【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种半导体器件,尤其涉及一种包括根据是否被熔断以存储数据信号 的保险丝的半导体器件。
技术介绍
在半导体集成电路装置(半导体器件)中针对各种用途使用保险丝程序电路。保 险丝程序电路输出信号的状态根据保险丝元件的熔断/非熔断设定为固定不变。例如,为 了对模拟电路的常数进行微调整(微调)而使用前述保险丝元件。具体而言,为调节晶体 管元件的电流驱动力、基准电流源的供给电流量及/或基准电压源所生成的基准电压电平 等,而对保险丝元件进行程序化(熔断/非熔断)。而且,为对电阻元件的电阻值进行微调 整,也使用前述保险丝程序电路。在半导体存储器中,为了用冗余单元置换不良单元,就需要将确定不良单元的不 良地址程序化,为存储前述不良地址而使用保险丝程序电路。通过使用前述保险丝程序电 路,则不管是模拟电路还是数字电路,都能够实现电路工作特性的最佳化。而且,还能够在 半导体存储器中通过挽救不良单元以改善产品合格率。在前述保险丝程序中,包括利用电流熔断保险丝元件的布线熔断型电保险丝元件 的保险丝程序电路的结构,在专利文献1(日本公开特许公报特开2007-317882号公报) ...
【技术保护点】
1.一种半导体器件,具有多个金属布线层,其特征在于,所述半导体器件包括:保险丝,用所述多个金属布线层中最下层金属布线层之上的金属布线层中的第一铜布线形成,并根据是否熔断而存储数据信号;虚拟保险丝,与所述保险丝邻接地设置,并用与所述保险丝在同一金属布线层中的第二铜布线形成;以及扩散防护壁,用所述多个金属布线层以包围所述保险丝及所述虚拟保险丝的方式形成,防止铜扩散;其中,所述保险丝及所述虚拟保险丝各自的布线宽度设定为由所述扩散防护壁围起的区域内的最小线宽,所述保险丝及所述虚拟保险丝之间的间隔设定为由所述扩散防护壁围起的区域内的最小间隔。
【技术特征摘要】
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