炉管隔热装置及利用该装置的炉管预防维护保养方法制造方法及图纸

本发明专利技术揭露了一种炉管隔热装置及利用该装置的炉管预防维护保养方法。该炉管隔热装置，于拆装炉管底座上的进气歧管时，安装于炉管内，该隔热装置为向一侧凹陷的圆盘形，侧壁上具有一个或多个开口。于炉管预防保养时，将以上隔热装置安装于炉管内，便可以从炉管底座上的进气歧管安装处将炉管反应室分为两部分，其中隔热装置凹陷空间以下的部分温度较低，在隔热装置的作用下，凹陷空间以上部分的热不会传导到下部来，从而不需要使用手套等耐热防护，便可以于凹陷空间以下的部分进行进气歧管的拆装操作，进而保证了各管壁的清洁度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及炉管维护保养领域，特别是涉及一种炉管隔热装置及利用该装置的炉管预防维护保养方法。
技术介绍
炉管系统广泛应用于半导体领域，为半导体器件的制造提供反应所需的空间环境。图l便示出了常见的炉管机台的结构示意图。如图所示，该炉管机台包括加热器io，外 管11以及内管12，以将一定数量的晶圆W密封在反应室13内，以为晶圆W提供特定压力 和温度的反应环境。其中加热器10用于加热，以使反应室13内达到所需温度；外管11用 于反应室13密封，内管12用于与外管11隔离，其内具有晶圆支架14，用以承载晶圆W;支 架14下部对应设有升降机15，以调整支架14的高度；底座16用于承载外管ll，且其上安 装有多个进气歧管(Manifold) 17，反应所需的气体便通过进气歧管17注入反应室13内，从 而在一定压力和特定温度下，经过一段时间的反应在晶圆W表面生长出特定的薄膜。通常 进气歧管17相对于底座安装为垂直安装，且为了保证安装后的气密性，往往利用一些锁固 器件来将进气歧管17固定于底座16上，例如利用0型圈与固定螺栓来达到密封固定的安 装效果。 如此的垂直、且密封的安装要求，便为炉管机台的定期预防维护保养(PM)带来了 拆装上的不便，例如定期清理反应室13、更换进气歧管17等。其中部分较小范围内的预防 保养需要在高温环境下更换进气歧管17，在操作过程中，便需要将进气歧管17放入高温环 境或从高温环境中取出，因此需要耐热防护。 目前常见的耐热防护方式是手套，其中耐热效果比较好的是石棉手套。但其存在 以下缺点石棉手套太厚无法灵活操作，且石棉纤维容易脱落而粘在管壁(包括内管12、外 管11和底座16的侧壁)上或者粘在进气歧管17上而形成污染；此外，安装时需要两个人 协作方能完成。为了克服石棉手套的灵活性问题，可以利用羊皮手套来代替。然而羊皮手 套在高温环境下坚持不了太长时间，而且手套不易清洁；故有时在操作时将无尘布垫在手 套上再拿起进气歧管17 ;如此无尘布容易接触到管壁而被融化粘在管壁上形成污染。 另外，以上拆装进气歧管17的方式还容易出现以下不利状况 1.部分进气歧管17的长度较长(例如超过1000毫米)，在装入反应室13或从反 应室13内取出时，由于手只能捏住进气歧管17底部的转角处，无法实现稳定操作，而使进 气歧管17极易碰到管壁而产生不利颗粒。 2.进气歧管17安装完成后需要调整垂直度，然而进气歧管17可能已经与管壁接 触，所以调整时会产生摩擦而形成不利颗粒；另外，操作人员在观察上也存在感官差异及观 察难度，如此造成的垂直度安装差异会影响反应室13内的反应进程。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是提供一种炉管系统维护保养的隔热防护装置及使4用方法，以避免现有手套防护方式所造成的污染。 为解决以上技术问题，本专利技术提供一种炉管隔热装置，于拆装炉管底座上的进气 歧管时，安装于炉管内，该隔热装置为向一侧凹陷的圆盘形，侧壁上具有一个或多个开口 ， 且所述开口的大小容所述进气歧管外圆转角处通过而使该转角处暴露于所述隔热装置的 凹陷空间内。 进一步的，所述开口的数量等于炉管底座上进气歧管安装孔的数量。 进一步的，所述隔热装置的盘口侧具有环形边缘。 进一步的，所述炉管隔热装置为一体成型。 进一步的，对应于所述每一个开口 ，该隔热装置上形成有导向滑道，且该导向滑道 从对应开口的一侧延伸至所述隔热装置的盘底。 进一步的，该隔热装置还包括夹持器，设置于所述隔热装置的盘底上且位于其凹 陷空间内，以夹持暴露于所述凹陷空间内的进气歧管。 进一步的，所述夹持器包括开闭把手与夹持端，且夹持端在开闭把手的作用下打 开与闭合，其中夹持端在闭合时形成圆柱形夹持口，以将部分所述进气歧管夹持在该夹持 口内。 进一步的，所述圆柱形夹持口的尺寸是根据所述进气歧管外圆转角尺寸设定。 进一步的，夹持端在闭合时还形成方形引导口，位于所述夹持口与所述开闭把手 之间，以引导所述进气歧管。 进一步的，所述方形引导口内表面具有光滑软材。 进一步的，所述开闭把手上设置有张力锁紧装置。 进一步的，所述夹持器以步进旋转的方式设置于所述隔热装置的凹陷空间内。 进一步的，所述夹持器与所述隔离装置盘底的连接处设置有旋转角度定位装置， 以控制夹持器的旋转步进角度。 进一步的，所述夹持器的旋转步进角度等于炉管底座上两进气歧管安装孔之间的 角度。 进一步的，该隔热装置由不导热材料制成。 进一步的，该隔热装置的材质为双层真空结构。 本专利技术另提供一种炉管预防维护保养方法，利用以上炉管隔热装置拆卸进气歧 管，包括如下步骤 将炉管隔热装置固定在炉管底座上，使得进气歧管的转角处暴露于隔热装置的凹陷空间内，且凹陷空间面向炉管底端； 移动夹持器并使其夹住进气歧管； 松动进气歧管固定螺栓并取出密封0型圈； 向炉管隔热装置中心部位移动夹持器； 打开夹持器，使得进气歧管进入所述导向滑道； 取出进气歧管。 本专利技术还提供一种炉管预防维护保养方法，利用以上炉管隔热装置安装进气歧 管，其特征是，包括如下步骤 将炉管隔热装置固定在炉管底座上，使得隔热装置侧壁上的开口对应于进气歧管的安装孔，且凹陷空间面向炉管底端； 将进气歧管通过导向滑道装入炉管内； 利用夹持器夹住进气歧管； 将进气歧管装入炉管底座上的进气歧管安装孔并将其锁紧； 打开并向炉管隔热装置中心部位移动夹持器。 可见，于炉管预防保养时，将以上隔热装置安装于炉管内，便可以从炉管底座上的 进气歧管安装处将炉管反应室分为两部分，其中隔热装置凹陷空间以下的部分温度较低， 在隔热装置的作用下，凹陷空间以上部分的热不会传导到下部来，从而不需要使用手套等 耐热防护，便可以于凹陷空间以下的部分进行进气歧管的拆装操作，进而保证了各管壁的清洁度。 进一步在隔热装置上设置夹持器，且配合导向滑道的设计，可以保证进气歧管安 装的垂直度并减少划伤以及由进气歧管与管壁摩擦所产生的不利颗粒；同时，夹持器的使 用简化了拆装操作，一个人便可以完成，减少了人力资源的浪费。附图说明 图1为常见的炉管机台的结构示意图； 图2为本专利技术一实施例所提供的炉管隔热装置的立体结构示意图； 图3为本专利技术一实施例所提供的炉管隔热装置安装于炉管内的部分示意图； 图4为图2中炉管隔热装置的俯视示意图； 图5为图2中炉管隔热装置的部分放大示意图； 图6为图2中炉管隔热装置的截面示意图； 图7为图6中旋转角度定位装置的放大示意图； 图8为本专利技术一实施例所提供的炉管预防维护保养方法的流程示意图； 图9为本专利技术另一实施例所提供的炉管预防维护保养方法的流程示意图。具体实施例方式为使本专利技术的技术特征更明显易懂，下面结合附图与实施例，对本专利技术做进一步 的描述。 请参考图2，其为本专利技术一实施例所提供的炉管隔热装置的立体结构示意图。图中 简单示出了炉管机台的底座16，其上具有进气歧管安装孔20，进气歧管17便通过此安装孔 20装入炉管内。而隔热装置100于拆装进气歧管时，安装于该底座16之上。如图，隔热装 置100为向一侧凹陷的圆盘形，侧壁101上具有一个或多个开102。通常，开口 102的大小 可以容进气歧管17外圆转角处通过而使该转角处暴露于隔热装置100的凹陷空间103内。 请合并参本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种炉管隔热装置，于拆装炉管底座上的进气歧管时，安装于炉管内，其特征是，该隔热装置为向一侧凹陷的圆盘形，侧壁上具有一个或多个开口，其中所述开口的大小容所述进气歧管外圆转角处通过而使该转角处暴露于所述隔热装置的凹陷空间内。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王刚，徐国利，高文良，李瑞秋，周江，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]