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本实用新型涉及一种三氯氢硅生产装置，具体是一种三氯氢硅尾气处理的热量回收设备系统，包括吸收塔，尾气管路通过尾气换热器后气相连接吸收塔下部，吸收塔顶部出气管路连接尾气换热器；吸收塔下部液相连接吸收剂热交换器。本实用新型能够充分利用尾气处理过程...
该专利属于淄博宝运化工厂所有，仅供学习研究参考，未经过淄博宝运化工厂授权不得商用。

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