【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种三氯氢硅生产装置，具体是一种三氯氢硅尾气处理的量回收设备系统。
技术介绍
三氯氢硅是合成有机硅的重要中间体，也是制备多晶硅的主要原料。制备氯氢硅比较成熟的工艺是采用金属硅粉和气体氯化氢制备，其主要流程包括化氢合成、三氯氢硅合成、三氯氢硅分离等主要工序。三氯氢硅制备过程中产生的尾气主要成分是氢气、氯化氢和氯硅烷，其处方法是国内业界的热点话题之一，现有技术中一般采用尾气-水喷淋中和处理、活性炭吸附法、气液交换法等。其不足之处是尾气中的氢气不能有效利、处理不彻底等。
技术实现思路
为解决现有技术中的不足之处，申请人研发了一种尾气吸收-变压吸附装置，技术是该装置中的一部分，目的是充分利用尾气处理过程的地热量。本技术具体采用如下技术方案一种三氯氢硅尾气处理的热量回收设备系统，包括吸收塔，尾气管路通过气换热器后气相连接吸收塔下部，吸收塔顶部出气管路连接尾气换热器；吸塔下部液相连接吸收剂热交换器。本技术优点在于其能够充分利用尾气处理过程中的热量，节约能源。附图说明图1是本技术设备连接框图；图中，1-尾气换热器，2"吸收塔，3"吸收剂热交换器。具体实施方式如图1所示，一种三氯氢硅尾气处理的热量回收设备系统，包括吸收塔2，尾气管路通过尾气换热器1后气相连接吸收塔2下部，吸收塔2顶部出气管路连接尾气换热器1 ； 吸收塔2下部液相连接吸收剂热交换器3。在尾气换热器1中，三氯氢硅尾气与吸收塔2吸收后的产品气进行热交换；在吸收剂热交换器3中，吸收剂富液和吸收剂贫液进行热交换，如此，就充分利用了热量，节约了能源。权利要求1. 一种三氯氢硅尾气处理的热量回收设备系统，包括吸...
【技术保护点】
１．一种三氯氢硅尾气处理的热量回收设备系统，包括吸收塔，尾气管路通过尾气换热器后气相连接吸收塔下部，吸收塔顶部出气管路连接尾气换热器；吸收塔下部液相连接吸收剂热交换器。
【技术特征摘要】
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