本发明专利技术公开了一种晶片盒的定位支撑台，涉及快速热处理炉，属于半导体制造领域。该结构包括：一个片盒架、一个拉簧控制的转动钩型连杆，一个固定支架台，一与压簧和压杆连动的微型行程开关。所述的片盒架，用于支撑晶片盒，由螺钉与固定支架台连接；所述的拉簧助力的转动钩型连杆用于钩住固定晶片盒；所述的固定支架台用于整个片盒架的固定，以及将整个片盒架台固定在晶片传输系统中，让机械手取送晶片到晶片盒内的准确位置，晶片盒在定位支撑台上时，下压弹簧压杆，行程开关闭合，检测电路指示灯亮。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术是用于快速热处理炉中的晶片盒的定位支撑架台，属于半导体设备领域。
技术介绍
单晶片的快速热处理炉是在几十秒的时间内，将单个晶片加热到400 1300°C 范围内，然后迅速晶片冷却，由于它是快速加热快速降温，快速热处理炉极大的减小了热预 算。快速热处理最常应用于晶片的离子注入后退火。现在的单晶片处理炉采用晶片盒装晶 片的自动机械手批处理方式，热处理炉中有两个晶片盒架台，分别定义为发送片盒架台和 接收片盒架台，搬运机械手将晶片从发送片盒取出后，送入加热腔体处理完后再取出晶片 冷却，最后搬送回接收片盒，晶片盒固定放置在片盒架台上。
技术实现思路
本专利技术采用将晶片盒放在片盒架36上，通过两钩形连接块12的末端钩住标准晶 片盒下的横板，晶片盒在片盒架台上时，就压下压簧压帽13和压簧26，通过一连接轴8和一 压块7传替到微型行程开关27，使微型行程开关27闭合，电路给电信号给控制系统，晶片盒 在片盒架台上。当一盒晶片都处理完毕后，要取走晶片盒，就旋动滚花转动手柄9，通过与之 紧定的转动轴10，再传替到与转动轴10紧定的钩形连接块12，两钩形连接块12通过横连 杆30连接到一块，同步松开两钩行连接块12，晶片盒取走后，松开滚花转动手柄9，在拉簧 24的拉力作用下，拉簧连接板14带动竖连杆15转动，竖连杆15与转动连接块35相连，转 动连接片35与一钩形连接块12紧定固定在一连接转动轴18上，一系列的转动传替使钩形 连接块12转回初始未钩晶片盒的自然位置。三个紧定螺钉21配合底座22和片盒架固定 圆盘1，可调节片盒架的平面度和片盒架台的高度，极大的方便了晶片传送机械手的对准和 参数联调。该机构由以下零件构成一片盒架固定圆盘1，一下支柱2，一下连接板3，一上连 接板4，一上支柱5，一转动手柄6，一个压块7，一连接轴8，一个滚花转动手柄9，一转动轴 10，一连接板11，两钩形连接块12，一压簧压帽13，两拉簧连接片14，一竖连杆15，一转动 板16，两短轴17，一连接传动轴18，一内六角螺钉19和垫圈20，三个高度紧定调节螺钉21， 一底座22，六定位销23，一拉簧24，十三个盘头十字槽螺钉25，一压簧26，一微型行程开关 27，六个内六角螺钉28，一轴套29，一横连杆30，十个微型法兰轴承31，七个开口挡圈32，一 短传动轴33，三内六角螺钉34，一转动连接块35，一片盒架36。如附图所示所述的片盒架固定圆盘1用于整个片盒架台的固定。所述的下支柱2下与底座22相连，上与下连接板3相连。所述的下连接板3下端与下支柱2相连接，上用螺钉19和垫片20相连接到上连 接板4。所述的所述的上连接板4下端与下连接板3连接，上与上支柱5相连接。所述的上支柱5上安装连接板11，其上端部开有U型槽，压微型行程开关27的压 块7在槽内滑动，压簧26放置在片盒架36上支柱5上与U型槽同心的圆孔内，该孔为阶梯 通孔，孔下端只能穿过连接轴8，微型行程开关27通过盘头十字槽螺钉25固定在上支柱5 上，在上支柱5上与U型槽相对侧，拉簧24通过拉簧连接片14固定在上支柱5上，上支柱 5的下端开孔，中间穿过连接传动轴18，轴18两端分别固定转动手柄6和转动板16。所述的转动手柄6用盘头十字槽螺钉25固定在连接传动轴18上。所述的压块7与连接轴8通过盘头十字槽螺钉25固定，传替压簧26的压力，开闭 合微型行程开关27。所述的连接轴8连接压块7和压簧压帽13。气流通过多孔分散吹出，均勻冷却晶 片。大冷却板嵌装在圆柱腔体3上孔内，上压压盖圆环6。所述的滚花转动手柄9用于取放晶片盒时，需转动两钩形连接块12，拧动滚花转 动手柄9，带动转动轴10转动，转动传替到转动两钩形连接块12上。所述的转动轴10用于传替滚花转动手柄9的转动。所述的连接板11连接上支柱5和片盒架36。所述的钩形连接块12 —端由盘头十字槽螺钉25与转动轴10和连接传动轴18紧 定，一端设计成钩形钩住晶片盒下的横板。所述的压簧压帽13顶晶片盒，当有晶片盒在片盒架台上时，压簧压帽13就压下压 簧26，使连接轴8和压块7下压微型行程开关27，使其闭合，当片盒架台上没有晶片盒，压 簧回推压簧压帽13，带动连接轴8和压块7上移，松开闭合的微型行程开关27。所述的拉簧连接片14共两个，分别固定拉簧24的两端，一个装在竖连杆15上，另 一个装在上支柱5上。所述的竖连杆15用轴连动转动板16和转动连接块35。所述的转动板16连接短轴17和连接传动轴18，两端都用盘头十字槽螺钉25紧定。所述的短轴17连接竖连杆15与转动板16，两端开有轴颈用于开口挡圈32来限位 微型法兰轴承31。所述的连接传动轴18在上支柱5的两边分别连接转动板16和转动手柄6。所述的螺钉19和垫圈20紧固连接下连接板3和上连接板4。所述的高度紧定调节螺钉21共三个，通过拧过底座22上的螺纹孔，顶推片盒架固 定圆盘1来调节片盒架的平面度和整个片盒架台的高度。所述的底座22用螺钉上与下支柱2下与片盒架固定圆盘1相连接。所述的定位销23共6个，用于下支柱2和底座22、下支柱2和下连接板3、上连接 板4和上连接柱5的定位安装。所述的拉簧24拉动竖连杆15的转动。所述的盘头十字槽螺钉25用于轴18与转动块35和拉簧连接片14与上支柱5和 竖连杆15间，以及钩形连接块12与横连杆30之间的连接和紧定。所述的压簧26采用微型压缩弹簧，只需提供小的回弹力推回压簧压帽13。所述的微型行程开关27在压块7下压其上时的弹片，使其闭合，给电路导通信号， 显示晶片盒在片盒架台上；在取走晶片盒后，微型行程开关27上的弹片又回弹，电路又处于截止状态，显示晶片盒不在片盒架台上。所述的螺钉28用于紧固连接底座22和下支柱2。所述的轴套29用于加强轴10的固定和微型法兰轴承31的定位。所述的横连杆30用于连接两钩形连接块12，将滚花转动手柄9的转动从转动轴 10处的传替到到短连接轴33端。所述的微型法兰轴承31用于支撑各轴的转动，共10个，转动轴10上与连接块11 接触处有三个，短连接轴33上与连接块11接触处有三个，短连接轴32两端有两个，连接传 动轴18与上支柱接触处的两端有两个。所述的开口挡圈32用于微型法兰轴承31的限位。。所述的短传动轴33由微型法兰轴承31支撑固定在连接块11上。所述的螺钉34固定连接片盒架36与连接块11。所述的转动连接板35与一钩形连接块12同心贴装在短传动轴33上，转动连接板 35与钩形连接块12之间用螺钉固定连接为一体。所述的片盒架36是晶片盒的支撑体。附图说明图1为片盒的定位支撑台示意图；图2为片盒的定位支撑台的A向视图；图3片盒的定位支撑台俯视图.具体实施例方式晶片盒的定位支撑台，该装置中的片盒架是根据四寸、六寸和八寸标准晶片盒底 部特征设计，做到三种尺寸兼容；晶片盒在定位支撑台上时，下压压簧压杆，装置中微型行 程开关27在压块7下压其上时的弹片，使行程开关闭合，给电路导通信号，检测电路指示灯 亮，显示晶片盒在片盒架台上；在取走晶片盒后，微型行程开关27上的弹片又回弹，电路又 处于截止状态，显示晶片盒不在片盒架台上，拉簧助力的转动钩型连杆用于钩住固定晶片 盒，取放片盒时只需转动滚花转动手柄9，装卸片盒便捷、能实时监测本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种晶片盒的定位支撑台，其特征在于：一个片盒架、一个拉簧控制的转动钩型连块，一压簧和压杆与微型行程开关。
【技术特征摘要】
1.一种晶片盒的定位支撑台，其特征在于一个片盒架、一个拉簧控制的转动钩型连 块，一压簧和压杆与微型行程开关。2.如权利要求1所述的一种晶片盒的定位支撑台，其特征在于所述的片盒架是根据 标准晶片盒底部设计的平面支撑板。3.如权利要求1所述的一种晶片盒...
【专利技术属性】
技术研发人员：袁卫华，龙会跃，邱小莎，钟新华，金则军，
申请(专利权)人：北京中科信电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]
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