下载溅镀装置的技术资料

文档序号:4357231

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本发明提供一种溅镀装置,包括第一筒状物和第二筒状物,该第二筒状物位于该第一筒状物内,该第二筒状物设有若干开孔,每个开孔用于放置待镀工件,该第二筒状物可相对该第一筒状物转动,该第一筒状物和该第二筒状物之间设有若干第一靶材,每个第一靶材具有一个...
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