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本实用新型涉及一种装卡光掩模的主动卡爪机构，包括支承座、摆动气缸、具有卡口的主动卡爪、主动轴套以及涨套和主动转盘，摆动气缸安装在支承座上，主动转盘通过主动轴套安装在支承座上并与摆动气缸的转子连接，主动卡爪通过涨套与主动转盘连接，支承座或/和...
该专利属于常州瑞择微电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过常州瑞择微电子科技有限公司授权不得商用。

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