下载一种氮化硼-石墨组合蒸发舟的技术资料

文档序号:8678182

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本发明涉及一种氮化硼-石墨组合蒸发舟,具体的技术方案为:(1)以热压氮化硼陶瓷或热压氮化硼基复合陶瓷(如氮化硼/氮化铝复合陶瓷)制备成带蒸发槽的陶瓷舟。(2)以高纯细晶石墨制备成石墨发热体。(3)以热压氮化硼陶瓷或热压氮化硼基复合陶瓷制成薄...
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