【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体加工，尤其是涉及一种二氧化碳离子水发泡机。
技术介绍
1、二氧化碳离子水发泡机又称超纯水抗静电装置、超纯水电阻率调节装置，是半导体切割工序的必备设备；在半导体行业生产中，使用超纯水有助于提高产品良品率，但是超纯水具有很高的电阻率，因此也容易在产品表面产生静电，对产品造成伤害。二氧化碳离子水发泡机就是为了解决这一问题而研制，向高电阻率的超纯水中添加二氧化碳来降低超纯水的电阻率，防止在划片和清洗制程中产生静电而损伤产品。
2、现有二氧化碳离子水发泡机控制的电阻率和电导率值较为单一有限，一般产出的超纯水电阻率为0.2～2mω.cm，
3、现有产品一般多用于一段区间电阻值的设定要求，功能性上面受到限制，在大电导率值的要求下远远达不到使用要求，在要求较高的场合下，现有的产品就无法达到效果，
4、而且现有的二氧化碳离子水发泡机产能也不高，随着半导体产业线的发展，低产量也逐渐跟不上需求。
技术实现思路
1、针对上述问题，本专利技术的目的是提供一种二氧化碳离子水发泡机，电阻值的调节范围更大，切换方便，适用性更好能实现一机多用，产能更大。
2、为了解决上述技术问题，本专利技术采用的技术方案如下：一种二氧化碳离子水发泡机，包括柜体，所述柜体中设有管路组，所述管路组的进水管一端设有控制管，所述控制管上接有多个发泡单元，所述控制管的位于相邻两个发泡单元间设有流量阀，
3、所述管路组的出水管分别与第一混合管和第二混合管相连，所述
4、所述发泡单元包括气液混合筒，所述气液混合筒上装有co2储气罐和混合器，所述气液混合筒内设有夹气膜。
5、在上述技术方案中，所述进水管和控制管间连有增流管，所述增流管上设有通断阀。
6、在上述技术方案中，所述第一混合管和第二混合管上设有通断阀。
7、在上述技术方案中，所述控制管上连接有六个发泡单元，其中四个发泡单元与第一混合管相连，另外两个发泡单元与第二混合管相连。
8、在上述技术方案中，不同所述发泡单元中混合器的规格不同。
9、在上述技术方案中，所述出水管上设有电阻率检测装置。
10、在上述技术方案中，所述进水管和出水管的管径为110mm。
11、综上所述，采用本专利技术的技术方案相较于传统技术手段具有的有益效果是：本专利技术设计多个口径的混合管道，通过流量阀控制，不同管路可以单独工作也可以组合使用，进行多线路的工作，这样产出的超纯水的电导率值的可选范围更大，电阻率的调节范围可以达到0.02-2mω.cm，相比现有技术中只能产生电阻率为0.2～2mω.cm超纯水，电导范围值更大，在半导体领域中是质的提升，而且调节时只根据需求控制流量阀即可实现超纯水的电阻率切换，非常方便，能实现一机多用，而且多条管路配合多个发泡单元，单位时间内处理离子水的量更多，能大大提高产能，满足半导体产线的需求。
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1.一种二氧化碳离子水发泡机，其特征在于：包括柜体(100)，所述柜体(100)中设有管路组(200)，所述管路组(200)的进水管(210)一端设有控制管(220)，所述控制管(220)上接有多个发泡单元(300)，
2.根据权利要求1所述的二氧化碳离子水发泡机，其特征在于：所述进水管(210)和所述控制管(220)间连有增流管(211)，所述增流管(211)上设有通断阀(400)。
3.根据权利要求1所述的二氧化碳离子水发泡机，其特征在于：所述第一混合管(240)和第二混合管(250)上设有通断阀(400)。
4.根据权利要求1所述的二氧化碳离子水发泡机，其特征在于：所述控制管(220)上连接有六个发泡单元(300)，其中四个发泡单元(300)与第一混合管(240)相连，另外两个发泡单元(300)与第二混合管(250)相连。
5.根据权利要求1所述的二氧化碳离子水发泡机，其特征在于：不同所述发泡单元(300)中混合器(330)的规格不同。
6.根据权利要求1所述的二氧化碳离子水发泡机，其特征在于：所述出水管(230)
7.根据权利要求1所述的二氧化碳离子水发泡机，其特征在于：所述进水管(210)和出水管(230)的管径为110mm。
...【技术特征摘要】
1.一种二氧化碳离子水发泡机，其特征在于：包括柜体(100)，所述柜体(100)中设有管路组(200)，所述管路组(200)的进水管(210)一端设有控制管(220)，所述控制管(220)上接有多个发泡单元(300)，
2.根据权利要求1所述的二氧化碳离子水发泡机，其特征在于：所述进水管(210)和所述控制管(220)间连有增流管(211)，所述增流管(211)上设有通断阀(400)。
3.根据权利要求1所述的二氧化碳离子水发泡机，其特征在于：所述第一混合管(240)和第二混合管(250)上设有通断阀(400)。
4.根据权利要求1...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐飞，徐英，
申请(专利权)人：常州瑞择微电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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