一种氮化硼-石墨组合蒸发舟制造技术

本发明专利技术涉及一种氮化硼-石墨组合蒸发舟，具体的技术方案为：（1）以热压氮化硼陶瓷或热压氮化硼基复合陶瓷（如氮化硼/氮化铝复合陶瓷）制备成带蒸发槽的陶瓷舟。（2）以高纯细晶石墨制备成石墨发热体。（3）以热压氮化硼陶瓷或热压氮化硼基复合陶瓷制成薄板。将陶瓷舟、石墨发热体和陶瓷保温板用固定夹、石墨螺栓连接锁紧或用石墨压板、石墨压块压紧制备成组合是蒸发舟。该蒸发舟具有产品性能优良，工艺简单的特点，具有显著的经济和社会效益。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及真空蒸发镀铝薄膜用蒸发元件的制造方法，具体涉及ー种氮化硼-石墨组合蒸发舟。
技术介绍
真空蒸发镀铝的技术是综合成本最低的大規模制造金属铝薄膜的方法。其在多种エ业和日常用品中具有大量使用，如，大容量薄膜电容器、各种保鲜铝塑包装材料、阴极射线管显示器内的电子疏散膜等等。真空蒸发镀铝过程中最关键的消耗性元器件就是使金属铝丝变成铝蒸汽的加热元件、蒸发舟或蒸发坩埚。由于金属铝活性很大，作为蒸发舟或蒸发坩埚的材料必须能够耐受铝液的腐蚀。目前真空蒸发镀铝エ业用的加热元件根据不同的镀膜设备，要么是ニ硼化钛/氮化硼/氮化铝复合导电陶瓷制备的蒸发舟，要么是高纯石墨制备的坩埚。ニ硼化钛/氮化硼/氮化铝复合导电陶瓷蒸发舟是目前绝大多数镀膜设备的标准配置。该导电陶瓷蒸发舟由于高温铝腐蚀其使用寿命一般只有12 16小时，最高不会超过20小时。由于该蒸发舟的不均匀腐蚀，同时也由于被蒸发的铝液也參与导电发热，到蒸发舟寿命的中后期容易造成铝液飞溅，烧穿基材，形成针孔的问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供ー种氮化硼-石墨组合蒸发舟，该蒸发舟具有产品性能优良，エ艺简单的特点，具有显著的经济和社会效益。为实现上述目的， 本专利技术采用如下技术方案:ー种氮化硼-石墨组合蒸发舟，包括陶瓷舟、石墨发热体和陶瓷保温板，所述陶瓷舟是以热压氮化硼陶瓷或热压氮化硼基复合陶瓷制备成带蒸发槽的舟体；所述石墨发热体是采用高纯细晶石墨制备而成；所述陶瓷保温板是以热压氮化硼陶瓷或热压氮化硼基复合陶瓷制成的薄板；所述陶瓷舟、石墨发热体和陶瓷保温板自上而下依次叠放并采用固定卡和/或石墨螺栓连接锁紧。所述热压氮化硼基复合陶瓷为氮化硼/氮化铝复合陶瓷。所述薄板的厚度广3毫米。进ー步，所述陶瓷舟、石墨发热体、陶瓷保温板自上而下依次叠好，并在其两侧用与陶瓷舟的蒸发槽等长的氮化硼陶瓷固定卡夹持固定，形成组合蒸发舟。进ー步，所述陶瓷舟、石墨发热体、陶瓷保温板自上而下依次叠好，并在其两侧面的两端和中间用三个陶瓷或石墨固定卡夹持固定，形成组合蒸发舟。进ー步，所述陶瓷舟、石墨发热体、陶瓷保温板自上而下依次叠好，并在其两侧面中间用陶瓷或石墨固定卡夹持固定，形成组合蒸发舟。在两个陶瓷或石墨固定卡的底部设置有压板，所述压板经石墨螺栓与石墨发热体、陶瓷保温板以及两个陶瓷或石墨固定卡锁定。本专利技术还采用如下技术方案:ー种氮化硼-石墨组合蒸发舟，包括陶瓷舟、石墨发热体和石墨压板，所述陶瓷舟是以热压氮化硼陶瓷或热压氮化硼基复合陶瓷制备成带蒸发槽的舟体；所述石墨发热体是采用高纯细晶石墨制备而成，所述石墨发热体中部具有用于放置陶瓷舟的沉槽；所述石墨压板为环状体；所述陶瓷舟经石墨压板压紧在石墨发热体的沉槽内，所述石墨压板与石墨发热体之间经石墨螺栓锁紫。本专利技术还采用如下技术方案:ー种氮化硼-石墨组合蒸发舟，包括陶瓷舟、石墨发热体和石墨压块，所述陶瓷舟是以热压氮化硼陶瓷或热压氮化硼基复合陶瓷制备成带蒸发槽的舟体；所述石墨发热体是米用闻纯细晶石墨制备而成；所述石墨压块具有用于卡接陶瓷舟的卡槽；所述陶瓷舟经石墨压块压紧在石墨发热体的上表面，所述石墨压块与石墨发热体之间经石墨螺栓锁紧。本专利技术的有益效果在干:该蒸发舟具有产品性能优良，エ艺简单，使用寿命更长的特点。将被蒸发铝液与发热元件绝缘开来，大幅降低铝液飞溅，提高膜材质量。该蒸发舟具有显著的经济和社会效益。附图说明图1为陶瓷舟、石墨发热体和陶瓷保温板叠放顺序示意图。图2为实施例1中固定卡安装过程示意图。图3为实施例1中蒸发舟的结构示意图。图4为实施例2中蒸发舟的结构示意图。`图5为实施例3中蒸发舟的结构示意图。图6为实施例4陶瓷舟、石墨发热体和陶瓷保温板叠放顺序示意图。图7为实施例4中蒸发舟的爆炸示意图。图8为实施例4中蒸发舟的结构示意图。图9为实施例5中蒸发舟的爆炸示意图。图10为实施例5中蒸发舟的结构示意图。图11为实施例6中蒸发舟的爆炸示意图。图12为实施例6中蒸发舟的结构示意图。标号说明:1 一陶瓷舟2 —石墨发热体 3 —陶瓷保温板4 一固定卡 5 —压板6 —石墨螺栓 7 —石墨压板 8 一石墨压块。具体实施例方式为详细说明本专利技术的
技术实现思路
、构造特征、所实现目的及效果，以下结合实施方式并配合附图详予说明。实施例1 如图1、2和3所示，ー种氮化硼-石墨组合蒸发舟，包括陶瓷舟1、石墨发热体2和陶瓷保温板3，所述陶瓷舟I是以热压氮化硼陶瓷或热压氮化硼基复合陶瓷制备成带蒸发槽的舟体；所述石墨发热体2是采用高纯细晶石墨制备而成；所述陶瓷保温板3是以热压氮化硼陶瓷或热压氮化硼基复合陶瓷制成的薄板；所述陶瓷舟1、石墨发热体2、陶瓷保温板3自上而下依次叠好，并在其两侧用与陶瓷舟的蒸发槽等长的氮化硼陶瓷固定卡4夹持固定，形成组合蒸发舟。所述热压氮化硼基复合陶瓷为氮化硼/氮化铝复合陶瓷。所述薄板的厚度广3毫米。实施例2 如图1和图4所示，ー种氮化硼-石墨组合蒸发舟，包括陶瓷舟1、石墨发热体2和陶瓷保温板3，所述陶瓷舟I是以热压氮化硼陶瓷或热压氮化硼基复合陶瓷制备成带蒸发槽的舟体；所述石墨发热体2是采用高纯细晶石墨制备而成；所述陶瓷保温板3是以热压氮化硼陶瓷或热压氮化硼基复合陶瓷制成的薄板；所述陶瓷舟1、石墨发热体2、陶瓷保温板3自上而下依次叠好，并在其两侧面的两端和中间用三个陶瓷或石墨固定卡4夹持固定，形成组合蒸发舟。所述热压氮化硼基复合陶瓷为氮化硼/氮化铝复合陶瓷。所述薄板的厚度r3毫米。实施例3 如图1和图5所示，ー种氮化硼-石墨组合蒸发舟，包括陶瓷舟1、石墨发热体2和陶瓷保温板3，所述陶瓷舟I是以热压氮化硼陶瓷或热压氮化硼基复合陶瓷制备成带蒸发槽的舟体；所述石墨发热体2是采用高纯细晶石墨制备而成；所述陶瓷保温板3是以热压氮化硼陶瓷或热压氮化硼基复合陶瓷制成的薄板；所述陶瓷舟1、石墨发热体2、陶瓷保温板3自上而下依次叠好，并在其两侧面 中间用陶瓷或石墨固定卡4夹持固定，形成组合蒸发舟。所述热压氮化硼基复合陶瓷为氮化硼/氮化铝复合陶瓷。所述薄板的厚度广3毫米。实施例4 如图6、7和8所示，ー种氮化硼-石墨组合蒸发舟，包括陶瓷舟1、石墨发热体2和陶瓷保温板3，所述陶瓷舟I是以热压氮化硼陶瓷或热压氮化硼基复合陶瓷制备成带蒸发槽的舟体；所述石墨发热体2是采用高纯细晶石墨制备而成；所述陶瓷保温板3是以热压氮化硼陶瓷或热压氮化硼基复合陶瓷制成的薄板；所述陶瓷舟1、石墨发热体2、陶瓷保温板3自上而下依次叠好，并在其两侧面中间用陶瓷或石墨固定卡4夹持固定，形成组合蒸发舟。在两个陶瓷或石墨固定卡4的底部设置有压板5，所述压板经石墨螺栓6与石墨发热体、陶瓷保温板以及两个陶瓷或石墨固定卡4锁定。所述热压氮化硼基复合陶瓷为氮化硼/氮化铝复合陶瓷。所述薄板的厚度广3毫米。实施例5 如图9和10所示，ー种氮化硼-石墨组合蒸发舟，包括陶瓷舟1、石墨发热体2和石墨压板7，所述陶瓷舟I是以热压氮化硼陶瓷或热压氮化硼基复合陶瓷制备成带蒸发槽的舟体；所述石墨发热体2是米用闻纯细晶石墨制备而成，所述石墨发热体2中部具有用于放置陶瓷舟的沉槽；所述石墨压板7为环状体；所述陶瓷舟I经石墨压板7压紧在石墨发热体2的沉槽内，所述石墨压板与石墨发热体之间经石墨螺栓6锁紧。实施例6 如图本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种氮化硼?石墨组合蒸发舟，其特征在于：包括陶瓷舟、石墨发热体和陶瓷保温板，所述陶瓷舟是以热压氮化硼陶瓷或热压氮化硼基复合陶瓷制备成带蒸发槽的舟体；所述石墨发热体是采用高纯细晶石墨制备而成；所述陶瓷保温板是以热压氮化硼陶瓷或热压氮化硼基复合陶瓷制成的薄板；所述陶瓷舟、石墨发热体和陶瓷保温板自上而下依次叠放并采用固定卡和/或石墨螺栓连接锁紧。

【技术特征摘要】
1.一种氮化硼-石墨组合蒸发舟，其特征在于:包括陶瓷舟、石墨发热体和陶瓷保温板，所述陶瓷舟是以热压氮化硼陶瓷或热压氮化硼基复合陶瓷制备成带蒸发槽的舟体；所述石墨发热体是采用高纯细晶石墨制备而成；所述陶瓷保温板是以热压氮化硼陶瓷或热压氮化硼基复合陶瓷制成的薄板；所述陶瓷舟、石墨发热体和陶瓷保温板自上而下依次叠放并采用固定卡和/或石墨螺栓连接锁紧。2.根据权利要求1所述的氮化硼-石墨组合蒸发舟，其特征在于:所述热压氮化硼基复合陶瓷为氮化硼/氮化铝复合陶瓷。3.根据权利要求1所述的氮化硼-石墨组合蒸发舟，其特征在于:所述薄板的厚度广3毫米。4.根据权利要求1所述的氮化硼-石墨组合蒸发舟，其特征在于:所述陶瓷舟、石墨发热体、陶瓷保温板自上而下依次叠好，并在其两侧用与陶瓷舟的蒸发槽等长的氮化硼陶瓷固定卡夹持固定，形成组合蒸发 舟。5.根据权利要求1所述的氮化硼-石墨组合蒸发舟，其特征在于:所述陶瓷舟、石墨发热体、陶瓷保温板自上而下依次叠好，并在其两侧面的两端和中间用三个陶瓷或石墨固定卡夹持固定，形成组合蒸发舟。6.根据权利要求1所述的氮化硼-石墨组合蒸发舟，...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄向东，曹志冠，
申请(专利权)人：福州赛瑞特新材料技术开发有限公司，
类型：发明
国别省市：