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本发明涉及一种用于WAT检测机的探针结构，包括压电陶瓷弯曲致动片，所述压电陶瓷弯曲致动片一端设置有探针，另一端设置在固定支架上；所述压电陶瓷弯曲致动片的正负接线处通过导线与电源电连接，所述电源与控制器电连接。本发明的有益效果是：用压电陶瓷弯...
该专利属于武汉新芯集成电路制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉新芯集成电路制造有限公司授权不得商用。

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