装卡光掩模的被动卡爪机构制造技术

本实用新型专利技术涉及一种装卡光掩模的被动卡爪机构，包括支承座、被动转轴以及具有卡口的被动卡爪，所述的被动转轴通过被动轴套安装在支承座上，被动卡爪通过轴向开口的涨套与被动转轴连接，支承座或/和被动转轴上安装有装有检测水平位置的位置检测开关。本实用新型专利技术结构合理，安装调试方便，使卡装光掩模时在水平位置才能进行抓取和放置，故能大幅度提高放置和抓取光掩模的准确性，工作可靠。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种装卡光掩模的被动卡爪机构，属于半导体制造

技术介绍
“光掩模”是集成电路芯片制造中用于批量印刷电路的模版。通过光刻工艺，将光掩模上的电路图案大批量印刷到硅晶圆上。因此光掩模上的任何缺陷都会对芯片的成品率造成很大的影响。目前先进的光掩模清洗工艺是将光掩模放置在冲洗槽内，冲洗槽采用内槽体和外槽体相结合的结构，将可移动托架的托盘设置在内槽体内而形成浅槽结构，托架的托座穿过内槽体与支座连接，清洗时，只需将光掩模平放在托盘内，在托盘压接在内槽体上呈密封状况时，使光掩模横置浸没在药液中，以去除光掩模表面的光刻胶，当托架上移动时，使托架的托盘与内槽体脱离，将药液从内槽体排置外槽体内通过排液流道排出，通过设置在外槽体和托架上的喷嘴实现喷淋冲清，达到对光掩模进行清洗的效果。目前公开一些自动抓取光掩模的装置，体积较大，无法在清洗槽内进行水平抓取和放置、翻转，而不能应用上述的清洗工艺，如采用人工放置和拾取光掩模，不仅影响清洗效率，而且也影响清洗效果。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种结构合理，安装调试方便，放置、抓取光掩模可靠的装卡光掩模的被动卡爪机构。本技术为达上述目的的技术方案是一种装卡光掩模的被动卡爪机构，包括支承座、被动转轴以及具有卡口的被动卡爪，其特征在于所述的被动转轴通过被动轴套安装在支承座上，被动卡爪通过轴向开口的涨套与被动转轴连接，支承座或/和被动转轴上安装有检测水平位置的位置检测开关。本技术被动卡爪机构采用安装在支承座上的被动转套以及被动转轴和被动卡爪，而被动卡爪通过涨套与被动转轴连接，结构紧凑合理，安装调试非常方便，故能方便更换不同型号的被动卡爪。本技术在支承座和被动转轴上安装有检测水平位置的位置检测开关，通过位置检测开关是否输出信号，卡装光掩模时，只能在水平位置才能进行抓取和放置，故能大幅度提高放置和抓取光掩模的准确性，工作可靠，实现自动装卡光掩模而提高光掩模清洗效率和清洗效果。以下结合附图对本技术的实施例作进一步的详细描述。附图说明图1是本技术被动卡爪机构的结构示意图。图2是本技术被动卡爪机构的爆炸结构示意图。图3是本技术被动卡爪机构安装在工作台上的结构示意图。其中1-端盘，2-被动转轴，3-弹簧，4-支承座，5-被动轴套，6-油槽，7_平面轴承，8-涨套，9-外套，10-连接轴，10-1-凸轴，11-卡爪，11-1-卡口，12-紧钉螺钉，13-滚珠， 14-卡簧，15-位置检测开关，16-光掩模，17-工作台，18-主动卡爪机构。具体实施方式见图1 3所示，本技术的装卡光掩模的被动卡爪机构，包括支承座4、被动转轴2以及具有卡口的被动卡爪，被动卡爪机构与主动卡爪机构18分别安装在工作台17上并对角设置，支承座4安装在托板上并随滑块沿直线导轨上移动，抓紧拾取光掩模16和松开光掩模16并放置在托盘上。见图1、2所示，本技术的被动转轴2通过被动轴套5安装在支承座4上，被动转轴2与被动轴套5能相对转动，该被动轴套5呈T形，被动轴套的T 形端通过紧固件与支承座4连接，另一端通过安装在被动转轴2上的卡簧14限位，平面轴承7设置在被动转轴2的轴承座内并顶在被动轴套5的T形端面，而被动转轴2或被动轴套5上设有油槽6，使被动转轴2转动平稳灵活。见图1所示，本技术在被动转轴2上至少设有两个定位孔，被动轴套5上设有滚珠孔，安装在支承座4上的紧钉螺钉12通过弹簧3将设置在被动轴套5上的滚珠13顶在被动转轴2的定位槽内，通过滚珠13使被动转轴2旋转到位后不会相对转动，而提高操作的可靠性。见图1、2所示，本技术被动卡爪通过轴向开口的涨套8与被动转轴2连接，被动卡爪的涨套8与被动转轴2连接，具有安装调节方便，本技术的被动卡爪由连接轴10 和卡爪11构成，卡爪11上设有卡口 11-1，卡爪上的卡口 11-1采用V形槽或U形槽，方便卡接在光掩模16上，卡爪11通过紧固件与连接轴10连接，连接轴10内侧的凸轴10-1与涨套8连接，被动转轴2上设有螺孔，定位螺钉安装在被动转轴2并顶在涨套8上，使涨套 8与连接轴10可靠连接，而带动被动卡爪转动，外侧具有插槽的外套9套装在连接轴10和卡爪11上。见图1、2所示，本技术为能可靠的夹持住光掩模16，支承座4和被动转轴2上安装有装有检测水平位置的位置检测开关15，该位置检测开关15可采用霍尔接近开关或磁感应位置检测开关，本技术在被动转轴2上安装有端盘1，端盘1上安装有位置检测开关15的触发件，该触发件为磁块，通过触发件使位置检测开关15信号接通或断开，位置检测开关15输出检测信号。见图1、3所示，本技术工作时，主动卡爪机构和被动卡爪机构在托板的带动下向光掩模16 —侧方向移动，使卡爪11和被动卡爪抓住光掩模16，通过主动卡爪机构上的摆动气缸带动主动夹爪旋转，同时卡爪11随主动夹爪一起转动，直到位置检测开关15检测卡爪11翻转是否到位，当卡爪11翻转到位后，将光掩模16放置在托盘上或从托盘抓取；而当卡爪11没翻转没有到位时，位置检测开关15失去信号而发出报警，使抓取和放置动作被冻结。权利要求1.一种装卡光掩模的被动卡爪机构，其特征在于包括支承座G)、被动转轴O)以及具有卡口的被动卡爪，所述的被动转轴( 通过被动轴套( 安装在支承座(4)上，被动卡爪通过轴向开口的涨套(8)与被动转轴( 连接，支承座(4)或/和被动转轴( 上安装有检测水平位置的位置检测开关(15)。2.根据权利要求1所述的装卡光掩模的被动卡爪机构，其特征在于所述的被动轴套 (5)呈T形，被动轴套(5)的T形端通过紧固件与支承座(4)连接，另一端通过安装在被动转轴( 上的卡簧(14)限位，平面轴承(7)设置在被动转轴O)的轴承座内并顶在被动轴套(5)的T形端面，且被动转轴( 或/和被动轴套( 上设有油槽(6)。3.根据权利要求1所述的装卡光掩模的被动卡爪机构，其特征在于所述的被动卡爪由连接轴(10)和卡爪(11)构成，卡爪(11)上设有卡口(11-1)，卡爪(11)通过紧固件与连接轴(10)连接，连接轴(10)内侧的凸轴(10-1)与涨套(8)连接，外侧具有插槽的外套 (9)套装在连接轴(10)和卡爪(11)上。4.根据权利要求1所述的装卡光掩模的被动卡爪机构，其特征在于所述的被动转轴 (2)上至少设有两个定位孔，被动轴套( 上设有滚珠孔，安装在支承座(4)上的紧钉螺钉 (12)通过弹簧( 将设置在被动轴套( 上的滚珠(1 顶在被动转轴O)的定位槽内。5.根据权利要求1所述的装卡光掩模的被动卡爪机构，其特征在于所述被动转轴(2) 上设有螺孔，定位螺钉安装在被动转轴( 上并顶在涨套(8)上。6.根据权利要求1所述的装卡光掩模的被动卡爪机构，其特征在于所述的被动转轴 (2)上安装有端盘(1)，端盘(1)上安装有位置检测开关(15)的触发件。专利摘要本技术涉及一种装卡光掩模的被动卡爪机构，包括支承座、被动转轴以及具有卡口的被动卡爪，所述的被动转轴通过被动轴套安装在支承座上，被动卡爪通过轴向开口的涨套与被动转轴连接，支承座或/和被动转轴上安装有装有检测水平位置的位置检测开关。本技术结构合理，安装调试方便，使卡装光掩模时在水平位本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种装卡光掩模的被动卡爪机构，其特征在于：包括支承座（４）、被动转轴（２）以及具有卡口的被动卡爪，所述的被动转轴（２）通过被动轴套（５）安装在支承座（４）上，被动卡爪通过轴向开口的涨套（８）与被动转轴（２）连接，支承座（４）或／和被动转轴（２）上安装有检测水平位置的位置检测开关（１５）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：吉保国，梅琳，
申请(专利权)人：常州瑞择微电子科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：32