本实用新型涉及一种制备三氯氢硅的设备，具体是一种袋式过滤器，包括壳体，壳体顶部具有出气口，底部具有出尘口，壳体下部外壁具有进气口，其特征是，壳体内设置多个滤芯，每个滤芯外包覆有过滤袋，在所有滤芯的外部还设有一个陶瓷纤维滤袋。本实用新型陶...

本实用新型涉及一种三氯氢硅生产装置，具体是一种三氯氢硅尾气回收装置，其特征是，包括采用气体管路依次连接的吸收塔、原料气换热器、变压吸附装置，原料气换热器与吸收塔还采用原料气管路连接；吸收塔采用液体管路依次连接吸附剂热交换器、脱洗塔，脱洗...

本实用新型涉及一种三氯氢硅生产装置，具体是一种三氯氢硅尾气处理的热量回收设备系统，包括吸收塔，尾气管路通过尾气换热器后气相连接吸收塔下部，吸收塔顶部出气管路连接尾气换热器；吸收塔下部液相连接吸收剂热交换器。本实用新型能够充分利用尾气处理...

本实用新型涉及一种制备三氯氢硅的设备，具体是一种袋式过滤器滤芯，包括滤芯，滤芯外包覆有过滤袋，其特征是，所述滤芯为布满过滤孔的塑料滤芯，所述过滤袋为陶瓷纤维过滤袋，所述滤芯一端具有可拆装的连接端。本实用新型的陶瓷纤维滤袋耐高温、耐腐蚀，...

本实用新型涉及一种制备氯硅烷的设备，具体是一种导热油沸腾炉，包括炉体，炉体底部设有氯化氢进料口，顶部设有氯硅烷出口，上部侧壁设有硅粉进料口，其特征是，炉体壁具有导热油夹层，炉体内设有导热油列管，所述导热油夹层和导热油列管连接。本实用新型...

本实用新型涉及一种三氯氢硅生产装置，具体是一种三氯氢硅尾气变压吸附装置，其特征是，包括多个并联的变压吸附塔分别与氢气缓冲罐连接，每个吸附塔均连接有再生气加热器。本实用新型能够吸收三氯氢硅尾气中的氯硅烷，经过本实用新型处理后，尾气中氢气含...

本实用新型涉及一种三氯氢硅生产装置，具体是一种三氯氢硅尾气吸收装置，其特征是，包括采用管路依次连接的吸收塔、热交换器和脱洗塔，脱洗塔塔底与吸收塔塔顶采用吸附剂管路连接，所述脱洗塔塔顶具有冷凝器，塔底与再沸器循环连接。本实用新型能够吸收三...