一种集成电路、第一电路结构及其制备方法技术

技术编号:11424945 阅读:117 留言:0更新日期:2015-05-07 03:59
本发明专利技术实施例提供一种集成电路、第一电路结构及其制备方法。第一电路结构能够和第二电路结构压合形成新的电路结构,所述第二电路结构具有至少两个待贴合的深度不同的凹陷导电部,所述凹陷导电部具有深度最浅的第一凹陷导电部;所述第一电路结构包括至少两个突出导电部,与至少两个所述凹陷导电部一一对应设置,与所述第一凹陷导电部对应的第一突出导电部具有第一高度;所述至少两个突出导电部中除所述第一突出导电部之外的任意一个突出导电部具有对应的第二高度,所述第二高度大于所述第一高度,且小于或等于A与B之和。本发明专利技术实施例能够减少集成电路与显示面板压合后不同压合导电部位接触电阻之间的差异。

【技术实现步骤摘要】
一种集成电路、第一电路结构及其制备方法
本专利技术涉及半导体的制造领域,尤其涉及一种集成电路、第一电路结构及其制备方法。
技术介绍
现有集成电路表面的导电层结构设计的是同一高度,该设计在大尺寸液晶面板或面板采用同层金属导电的结构比较适用,参见图1示出的例子;但随着小尺寸产品或高PPI(pixelsperinch)产品的发展,和集成电路压合的面板位置越来越多的产品采用双层金属线的布线方式(为了在相同空间内布上更多的走线),如图2所示。双层布线就带来相邻两层高度的差异,但集成电路侧导电层结构是同一高度,这就意味着相邻两金属层的压合程度不同,这样就存在接触电阻的差异,从而影响画面品质或产品良率(亮/暗线等不良)。
技术实现思路
本专利技术实施例的目的在于提供一种集成电路、第一电路结构及其制备方法,以减少集成电路与显示面板压合后不同压合导电部位接触电阻之间的差异。为解决上述技术问题,本专利技术实施例提供方案如下:本专利技术实施例提供一种第一电路结构,能够和第二电路结构压合形成新的电路结构,所述第二电路结构具有至少两个待贴合的深度不同的凹陷导电部,所述凹陷导电部具有深度最浅的第一凹陷导电部;所述第一电路结构包括至少两个突出导电部,与至少两个所述凹陷导电部一一对应设置,与所述第一凹陷导电部对应的第一突出导电部具有第一高度;所述至少两个突出导电部中除所述第一突出导电部之外的任意一个突出导电部具有对应的第二高度,所述第二高度大于所述第一高度,且小于或等于A与B之和;所述A为所述第一高度,所述B为所述任意一个突出导电部对应的凹陷导电部的深度与所述第一凹陷导电部的深度的差。优选地,全部所述第二高度都等于所述A与所述B之和。优选地,所述第一高度与所述第一凹陷导电部的深度相同。优选地,所述第一电路结构和所述第二电路结构压合后,所述任意一个突出导电部的侧面能够与对应的所述凹陷导电部的侧面形成侧面导电部。优选地,所述凹陷导电部和所述突出导电部都是上底面面积大于下底面面积的台体结构;所述凹陷导电部和所述突出导电部贴合时,所述凹陷导电部的上底面与所述突出导电部的下底面相对。优选地,所述第一电路结构包括集成电路表面的导电层结构,所述第二电路结构包括显示面板,所述凹陷导电部包括显示面板表面的电接触面。本专利技术实施例还提供一种集成电路,所述集成电路表面设置有以上所述的第一电路结构。本专利技术实施例还提供一种第一电路结构的制备方法,所述第一电路结构能够和第二电路结构压合形成新的电路结构,所述第二电路结构具有至少两个待贴合的深度不同的凹陷导电部,所述凹陷导电部具有深度最浅的第一凹陷导电部,所述制备方法包括:形成所述第一电路结构,所述第一电路结构包括至少两个突出导电部,与至少两个所述凹陷导电部一一对应设置,与所述第一凹陷导电部对应的第一突出导电部具有第一高度;所述至少两个突出导电部中除所述第一突出导电部之外的任意一个突出导电部具有对应的第二高度,所述第二高度大于所述第一高度,且小于或等于A与B之和;所述A为所述第一高度,所述B为所述任意一个突出导电部对应的凹陷导电部的深度与所述第一凹陷导电部的深度的差。优选地,全部所述第二高度都等于所述A与所述B之和。优选地,所述第一高度与所述第一凹陷导电部的深度相同。从以上所述可以看出,本专利技术实施例至少具有如下有益效果:与现有技术中突出导电部高度相同的情况相比,在至少两个待贴合的凹陷导电部的深度不同的情况下,高度最低的突出导电部最先与对应的凹陷导电部贴合上之后,其它突出导电部与对应凹陷导电部的贴合程度变大,从而两个电路结构压合后不同突出导电部、凹陷导电部对之间的压合程度差异变小,这样电阻差异就会变小,画面品质以及产品良率得到提高。附图说明图1表示现有集成电路和面板压合情况示意图(单层金属布线);图2表示现有集成电路和面板压合情况示意图(双层金属布线);图3表示本专利技术实施例提供的一种第一电路结构的示意图;图4表示与本专利技术实施例提供的第一电路结构对应的现有电路结构示意图;图5A表示与图3相应的深度最浅的凹陷导电部与对应突出导电部贴合上时两个电路结构之间的位置关系示意图;图5B表示与图4相应的深度最浅的凹陷导电部与对应突出导电部贴合上时两个电路结构之间的位置关系示意图;图6表示本专利技术实施例提供的一种第一电路结构的另一示意图;图7表示本专利技术实施例的较佳实施方式提供的集成电路导电层结构设计方案示意图。符号说明:11:集成电路导电层;12:栅极线;13:玻璃基板;14:数据线绝缘层;15:导电层;16:栅极线绝缘层;17:数据线。具体实施方式为使本专利技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合附图及具体实施例对本专利技术实施例进行详细描述。图3表示本专利技术实施例提供的一种第一电路结构的示意图,参照图3,本专利技术实施例提供一种第一电路结构1,能够和第二电路结构2压合形成新的电路结构,所述第二电路结构2具有至少两个待贴合的深度不同的凹陷导电部,所述凹陷导电部具有深度最浅的第一凹陷导电部3;所述第一电路结构1包括至少两个突出导电部,与至少两个所述凹陷导电部一一对应设置,与所述第一凹陷导电部3对应的第一突出导电部4具有第一高度;所述至少两个突出导电部中除所述第一突出导电部4之外的任意一个突出导电部具有对应的第二高度,所述第二高度大于所述第一高度,且小于或等于A与B之和;所述A为所述第一高度,所述B为所述任意一个突出导电部对应的凹陷导电部的深度与所述第一凹陷导电部3的深度的差。可见,通过上述方式,与现有技术中突出导电部高度相同的情况相比,在至少两个待贴合的凹陷导电部的深度不同的情况下,高度最低的突出导电部最先与对应的凹陷导电部贴合上之后,其它突出导电部与对应凹陷导电部的贴合程度变大,从而两个电路结构压合后不同突出导电部、凹陷导电部对之间的压合程度差异变小,这样电阻差异就会变小,从而提高了产品良率。其中,所述第一电路结构1可以包括集成电路表面的导电层结构,所述第二电路结构2可以包括显示面板,所述凹陷导电部可以包括显示面板表面的电接触面。所述显示面板例如液晶显示面板,相应地,不同深度的所述电接触面可以分属不同的金属布线层。图3中示出了5个凹陷导电部的例子,这5个凹陷导电部从左到右深度依次加深,一一对应的从左到右5个突出导电部中第一突出导电部4的高度最小,在5个突出导电部中第一突出导电部4最先与对应的凹陷导电部(第一凹陷导电部3)贴合,从左数第2、5个突出导电部各自的高度与第一突出导电部4的高度之差分别小于对应的从左数第2、5个凹陷导电部各自的深度与第一凹陷导电部3的深度之差,从左数第3、4个突出导电部各自的高度与第一突出导电部4的高度之差分别等于对应的从左数第3、4个凹陷导电部各自的深度与第一凹陷导电部3的深度之差,又由于第一突出导电部4最先与对应的凹陷导电部贴合,因此:第一突出导电部4与第一凹陷导电部3贴合上时,从左数第3、4个突出导电部与对应的从左数第3、4个凹陷导电部也贴合上了,而从左数第2、5个突出导电部都没有接触到各自对应的从左数第2、5个凹陷导电部的下表面。也就是说,其它突出导电部中有一部分与所述第一突出导电部3同时与对应的凹陷导电部贴合上了。与图3中示出的例子对应,图4中示出了现有技术的相应例子,其中电路结构1’中各突出导电部的高度均本文档来自技高网...
一种集成电路、第一电路结构及其制备方法

【技术保护点】
一种第一电路结构,能够和第二电路结构压合形成新的电路结构,所述第二电路结构具有至少两个待贴合的深度不同的凹陷导电部,其特征在于:所述凹陷导电部具有深度最浅的第一凹陷导电部;所述第一电路结构包括至少两个突出导电部,与至少两个所述凹陷导电部一一对应设置,与所述第一凹陷导电部对应的第一突出导电部具有第一高度;所述至少两个突出导电部中除所述第一突出导电部之外的任意一个突出导电部具有对应的第二高度,所述第二高度大于所述第一高度,且小于或等于A与B之和;所述A为所述第一高度,所述B为所述任意一个突出导电部对应的凹陷导电部的深度与所述第一凹陷导电部的深度的差。

【技术特征摘要】
1.一种第一电路结构,能够和第二电路结构压合形成新的电路结构,所述第二电路结构具有至少两个待贴合的深度不同的凹陷导电部,其特征在于:所述凹陷导电部具有深度最浅的第一凹陷导电部;所述第一电路结构包括至少两个突出导电部,所述至少两个突出导电部与至少两个所述凹陷导电部一一对应设置,所述至少两个突出导电部中包括与所述第一凹陷导电部对应的第一突出导电部,所述第一突出导电部具有第一高度;所述至少两个突出导电部中除所述第一突出导电部之外的任意一个突出导电部具有对应的第二高度,所述第二高度大于所述第一高度,且小于或等于A与B之和;所述A为所述第一高度,所述B为所述任意一个突出导电部对应的凹陷导电部的深度与所述第一凹陷导电部的深度的差。2.根据权利要求1所述的第一电路结构,其特征在于,全部所述第二高度都等于所述A与所述B之和。3.根据权利要求1所述的第一电路结构,其特征在于,所述第一高度与所述第一凹陷导电部的深度相同。4.根据权利要求1所述的第一电路结构,其特征在于,所述第一电路结构和所述第二电路结构压合后,所述任意一个突出导电部的侧面能够与对应的所述凹陷导电部的侧面形成侧面导电部。5.根据权利要求1所述的第一电路结构,其特征在于,所述凹陷导电部和所述突出导电部都是上底面面积大于下底面面积的台体结构;所述凹陷导电部和所述突出导电部贴合时,所述凹陷导电部的上底面与所...

【专利技术属性】
技术研发人员:陈传宝
申请(专利权)人:合肥京东方光电科技有限公司京东方科技集团股份有限公司
类型:发明
国别省市:安徽;34

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