挡板冷却机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种挡板冷却机构，包括连接座、连接件、冷却腔、冷却管、输出管、输入接口及输出接口，挡板通过连接座与旋转轴固接，旋转轴位于真空腔体外的端部套设有连接件，连接件与旋转轴枢接并与输入接口固定连接，输入接口与输出接口固接，旋转轴、连接件、输入接口及输出接口均沿旋转轴的轴向方向开设有中空结构并相互连通形成冷却腔，输出管悬于冷却腔内并贯穿旋转轴、连接件、输入接口且与输出接口固定连接，冷却管铺设于挡板上，其输入端与旋转轴连通，输出端与输出管连通，输入接口、冷却腔、冷却管、输出管、输出接口连通形成冷却介质的循环回路，其冷却效果好、附着力强、清洁度高并能降低真空腔体温度、提高膜层形成质量。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种真空蒸镀用的挡板，更具体地涉及一种挡板冷却机构。
技术介绍
随着现代科学技术的发展，对产品质量和生产工艺要求不断提高，真空技术成为 一门不可缺少的技术，已被广泛应用到各个
中。其中，应用较为广泛的真空镀膜 技术，是指在真空中把蒸发源加热蒸发或用加速离子轰击溅射，沉积到基片表面形成单层 或多层薄膜。该真空镀膜技术已经广泛的应用到各个领域，如众所周知的物理气相沉积 (Physical Vapor D印osition，PVD)，化学气相淀积(Chemical Vapor D印osition，CVD)技 术。在制备薄膜工艺过程中，一般都要求膜厚均勻，组分纯净、性能稳定、无应力、附着牢固 等。一般的薄膜制备方式都需要经历抽真空、加热、镀膜等一系列过程。在镀膜之前的加热 过程中，在未达到蒸发物的蒸发温度时就会有蒸发源将杂质蒸发掉，另有一些蒸发物在加 热蒸发过程中会释放气体，使镀膜室内压强上升。杂质和不稳定的气体扩散是造成薄膜厚 度不均，组分不净、性能不稳、应力较大、附着不牢固等影响镀膜质量的主要原因。原有的在 蒸发源和处理板之间没有采取相应的保护措施的设计已经不能满足工艺的需要，另有一些 厂商通过在蒸发源和处理板之间设置挡板来解决上述缺点。挡板的作用是阻挡不必要的物质进入到相应的空间，在真空环境下还要要求挡板 不会对真空环境造成污染，甚至说可以改善真空环境，而对挡板的冷却可以增强沉积物质 与挡板的附着力，使附着在挡板上的沉积物质不易脱落，也使蒸发源更加顺畅的进行蒸镀， 另外还可以降低腔体温度，保持真空腔体内真空环境的清洁。而设置在腔体之外的一般是 通过波纹管或者密封垫圈进行密封，通常也没有采取良好的冷却措施，较高的真空处理腔 内温度会通过热传递到相应的垫圈或者波纹管，这样也很容易造成密封圈老化、波纹管断 裂。另外，挡板的旋转通过轴来带动控制，轴的一端需要接触到真空腔内。某些时候，轴需 要高速运转或者需要承受较大的扭矩或者会接收到外部的热量，相应的在轴上也会产生热 量，当热量无法得到有效的冷却时，就会降低轴的寿命和安装精度，甚至造成轴报废，影响 挡板控制机构的的正常运行，最主要的一点由此将会带来噪音、震动，由此可能造成产品出 现问题。已知的现有的冷却机构都是对安装轴的轴承、基座或者腔体进行的冷却。现有技 术中无法有效地对遮挡蒸发源的挡板进行冷却，或者说没有冷却蒸发源挡板，会造成膜层 容易脱落，降低了真空腔内的工艺环境等。另外现有的挡板，也无法保证膜层的纯度及品 质。因此提供一种合理的挡板冷却机构至关重要。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种冷却效果好、附着力强、清洁度高并能降低真空腔 体温度、提高膜层形成质量的挡板冷却机构。为实现上述目的，本技术的技术方案为提供一种适用于与冷却介质配合使用的挡板冷却机构，所述挡板通过旋转轴悬设于提供真空环境的真空腔体内并位于蒸发源 与待镀基板之间，所述旋转轴的上端与所述挡板固定连接，所述旋转轴的下端穿过所述真 空腔体并与真空腔体外的传动组件固定连接，所述旋转轴与所述真空腔体之间设有动密封 组件，所述动密封组件套设于所述旋转轴上并与所述旋转轴枢接，其中，所述挡板冷却机构 包括连接座、连接件、冷却腔、冷却管、输出管、输入接口及输出接口，所述挡板通过所述连 接座与所述旋转轴固定连接，所述连接件套设于所述旋转轴位于真空腔体外的端部上，所 述连接件的上端与所述旋转轴枢接，所述连接件的下端与所述输入接口固定连接，所述输 入接口与所述输出接口固定连接并位于所述连接件与输出接口之间，所述旋转轴、连接件、 输入接口及输出接口均沿所述旋转轴的轴向方向开设有中空结构并相互连通形成所述冷 却腔，所述输出管悬于所述冷却腔内并贯穿所述旋转轴、连接件、输入接口，所述输出管位 于腔体外的末端与所述输出接口固定连接，所述冷却管铺设于所述挡板上，所述冷却管具 有输入端与输出端，所述冷却管的输入端与所述冷却腔连通，所述冷却管的输出端与所述 输出管连通，所述输入接口与所述冷却腔连通，所述输出接口与所述输出管连通。较佳地，所述连接座包括上连接座与下连接座，所述上连接座与所述挡板固定连 接，所述下连接座与所述旋转轴的上端固定连接，所述上连接座与所述下连接座通过螺钉 固定连接，所述上连接座与所述下连接座之间设有第一密封圈，所述上连接座上开设有上 空腔，所述下连接座上开设有下空腔，所述输出管位于真空腔体内的端部容置于所述上空 腔内，所述输出管与所述上空腔之间设有第二密封圈，所述上空腔与所述下空腔连通，所述 上空腔分别连通所述冷却管的输出端及所述输出管，所述下空腔分别连通所述冷却管的输 入端及所述冷却腔。通过所述上连接座与所述下连接座，使挡板、冷却管、输出管、旋转轴之 间的组装方便同时又保持了较高密封性，保持了冷却介质的循环通路，使冷却顺利进行。较佳地，所述下连接座与所述旋转轴之间还设有中空的旋转管，所述旋转管的上 端与所述上连接座固定连接，所述旋转管的下端与所述旋转轴固定连接，所述输出管贯穿 所述旋转管。通过所述旋转管，便于所述挡板与连接座、旋转轴之间的安装与拆卸，方便维 修与更换。较佳地，所述挡板的表面对应所述冷却管开设有凹槽，所述冷却管容置于所述凹 槽中。通过凹槽的设计，增大冷却管与挡板的接触面积，增强挡板的冷却效果。作为本实用 新型的一实施例，所述冷却管为圆形管，所述凹槽为弧形凹槽。所述圆形管加工便利且成本 较为低廉。作为本技术的另一实施例，所述冷却管为矩形管，所述凹槽为矩形凹槽。较佳地，所述冷却介质为冷水。所述冷水不仅冷却效果好且成本较低，能有效吸收 挡板、旋转轴及其他组件产生的热量。较佳地，所述传动组件为齿轮，所述齿轮固定在所述旋转轴上并位于所述动密封 组件与连接件之间。所述齿轮由外部动力驱动从而带动旋转轴转动，实现控制挡板的活动 范围。同样较佳地，所述冷却管为金属管。所述金属管结构坚固，经久耐用，热传递效果 好。同样较佳地，所述挡板包括上表面与下表面，所述下表面为磨砂面，所述下表面与 所述蒸发源相对，通过磨砂处理，有利于镀膜物质的吸附，减少微粒脱落的概率，所述冷却 管铺设于所述挡板的上表面上。冷却管布置在挡板的非镀膜表面，避免与蒸发源直接相对，保证挡板的遮挡效果同时保护冷却管。同样较佳地，所述连接件与所述旋转轴之间设有第三密封圈。通过第三密封圈的 密封作用，在所述旋转轴做旋转运动时，使冷却腔与连接件之间充分密封，增强冷却效果。与现有技术相比，本技术的挡板冷却机构利用铺设在挡板上的冷却管实现对 挡板的冷却，通过连接件与旋转轴的枢接及与输入接口的固定连接，使旋转轴带动挡板转 动时输出管、输入接口及输出接口保持固定的状态，实现在挡板转动的同时进行冷却的目 的。所述输入接口、冷却腔、冷却管、输出管、输出接口依次连通形成循环回路，冷却介质从 输入接口流入，经过冷却腔流入到冷却管之后经输出管、输出接口流出，在冷却介质的循环 流动过程中，将热量源源不断的带走，从而达到冷却效果，不仅实现了对挡板的冷却，降低 了真空腔体内的温度，且带走了旋转轴及其他组件的热量，通过该冷却的循环回路在蒸镀 设备中对蒸发源进行遮挡的挡板进行冷却，增强膜物质与板的附着力，使附着在挡板上的 膜不易脱本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种挡板冷却机构，适用于与冷却介质配合使用，所述挡板通过旋转轴悬设于提供真空环境的真空腔体内并位于蒸发源与待镀基板之间，所述旋转轴的上端与所述挡板固定连接，所述旋转轴的下端穿过所述真空腔体并与真空腔体外的传动组件固定连接，所述旋转轴与所述真空腔体之间设有动密封组件，所述动密封组件套设于所述旋转轴上并与所述旋转轴枢接，其特征在于，所述挡板冷却机构包括：连接座、连接件、冷却腔、冷却管、输出管、输入接口及输出接口，所述挡板通过所述连接座与所述旋转轴固定连接，所述连接件套设于所述旋转轴位于真空腔体外的端部上，所述连接件的上端与所述旋转轴枢接，所述连接件的下端与所述输入接口固定连接，所述输入接口与所述输出接口固定连接并位于所述连接件与输出接口之间，所述旋转轴、连接件、输入接口及输出接口均沿所述旋转轴的轴向方向开设有中空结构并相互连通形成所述冷却腔，所述输出管悬于所述冷却腔内并贯穿所述旋转轴、连接件、输入接口，所述输出管位于腔体外的末端与所述输出接口固定连接，所述冷却管铺设于所述挡板上，所述冷却管具有输入端与输出端，所述冷却管的输入端与所述冷却腔连通，所述冷却管的输出端与所述输出管连通，所述输入接口与所述冷却腔连通，所述输出接口与所述输出管连通。...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：杨明生，叶宗峰，刘惠森，范继良，王曼媛，王勇，张华，
申请(专利权)人：东莞宏威数码机械有限公司，
类型：实用新型
国别省市：44[中国|广东]