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本申请提供一种修复工具，用于修复晶圆打包机中变形的真空吸嘴，修复工具包括支杆、主杆、活动件以及弹性件，支杆具有两个，主杆具有一个，主杆位于两个支杆之间，支杆以及主杆均与活动件连接，弹性件设置于活动件内，且位于支杆与主杆之间；支杆包括第一支撑...
该专利属于粤芯半导体技术股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过粤芯半导体技术股份有限公司授权不得商用。

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