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本发明公开了一种晶片盒的定位支撑台，涉及快速热处理炉，属于半导体制造领域。该结构包括：一个片盒架、一个拉簧控制的转动钩型连杆，一个固定支架台，一与压簧和压杆连动的微型行程开关。所述的片盒架，用于支撑晶片盒，由螺钉与固定支架台连接；所述的拉簧...
该专利属于北京中科信电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京中科信电子装备有限公司授权不得商用。

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