集成电路测试探针卡的结构制造技术

技术编号:6558664 阅读:228 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种集成电路测试探针卡的结构,该探针卡内部的电路板的至少一侧表面设有凸部,该凸部表面设有数内接点,而该电路板的另一侧表面则设有数外接点,且于电路板内设有导电线路衔接于各内、外接点之间,使各外接点可经由导线与外部的测试电路形成电连接;该电路板于临凸部的一侧可另经由一固定环垫结合一探针固定装置,于该固定环垫上设有一镂空部结合于该凸部周围,而探针固定装置则可夹持复数探针的一端,以利于与各内接点接触,且各探针的另一端与待测试的集成电路芯片各接脚稳定抵触而形成电连接,其结构简易、成本低廉且电路讯号传输质量佳。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种集成电路测试探针卡,特别是指一种结构简易、成本低廉且电路讯号传 输质量佳的测试探针卡结构。
技术介绍
一般集成电路芯片于成型后,皆需经由测试以确定其质量是否合乎规范,而较常见的测 试方式是以集成电路测试卡设置于该集成电路芯片与相关测试装置之间,使该集成电路芯片 的各接点得以与测试装置的对应接点形成电连接,藉以执行各测试动作。而传统的电路测试探针卡结构,乃如图1所示,其主要包括 一电路板l 0、 一固定环 垫2 、 一加强垫3 、 一探针固定装置4 、 一基板6及复数探针5 ,其中该固定环垫2 、加强 垫3分别结合于电路板1 0的二侧中央部位,以增加该电路板l 0强度而可防止其(于高温 或外力环境下)产生变形,于该固定环垫2上设有一镂空部2 1,且使该电路板l 0于对应 镂空部2 1的部位设有复数衔接接点1 0 2,而该电路板l 0另一侧于加强垫3外旁侧部位 设有复数外接点1 3 ,并于电路板1 Q内设有复数导电线路1 Q 4衔接于各外接点1 3与衔 接接点l 0 2之间,基板6设置于固定环垫2的镂空部2 l内,其一侧表面设有复数锡球62分别对应于各衔接接点10 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种集成电路测试探针卡的结构,至少包括一电路板、一固定环垫、及一探针固定装置,该电路板上设有数内接点,该电路板的一侧表面设有数外接点,经由导线与外部的测试电路形成电连接,而于电路板内则设有导电线路衔接于各内、外接点之间;该固定环垫设有一镂空部;该探针固定装置经由该固定环垫结合于电路板一侧,且该探针固定装置固定数探针的一端,并使该探针与各内接点接触,各探针的另一端则用以与待测试的集成电路芯片各接脚接触形成电连接;其特征在于:所述电路板另一侧表面设有凸部,所述内接点设于该凸部表面,该固定环垫的镂空部结合于该电路板的凸部周围。

【技术特征摘要】
1.一种集成电路测试探针卡的结构,至少包括一电路板、一固定环垫、及一探针固定装置,该电路板上设有数内接点,该电路板的一侧表面设有数外接点,经由导线与外部的测试电路形成电连接,而于电路板内则设有导电线路衔接于各内、外接点之间;该固定环垫设有一镂空部;该探针固定装置经由该固定环垫结合于电路板一侧,且该探针固定装置固定数探针的一端,并使该探针与各内接点接触,各探针的另一端则用以与待测试的集成电路芯片各接脚接触形成电连接;其特征在于所述电路板另一侧表面设有凸部,所述内接点设于该凸部表面,该固定环垫的镂空部结合于该电路板的凸部周围。2 如权利要求l所述的集成电路测试探针卡的结构,其特征在于所 述探针固定装置至少由一上夹板叠置于一垫片上所组成,于该垫片中央设有一镂空部,而该 上夹板则于对应镂空部区域内设有数可夹套各探针的端部的定位孔。3 如权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员:洪干耀
申请(专利权)人:汉民测试系统科技股份有限公司
类型:发明
国别省市:71[中国|台湾]

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