蒸发舟及立式蒸发设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种蒸发舟，适于设置在呈真空环境的密封腔体内并用于对有机发光二极管和太阳能电池板中大面积的基板进行侧向蒸镀，其中，基板呈竖直的设置，而蒸发舟包括沿竖直方向设置并呈中空结构的蒸发舟本体，中空结构形成一端贯穿蒸发舟本体一侧的密封空腔，密封空腔的开口与基板相对应，且密封空腔内沿竖直方向设置有若干间隔开并供蒸发材料盛放用的盛放部，盛放部具有供蒸发材料在蒸发时产生的蒸镀物质通过的侧蒸发出口，侧蒸发出口与基板相对应。本实用新型专利技术蒸发舟能确保大面积的基板的对位精度及提高该基板镀膜的均匀性。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种蒸发舟，尤其涉及一种对有机发光二极管和太阳能电池板中大面积的基板进行侧向蒸镀的蒸发舟及立式蒸发设备。
技术介绍
OLED (英文全称为0rganic Light-Emitting Diode,中文名称为有机发光二极管)由于具备轻薄(面板厚度一般小于2毫米)、省电(操作电压一般为3伏至10伏之间)等特性，因此在数码产品的显示屏上得到了广泛应用，并且具有较大的市场潜力，目前世界上对OLED的应用都聚焦在平板显示器上，因为OLED是唯一在应用上能和TFT-IXD相提并论的技术，且是目前所有显示技术中，唯一可制作大尺寸、高亮度、高分辨率软屏的显示技术，可以做成和纸张一样的厚度。因此，OLED的显示技术是将来的显示技术的发展方向。众所周知，在OLED的制造过程中，会涉及到成千上万道工序，而OLED的基板镀膜·工序就是成千上万道工序中的一种。其中，在OLED的基板镀膜过程中，会借助到蒸发舟对置于蒸发舟上的蒸发材料进行加热蒸发，使蒸发材料受热产生蒸镀物质并镀于基板上。但是，请见图1，现有的蒸发舟300是水平地置于密封腔体的真空腔内的，而基板200也是水平地置于密封腔体的真空腔内并位本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种蒸发舟，适于设置在呈真空环境的密封腔体内并对有机发光二极管和太阳能电池板中大面积的基板进行侧向蒸镀，其特征在于，该基板呈竖直的设置，而所述蒸发舟包括沿竖直方向设置并呈中空结构的蒸发舟本体，所述中空结构形成一端贯穿所述蒸发舟本体一侧的密封空腔，所述密封空腔的开口与所述基板相对应，且所述密封空腔内沿竖直方向设置有若干间隔开并供蒸发材料盛放用的盛放部，所述盛放部具有供蒸发材料在蒸发时产生的蒸镀物质通过的侧蒸发出口，所述侧蒸发出口与所述基板相对应。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：叶宗锋，杨顺先，刘惠森，杨明生，
申请(专利权)人：东莞宏威数码机械有限公司，
类型：实用新型
国别省市：