本发明专利技术提供一种能够在不降低生产效率的情况下抑制薄膜上产生受热影响区域的卷绕式真空蒸镀装置。本发明专利技术涉及的卷绕式真空蒸镀装置（１０）包括放卷辊（１３）、卷绕从放卷辊（１３）放出的薄膜（１２）的卷绕辊（１５）、配置在放卷辊（１３）和卷绕辊（１５）之间紧贴薄膜（１２）以便对该薄膜进行冷却的冷却辊（１４）、与冷却辊（１４）相向配置将蒸镀材料蒸镀于薄膜（１２）上的蒸发源（１６）以及配置在放卷辊（１３）和蒸发源（１６）之间向行走的薄膜（１２）照射电子束的电子束照射器（２１）；电子束照射器（２１）具有通过通电加热放出电子的丝极（３１）和向该丝极（３１）供应直流电流的直流发生机构。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种巻绕式真空蒸镀装置，该装置在减压气氛内连续 放出绝缘性薄膜并使薄膜紧贴冷却辊进行冷却的同时，将蒸镀物质蒸 镀巻绕至该薄膜上。
技术介绍
迄今为止，相对于由放巻辊连续地放出的长条状的薄膜蒸镀源自 蒸发源的蒸发物质、通过巻绕辊巻绕蒸镀后的薄膜的方式的巻绕式真 空蒸镀装置被广泛应用(例如，参照下述专利文献l)。这种真空蒸镀 装置，为了防止蒸镀时薄膜的热变形， 一边将薄膜紧贴于冷却用桶状 辊的周面进行冷却一边进行成膜处理。因此，如何确保薄膜对冷却用 桶状辊的紧贴作用就成了重要课题。现有的巻绕式真空蒸镀装置的结构的例子如图6所示。薄膜52 通过导向辊53、冷却用桶状辊54以及导向辊55从放巻辊(图略)中 被巻绕到巻绕辊(图略)上。薄膜52在桶状辊54上蒸镀源自蒸发源 56的蒸发物质。电子束照射器51设置在放巻辊和蒸发源56之间，通 过照射电子束使蒸镀前的薄膜带负电，并依靠与跟接地电位相连接的 桶状辊54之间的静电力使薄膜52贴紧桶状辊54。以此实现防止由于 冷却不够而导致的薄膜52的热变形。图7为表示电子束照射器51的结构的等价电路图。电子束照射器 51包括放出热电子的丝极61、向丝极61通电的加热电源62以及电子 束的引出电源63。加热电源62为交流电源，由比如商用频率电源构 成。专利文献1:(日本)特开2005 - 146401号公报然而，上述这种现有的巻绕式真空蒸镀装置，如图8A所模式示出的那样，具有沿薄膜52的长度方向周期性地产生受热影响区域65 的问题。受热影响区域65就是容易由于热而导致产生薄膜的起皱或者 变形的区域。当提高薄膜52的行走速度时，如图8B所示，受热影响 区域65的发生间隔会变大。相反，当极度降低薄膜52的行走速度时， 就不再产生受热影响区域65。然而，降低薄膜的行走速度会导致生产 效率的下降，因此这并不是一种理想的方法。受热影响区域65的产生，其原因在于电子束对薄膜52的照射不 足所导致。电子束的照射量少时，和桶状辊54的紧贴力就会变弱从而 降低冷却效果。薄膜52的行走速度固定时，会周期性地产生受热影响 区域。因此，受热影响区域65的产生可以认为是由于电子束对薄膜 52的照射量不均匀造成的。
技术实现思路
鉴于上述问题，本专利技术的课题在于提供一种能够在不降低生产效 率的情况下抑制薄膜上产生受热影响区域的巻绕式真空蒸镀装置。 解决手段在解决上述课题时，专利技术人经过深入研究发现产生薄膜受热影响 区域的原因如下所述那样在于构成电子束照射器的丝极的通电加热机 构。即，如图9A、 B所示，现有的电子束照射器是通过向丝极61施 加交流电流而产生电子束的。此时，在丝极61的周围会出现对应于交 流电流的频率的交替感应磁场，产生的电子束受到该交替感应磁场引 起的电磁力，会沿着和感应磁场正交的方向摆动。其结果，如图10 所示，会在薄膜52上沿其行走方向周期性地出现电子束照射量不足的 区域，而该区域作为受热影响区域65会产生在薄膜52上。为此，本专利技术所涉及的巻绕式真空蒸镀装置，包括真空腔、配置 在该真空腔的内部连续地放出绝缘性薄膜的放巻辊、巻绕该放巻辊放 出的薄膜的巻绕辊、配置在放巻辊和巻绕辊之间紧贴薄膜对该薄膜进 行冷却的冷却辊、与该冷却辊相向配置将蒸镀材料蒸镀到上述薄膜上 的蒸发源、配置在放巻辊和蒸发源之间向行走的薄膜照射电子束的电子束照射器，其特征在于，电子束照射器具有通过通电加热放出电子 的丝极以及向该丝极供应直流电流的直流发生机构。本专利技术通过对构成电子束照射器的丝极进行直流性的通电加热， 从原理上消除丝极周围的交替感应磁场导致的电子束的摆动，从而起 到电子束对薄膜的均等的照射作用。这样，便会获得薄膜的整个面与 冷却辊的紧贴作用，能够在不降低生产效率的情况下防止由于冷却效 果的降低导致受热影响区域的产生。作为上述直流发生机构的具体结构的例子，丝极的加热电源由直 流电源构成。另外，可以通过将加热电源设为交流电源，在其中插入 含有整流元件的直流电路，向丝极供应直流电流。专利技术效果如上所述，根据本专利技术的巻绕式真空蒸镀装置，可以在不降低生 产效率的情况下在薄膜的整个面获得与冷却辊紧贴的作用，防止由于 冷却效果的降低招致的受热影响区域的产生。附图说明图1为本专利技术的实施方式中的巻绕式真空蒸镀装置的概略结构图。图2为对电子束照射薄膜的照射工序进行说明的剖面模式图。 图3为对图1所示的巻绕式真空蒸镀装置使用的电子束照射器的结构进行说明的等价电路图。图4为对图3所示的电子束照射器的作用进行说明的模式图。 图5为表示图3所示的电子束照射器的结构的变形例的图。 图6为现有的巻绕式真空蒸镀装置的要部概略结构图。 图7为对现有的巻绕式真空蒸镀装置使用的电子束照射器的结构进行说明的等价电路图。图8为对现有技术的问题点进行说明的图，表示薄膜上周期性地产生受热影响区域的例子。图9为对向构成电子束照射器的丝极施加交流电流时产生的电子束的摆动情况进行说明的模式图。图10为对图8所示的受热影响区域的产生机制进行说明的模式图。附图标记说明10巻绕式真空蒸镀装置；11真空腔；12薄膜；13放巻辊；14桶 状辊(冷却用辊)；15巻绕辊；16蒸发源；18辅助辊；21电子束 照射器；22直流偏压电源；23除电单元；31丝极；32直流电源； 33引出电源；36整流元件；37、 39电容器；38 二极管电桥。具体实施例方式下面参照附图对本专利技术的实施方式予以说明。图1为本专利技术的实施方式中的巻绕式真空蒸镀装置10的概略结构 图。本实施方式中的巻绕式真空蒸镀装置10包括真空腔11、薄膜12 的放巻辊13、冷却用桶状辊14、巻绕辊15以及蒸镀物质的蒸发源16。真空腔11经过配管连接部lla、 llc连接在未图示的真空泵等真 空排气系统上，其内部减压排气为规定的真空度。真空腔ll的内部空 间由隔板lib分隔为配置有放巻辊13和巻绕辊15等的室以及配置有 蒸发源16的室。薄膜12由裁剪成规定宽度的长条状的绝缘性塑料薄膜构成，在本 实施方式中采用OPP (延伸聚丙烯)单层薄膜。另外，除此以外，也 可以适用PET (聚对苯二甲酸乙二醇酯)薄膜、PPS (聚苯撑硫醚) 薄膜等塑料薄膜或者纸片等。薄膜12由放巻辊13连续地放出，通过多个导向辊17、桶状辊14、 辅助辊18以及多个导向辊19巻绕至巻绕辊15上。在放巻辊13以及 巻绕辊15上，都没有图示地分别设置有转动驱动部。桶状辊14呈筒状，由铁等金属制成，在其内部设置有冷却介质循 环系统等冷却机构及旋转驱动桶状辊14的旋转驱动机构等。薄膜12 以规定的抱角巻绕于桶状辊14的周面上。巻绕在桶状辊14上的薄膜 12，在通过源自蒸发源16的蒸镀物质使其外面侧的成膜面成膜的同时，由桶状辊14进行冷却。蒸发源16具有在收纳蒸镀物质的同时通过电阻加热、感应加热、 电子束加热等公知手段对蒸镀物质进行加热蒸发的机构。该蒸发源16 配置在桶状辊14的下方，使蒸镀物质的蒸汽附着于相向的桶状辊14 上的薄膜12上形成覆膜。作为蒸镀物质，除了 Al、 Co、 Cu、 Ni、 Ti等的金属元素单体外， 也适用A1-Zn、 Cu-Zn、 Fe - Co等两种以上的金属或多元系合金， 蒸发源也不限于一个，可以设置多个。本实施方本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种卷绕式真空蒸镀装置，包括：真空腔、配置在该真空腔的内部并连续地放出绝缘性的薄膜的放卷辊、卷绕从该放卷辊放出的薄膜的卷绕辊、配置在上述放卷辊和上述卷绕辊之间并紧贴上述薄膜对该薄膜进行冷却的冷却用辊、与上述冷却用辊相向配置并将蒸镀材料蒸镀到上述薄膜上的蒸发源、以及配置在上述放卷辊和上述蒸发源之间并向行走的上述薄膜照射电子束的电子束照射器，其特征在于， 上述电子束照射器具有：通过通电加热来放出电子的丝极、以及向上述丝极供应直流电流的直流发生机构。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：多田勋，广野贵启，林信博，小松研二，中塚笃，
申请(专利权)人：株式会社爱发科，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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