【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种镀膜装置，尤其涉及一种溅镀式镀膜装置。
技术介绍
镀膜技术是利用物理或化学手段在固体表面镀膜，从而使固体表面具有耐磨损、 耐高温、耐腐蚀、抗氧化、放辐射、导电、导磁或绝缘等许多优越性能，从而达到提高产品质 量、延长产品寿命、节约能源和获得显著技术经济效益的作用。其中，溅镀是指在低真空环境下利用荷能粒子轰击靶材表面，通过粒子的动量传 递打击靶材中的原子及其他粒子，并使其沉积在待镀工件表面上形成薄膜。它依靠荷能粒 子和靶材原子的动量交换，使靶材的原子、分子脱离表面进入气相，溅射出来的原子具有较 高的能量，沉积在待镀工件表面后还有足够动能使之在表面上迁移，因此成膜质量较佳，且 与基体结合牢固、镀膜密度高。溅镀有两种，一种是在真空室中，利用离子束轰击靶面，使溅 射出的离子在待镀工件表面成膜，离子束是由特制结构的离子源产生。另一种是在真空室 中，利用低压气体放电现象，使处于离子状态的离子轰击靶表面，溅射出的原子在待镀工件 上成膜。目前，在手机表面镀膜即采用溅镀的方式。一般地，在阴极设置靶材，在阳极设置 待镀工件，而且，传统的溅镀方式是将待镀工件置于托架...
【技术保护点】
一种溅镀装置，其特征在于：包括第一筒状物和第二筒状物，该第二筒状物位于该第一筒状物内，该第二筒状物设有若干开孔，每个开孔用于放置待镀工件，该第二筒状物可相对该第一筒状物转动，该第一筒状物和该第二筒状物之间设有若干第一靶材，每个第一靶材具有一个第一溅镀面，每个第一溅镀面朝向至少一个开孔，至少一个第一溅镀面和该至少一个开孔所在平面相交。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：颜士杰，
申请(专利权)人：鸿富锦精密工业深圳有限公司，鸿海精密工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：94[中国|深圳]
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