修复工具制造技术

本申请提供一种修复工具，用于修复晶圆打包机中变形的真空吸嘴，修复工具包括支杆、主杆、活动件以及弹性件，支杆具有两个，主杆具有一个，主杆位于两个支杆之间，支杆以及主杆均与活动件连接，弹性件设置于活动件内，且位于支杆与主杆之间；支杆包括第一支撑件和与第一支撑件连接的第二支撑件，自第一支撑件朝向第二支撑件的方向上，第二支撑件的厚度逐渐递减，第二支撑件用于撑开真空吸嘴，以使主杆进入真空吸嘴中，以修复真空吸嘴，提高了修复真空吸嘴的修复效率。空吸嘴的修复效率。空吸嘴的修复效率。

【技术实现步骤摘要】
修复工具


[0001]本申请涉及半导体
，具体涉及一种修复工具。

技术介绍

[0002]晶圆在完成质量检验之后打包出货时，需要进行抽真空处理，抽真空需把真空吸嘴插到覆盖铝膜的晶圆前开口装运箱(Front Opening Shipping Box，FOSB)边，但因抽真空过程中容易造成打包机的真空吸嘴受到晶圆FOSB下压而发生变形，进而影响抽真空量，从而造成打包时间变长或者打包失败。
[0003]目前，通常采用一些现有的修复工具对真空吸嘴进行修复，但使用现有的工具修复真空吸嘴的修复效率不高。

技术实现思路

[0004]鉴于此，本申请提供一种修复工具，以解决采用现有的修复工具修复真空吸嘴效率不高的问题。
[0005]本申请提供一种修复工具，用于修复晶圆打包机中变形的真空吸嘴，所述修复工具包括支杆、主杆、活动件以及弹性件，所述支杆具有两个，所述主杆具有一个，所述主杆位于两个所述支杆之间，所述支杆以及所述主杆均与所述活动件连接，所述弹性件设置于所述活动件内，且位于所述支杆与所述主杆之间；所述支杆包括第一支撑件以及与所述第一支撑件连接的第二支撑件，自所述第一支撑件朝向所述第二支撑件的方向上，所述第二支撑件的厚度逐渐递减，所述第二支撑件用于撑开所述真空吸嘴，以使所述主杆进入所述真空吸嘴中，以修复所述真空吸嘴。
[0006]其中，所述第二支撑件靠近所述主杆的一面与所述第一支撑件靠近所述主杆的一面平齐，所述第二支撑件远离所述主杆的一面为倾斜面。
[0007]其中，所述第二支撑件靠近所述主杆的一面以及所述第二支撑件远离所述主杆的一面均为倾斜面。
[0008]其中，所述第一支撑件以及所述主杆远离所述第二支撑件的一端均设置有防滑件。
[0009]其中，自所述第一支撑件朝向所述第二支撑件的方向上，所述第一支撑件的正投影位于所述防滑件的正投影内。
[0010]其中，所述第一支撑件与所述第二支撑件为一体结构。
[0011]其中，所述第一支撑件与所述第二支撑件之间通过固定件连接。
[0012]其中，所述弹性件为弹簧。
[0013]其中，所述活动件具有三个间隔设置的通孔，两个所述支杆和一个所述主杆通过所述通孔连接于所述活动件。
[0014]其中，所述活动件设置于所述第一支撑件远离所述第二支撑件的一侧。
[0015]本申请提供一种修复工具，用于修复晶圆打包机中变形的真空吸嘴，修复工具包
括支杆、主杆、活动件以及弹性件，支杆具有两个，主杆具有一个，主杆位于两个支杆之间，支杆以及主杆均与活动件连接，弹性件设置于活动件内，且位于支杆与主杆之间；支杆包括第一支撑件和与第一支撑件连接的第二支撑件，自第一支撑件朝向第二支撑件的方向上，第二支撑件的厚度逐渐递减，第二支撑件用于撑开真空吸嘴，以使主杆进入真空吸嘴中，以修复变形的真空吸嘴。通过设计一种新的修复工具，即修复工具包括支杆、主杆、活动件以及弹性件，主杆位于两个支杆之间，支杆以及主杆均与活动件连接，弹性件设置于活动件内，且自第一支撑件朝向第二支撑件的方向上，将第二支撑件的厚度设置为逐渐递减，即第二支撑件远离第一支撑件的一端为尖端，利用第二支撑件的尖端，将闭塞的真空吸嘴撑开一定的空间，以使得主杆进入到变形的真空吸嘴中，就可以对真空吸嘴变形的区域进行修复，无需手工修复，提高了修复真空吸嘴的修复效率，且可以降低人员受到损伤的风险。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0017]图1是本申请提供的修复工具的结构示意图；
[0018]图2是图1中的修复工具的俯视结构示意图；
[0019]图3是本申请提供的修复工具在修复变形的真空吸嘴的结构示意图；
[0020]图4是本申请提供的修复工具在按压过程中的结构示意图。
[0021]附图标记：
[0022]10、修复工具；20、真空吸嘴；100、支杆；110、第一支撑件；120、第二支撑件；121、倾斜面；200、主杆；300、活动件；301、通孔；400、弹性件；500、防滑件。
具体实施方式
[0023]下面结合附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本申请一部分实施例，而非全部实施例。基于本申请中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。在不冲突的情况下，下述各个实施例及其技术特征可以相互组合。
[0024]本申请提供一种修复工具，用于修复晶圆打包机中变形的真空吸嘴，修复工具包括支杆、主杆、活动件以及弹性件，支杆具有两个，主杆具有一个，主杆位于两个支杆之间，支杆以及主杆均与活动件连接，弹性件设置于活动件内，且位于支杆与主杆之间；支杆包括第一支撑件和与第一支撑件连接的第二支撑件，自第一支撑件朝向第二支撑件的方向上，第二支撑件的厚度逐渐递减，第二支撑件用于撑开真空吸嘴，以使主杆进入真空吸嘴中，以修复变形的真空吸嘴。
[0025]在本申请中，通过设计一种新的修复工具，即修复工具包括支杆、主杆、活动件以及弹性件，主杆位于两个支杆之间，支杆以及主杆均与活动件连接，弹性件设置于活动件内，且自第一支撑件朝向第二支撑件的方向上，将第二支撑件的厚度设置为逐渐递减，即第二支撑件远离第一支撑件的一端为尖端，利用第二支撑件的尖端，将闭塞的真空吸嘴撑开
一定的空间，以使得主杆进入到变形的真空吸嘴中，就可以对真空吸嘴变形的区域进行修复，无需手工修复，提高了修复真空吸嘴的修复效率，且可以降低人员损伤的风险。
[0026]请参考图1
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图4，图1是本申请提供的修复工具的结构示意图；图2是图1中的修复工具的俯视结构示意图；图3是本申请提供的修复工具在修复变形的真空吸嘴的结构示意图；图4是本申请提供的修复工具在按压过程中的结构示意图。
[0027]本申请提供一种修复工具10，用于修复晶圆打包机中变形的真空吸嘴20，修复工具10包括支杆100、主杆200、活动件300以及弹性件400，支杆100具有两个，主杆200具有一个，主杆200位于两个支杆100之间，支杆100以及主杆200均与活动件300连接，弹性件400设置于活动件300内，且位于支杆100与主杆200之间；支杆100包括第一支撑件110以及与第一支撑件110连接的第二支撑件120，自第一支撑件110朝向第二支撑件120的方向上，第二支撑件120的厚度d逐渐递减，第二支撑件120用于撑开真空吸嘴20，以使主杆200进入真空吸嘴20中，以修复真空吸嘴20。具体的，主杆200和支杆100均采用铝合金材料制成；自支杆100朝向主杆200的方向上，支杆100的正投影与主杆200的正投影至少部分重叠，第二支撑件120远本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种修复工具，其特征在于，用于修复晶圆打包机中变形的真空吸嘴，所述修复工具包括支杆、主杆、活动件以及弹性件，所述支杆具有两个，所述主杆具有一个，所述主杆位于两个所述支杆之间，所述支杆以及所述主杆均与所述活动件连接，所述弹性件设置于所述活动件内，且位于所述支杆与所述主杆之间；所述支杆包括第一支撑件以及与所述第一支撑件连接的第二支撑件，自所述第一支撑件朝向所述第二支撑件的方向上，所述第二支撑件的厚度逐渐递减，所述第二支撑件用于撑开所述真空吸嘴，以使所述主杆进入所述真空吸嘴中，以修复所述真空吸嘴。2.根据权利要求1所述的修复工具，其特征在于，所述第二支撑件靠近所述主杆的一面与所述第一支撑件靠近所述主杆的一面平齐，所述第二支撑件远离所述主杆的一面为倾斜面。3.根据权利要求1所述的修复工具，其特征在于，所述第二支撑件靠近所述主杆的一面以及所述第二支撑件远离所述主杆的一面均为倾斜面。4.根据权利要求2所述的修复工具，其特征在于，所述第一支撑件以及所述主杆远离所...

【专利技术属性】
技术研发人员：卢卫柱，
申请(专利权)人：粤芯半导体技术股份有限公司，
类型：新型
国别省市：