模翻转角度的特点。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种装卡光掩模的主动卡爪机构，属于半导体制造

技术介绍
“光掩模”是集成电路芯片制造中用于批量印刷电路的模版。通过光刻工艺，将光掩模上的电路图案大批量印刷到硅晶圆上。因此光掩模上的任何缺陷都会对芯片的成品率造成很大的影响。目前先进的光掩模清洗工艺是将光掩模放置在冲洗槽内，冲洗槽采用内槽体和外槽体相结合的结构，将可移动托架的托盘设置在内槽体内而形成浅槽结构，托架的托座穿过内槽体与支座连接，清洗时，只需将光掩模平放在托盘内，在托盘压接在内槽体上呈密封状况时，使光掩模横置浸没在药液中，以去除光掩模表面的光刻胶，当托架上移动时，使托架的托盘与内槽体脱离，将药液从内槽体排置外槽体内通过排液流道排出，通过设置在外槽体和托架上的喷嘴实现喷淋冲清，达到对光掩模进行清洗的效果。目前公开一些自动抓取光掩模的装置，体积较大，无法在清洗槽内进行水平抓取、放置以及翻转，而不能应用于上述的清洗工艺，如采用人工放置和拾取光掩模，不仅影响清洗效率，而且也影响清洗效^ ο
技术实现思路
本技术的目的是提供一种结构合理，安装调试方便，能控制光掩模翻转角度的装卡光掩模的主动卡爪机构。本技术为达上述目的的技术方案是一种装卡光掩模的主动卡爪机构，其特征在于包括支承座、摆动气缸、具有卡口的主动卡爪、主动轴套以及涨套和主动转盘，摆动气缸安装在支承座上，主动转盘通过主动轴套安装在支承座上并与摆动气缸的转子连接， 主动卡爪通过涨套与主动转盘连接，支承座或/和摆动气缸上安装有控制摆动角度的角度传感器，或支承座或/和摆动气缸上安装有检测摆动角度的接近开关。本技术主动卡爪机构采用安装在支承座上的主动转套以及主动转盘和主动卡爪，而主动卡爪通过涨套与主动转盘上，通过主动转盘与摆动气缸的转子连接，结构紧凑合理，安装调试非常方便，更换不同型号的主动卡爪非常方便。本技术在支承座或/和摆动气缸安装有控制摆动角度的角度传感器，通过角度传感器控制摆动气缸翻转角度，控制方便，提高了放置和抓取光掩模以及对光掩模翻转的可靠和准确性，实现自动装卡光掩模而提高光掩模清洗效率和清洗效果，能满足不同尺寸光掩模的装夹和翻转要求。以下结合附图对本技术的实施例作进一步的详细描述。附图说明图1是本技术主动卡爪机构的结构示意图。图2是本技术主动卡爪机构的爆炸结构示意图。图3是本技术主动卡爪机构安装在工作台上的结构示意图。其中1-卡爪，1-1-卡口，2-外套，3-连接轴，3-1-凸轴，4_涨套，5_平面轴承， 6-主动轴套，7-紧钉螺钉，8-弹簧，9-滚珠，10-接盘，11-摆动气缸，12-角度传感器，13-主动转盘，14-油槽，15-卡簧，16-支承座，17-被动卡爪机构，18-光掩模，19-工作台。具体实施方式见图1 3所示，本技术的装卡光掩模的主动卡爪机构，包括支承座16、摆动气缸11、具有卡口的主动卡爪、主动轴套6以及涨套4和主动转盘13，摆动气缸11安装在支承座16上，主动转盘13通过主动轴套6安装在支承座16上并与摆动气缸11的转子连接。 主动卡爪机构与被动卡爪机构17安装在工作台19上并对角设置，支承座16安装在托板上随滑块沿直线导轨上移动，抓紧拾取光掩模18或松开光掩模18并放置在托盘上。见图1、 2所示，本技术主动轴套6呈T形，主动轴套6的T形端通过紧固件与支承座16连接， 另一端由安装在主动转盘13上的卡簧15限位，主动转盘13通过接盘10与摆动气缸11的转子连接，主动转盘13与接盘10可采用键连接，或采用卡接式连接，平面轴承5设置在主动转盘13的轴承座内并顶在主动轴套6的T形端面，主动转盘13或主动轴套6上设有油槽14，故能使主动转盘13转动平稳、灵活。见图1所示，本技术主动转盘13上至少设有两个定位孔，主动轴套6上设有滚珠孔，安装在支承座16上的紧钉螺钉7通过弹簧8将设置在主动轴套6上的滚珠9顶在主动转盘13的定位槽内，当摆动气缸11带动主动转盘 13翻转到所需角度后，通过滚珠9对主动转盘13锁定，而提高操作的准确性。见图1、2所示，本技术的主动卡爪通过涨套4与主动转盘13连接，故具有调试方便的特点，主动卡爪由连接轴3和卡爪1构成，卡爪1上设有卡口 1-1，卡爪1上的卡口 1-1采用V形槽或U形槽，方便卡接在光掩模18上，卡爪1通过紧固件与连接轴3连接，连接轴3内侧的凸轴3-1与涨套4连接，主动转盘13上设有螺孔，定位螺钉安装在主动转盘 13上并顶在涨套4上，使涨套4与连接轴3可靠连接，以带动主动卡爪转动，而外侧具有插槽的外套2套装在连接轴3和卡爪1上。见图1、2所示，本技术的支承座16或/和摆动气缸11上安装有检测摆动角度的角度传感器12，或支承座16或/和摆动气缸11上安装有检测摆动角度的接近开关，通过角度传感器12检测摆动气缸11的转子的摆动角度，满足光掩模18的翻转要求，本技术的角度传感器12可采用角位移传感器等。见图1、3所示，本技术工作时，主动卡爪机构和被动卡爪机构在托板的带动下向光掩模方向移动，使卡爪1和被动卡爪抓住光掩模18，再通过主动卡爪机构上的摆动气缸11带动夹爪1转动，同时被动卡爪随夹爪1 一起转动，直到角度传感器12检测卡爪1 翻转到所需角度。当卡爪1翻转到位后，角度传感器12发出信号使摆动气体停止翻转，而当主动卡爪翻转没有到位时，角度传感器12不发出信号而继续翻转直到所控制的翻转角度发出信号。权利要求1.一种装卡光掩模的主动卡爪机构，其特征在于包括支承座(16)、摆动气缸(11)、具有卡口的主动卡爪、主动轴套(6)以及涨套(4)和主动转盘(13)，摆动气缸(11)安装在支承座(16)上，主动转盘(1 通过主动轴套(6)安装在支承座(16)上并与摆动气缸(11)的转子连接，主动卡爪通过涨套(4)与主动转盘(1 连接，支承座(16)或/和摆动气缸(11) 上安装有检测摆动角度的角度传感器(1 ，或支承座(16)或/和摆动气缸(11)上安装有检测摆动角度的接近开关。2.根据权利要求1所述的装卡光掩模的主动卡爪机构，其特征在于所述的主动轴套 (6)呈T形，主动轴套(6)的T形端通过紧固件与支承座(16)连接，另一端由安装在主动转盘(1 上的卡簧(1 限位，主动转盘(1 通过接盘(10)与摆动气缸(11)的转子连接， 平面轴承( 设置在主动转盘(1 的轴承座内并顶在主动轴套(6)的T形端面，主动转盘 (13)或主动轴套(6)上设有油槽(14)。3.根据权利要求1所述的装卡光掩模的主动卡爪机构，其特征在于所述的主动卡爪由连接轴C3)和卡爪(1)构成，卡爪(1)上设有卡口(1-1)，卡爪(1)通过紧固件与连接轴 (3)连接，连接轴(3)内侧的凸轴(3-1)与涨套(4)连接，外侧具有插槽的外套( 套装在连接轴⑶和卡爪⑴上。4.根据权利要求1所述的装卡光掩模的主动卡爪机构，其特征在于所述的主动转盘 (13)上至少设有两个定位孔，主动轴套(6)上设有滚珠孔，安装在支承座(16)上的紧钉螺钉(7)通过弹簧(8)将设置在主动轴套(6)上的滚珠(9)顶在主动转盘(13)的定位槽内。5.根据权利要求1所述的装卡光掩模的主动卡爪机构，其特征在于所述主动转盘 (13)上设有螺孔，定位本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种装卡光掩模的主动卡爪机构，其特征在于：包括支承座（１６）、摆动气缸（１１）、具有卡口的主动卡爪、主动轴套（６）以及涨套（４）和主动转盘（１３），摆动气缸（１１）安装在支承座（１６）上，主动转盘（１３）通过主动轴套（６）安装在支承座（１６）上并与摆动气缸（１１）的转子连接，主动卡爪通过涨套（４）与主动转盘（１３）连接，支承座（１６）或／和摆动气缸（１１）上安装有检测摆动角度的角度传感器（１２），或支承座（１６）或／和摆动气缸（１１）上安装有检测摆动角度的接近开关。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：吉保国，梅琳，
申请(专利权)人：常州瑞择微电子科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：32