下载装卡光掩模的被动卡爪机构的技术资料

文档序号:6870204

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本实用新型涉及一种装卡光掩模的被动卡爪机构,包括支承座、被动转轴以及具有卡口的被动卡爪,所述的被动转轴通过被动轴套安装在支承座上,被动卡爪通过轴向开口的涨套与被动转轴连接,支承座或/和被动转轴上安装有装有检测水平位置的位置检测开关。本实用新...
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