The invention relates to a probe for structure WAT testing machine, including piezoelectric ceramic bending actuators, the piezoelectric bending actuators arranged at one end of the probe, the other end is arranged on the fixed bracket; the piezoelectric ceramic bending actuators and wiring is connected with the power source electrical conductor and the power supply is electrically connected with the controller. The invention has the advantages that the actuating plate drives the probe moves downward instead of micro displacement mechanism in the existing technology in motor drive under the action of crystal disc to move with piezoelectric ceramic bending; avoid the assembly of micro displacement mechanism of complex motion, low efficiency, easy to wear, and repair of complex dimension problems; and the probe movement, the moving load is small, effectively improve the accuracy of contact probe and wafer to be detected in contact, improve the test performance.
【技术实现步骤摘要】
一种用于WAT检测机的探针结构
本专利技术涉及半导体
,特别涉及一种用于WAT(晶圆验收测试)检测机的探针结构。
技术介绍
现有WAT检测机的主流方案是:探针固定,当晶圆上待检测触点与探针在竖直方向对齐时,微位移机构在电机的作用下驱动晶圆盘垂直向上微运动,以实现探针与晶圆上待检测触点的接触,完成检测;此微位移机构有的采用丝杠导轨,有的采用凸轮,其装配复杂,运动效率低,易磨损,且维修复杂。
技术实现思路
本专利技术目的是提供一种用于WAT检测机的探针结构,解决现有技术中存在的上述问题。本专利技术解决上述技术问题的技术方案如下:一种用于WAT检测机的探针结构,包括压电陶瓷弯曲致动片,所述压电陶瓷弯曲致动片一端设置有探针,另一端设置在固定支架上;所述压电陶瓷弯曲致动片的正负接线处通过导线与电源电连接,所述电源与控制器电连接。本专利技术的有益效果是:当晶圆上待检测触点与探针在竖直方向对齐时,控制器驱动电源给压电陶瓷弯曲致动片施加电压,压电陶瓷弯曲致动片在电压的驱动下向下弯曲,带动探针向下移动,以实现探针与晶圆上待检测触点接触,完成检测;用压电陶瓷弯曲致动片带动探针向下移动替代现有技术中微位移机构在电机作用下驱动晶圆盘向上移动;有效避免了微位移机构装配复杂,运动效率低,易磨损,且维修复杂的问题;且探针移动,移动负载小,有效提高探针与晶圆上待检测触点的接触精度,提高测试性能。在上述技术方案的基础上,本专利技术还可以做如下改进。进一步,所述固定支架包括固定板和连接板;所述连接板一端与所述固定板连接,另一端与位于其上方的第一固定盖板相配合夹紧所述压电陶瓷弯曲致动片;所述 ...
【技术保护点】
一种用于WAT检测机的探针结构,其特征在于,包括压电陶瓷弯曲致动片(1),所述压电陶瓷弯曲致动片(1)一端设置有探针(2),另一端设置在固定支架(3)上;所述压电陶瓷弯曲致动片(1)的正负接线处通过导线与电源电连接,所述电源与控制器电连接。
【技术特征摘要】
1.一种用于WAT检测机的探针结构,其特征在于,包括压电陶瓷弯曲致动片(1),所述压电陶瓷弯曲致动片(1)一端设置有探针(2),另一端设置在固定支架(3)上;所述压电陶瓷弯曲致动片(1)的正负接线处通过导线与电源电连接,所述电源与控制器电连接。2.根据权利要求1所述一种用于WAT检测机的探针结构,其特征在于,所述固定支架(3)包括固定板(31)和连接板(32);所述连接板(32)一端与所述固定板(31)连接,另一端与位于其上方的第一固定盖板(33)相配合夹紧所述压电陶瓷弯曲致动片(1);所述连接板(32)上开设有与所述正负接线处的焊点相匹配的凹槽(321)。3.根据权利要求2所述一种用于WAT检测机的探针结构,其特征在于,所述连接板(32)与所述第一固定盖板(33)通过螺钉(4)连接夹紧所述压电陶瓷弯曲致动片(1)。4.根据权利要求2所述一种用于WAT检测机的探针结构,其特征在于,所述固定板(31)、连接板(32)和第一固定盖板(33)的材质均为铝合金;所述连接板(32)和第一固定盖板(33)与所述压电陶瓷...
【专利技术属性】
技术研发人员:黄炜,张晓敏,舒晶,徐静静,
申请(专利权)人:武汉新芯集成电路制造有限公司,
类型:发明
国别省市:湖北,42
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