彩色滤光片基板及图案化掩模制造技术

一种彩色滤光片基板及图案化掩模。彩色滤光片基板包括一遮光层及一滤光材料层。遮光层具有一透光开口。滤光材料层系至少覆盖透光开口。滤光材料层具有一梯形凸出部。梯形凸出部系对应于透光开口的一透光长边并覆盖部分之遮光层。

【技术实现步骤摘要】
彩色滤光片基板及图案化掩模本申请是2007年12月4日提交的题为"彩色滤光片基板及图案化掩模" 的第200710196497. 9号中国专利申请的分案申请。
本专利技术是有关于一种彩色滤光片基板及图案化掩模，且特别是有关于一种 可降低掩模雾化现象的彩色滤光片基板及图案化掩模。
技术介绍
液晶显示面板具有体积小、画质高及寿命长等优点，使得液晶显示面板广 泛地应用于各式电子装置中。液晶显示面板主要由背光模块、薄膜晶体管基板 及彩色滤光片基板所组成。在制作薄膜晶体管基板及彩色滤光片基板的过程 中，光刻制程系为常见的一个制程步骤。就彩色滤光片而言，在图案化滤光材料层的光刻制程中，系以一掩模作为 屏蔽，并以一光束曝光一滤光材料层。然而，在滤光材料层曝光的过程中，光束将会激发滤光材料层的光启始剂， 而激发污染物。污染物挥发时，将附着于掩模上，而造成掩模雾化。雾化的掩 模将影响光束的精准度。此时，生产线必须更换掩模，才能再进行生产。如此 一来，不仅影响产品品质，更降低产能。因此，如何改善掩模雾化的情况实为 目前研究发展的一重要方向。
技术实现思路
本专利技术是有关于一种彩色滤光片基板及图案化掩模，其利用梯形凸出部及 梯形凹口的结构，来改变部分光束的散射路径。即可避免在滤光材料层的同一处接收过多的光束，以减少污染物的挥发量。根据本专利技术的一方面，提出一种彩色滤光片基板，包括一遮光层及一滤光 材料层。遮光层具有一透光开口。滤光材料层系至少覆盖透光开口。滤光材料 层具有一梯形凸出部。梯形凸出部系对应于透光开口的一透光长边并覆盖部分 之遮光层。根据本专利技术的另一方面，提出一种图案化掩模，用以图案化一滤光材料层。 滤光材料层系形成于一彩色滤光基板上。图案化掩模包括一透光基板及一遮光 图案层。遮光图案层系形成于透光基板上。遮光图案层具有一曝光开口，曝光 开口具有一梯形凹口。梯形凹口系位于曝光开口的一曝光长边。为让本专利技术的上述内容能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附 图式，作详细说明如下附图说明图1绘示依照本专利技术第一实施例的彩色率光片基板(Color Filter Substrate)的示意图2绘示图1的彩色滤光片基板的制造流程图3A 3H绘示依照图2的各步骤的示意图4绘示依照本专利技术第二实施例的彩色滤光片基板的示意图5绘示依照本专利技术第二实施例的图案化掩模的示意图6绘示依照本专利技术第三实施例的彩色滤光片基板的示意图；以及图7绘示依照本专利技术第三实施例的图案化掩模的示意图。具体实施方式第一实施例请参照图1,其绘示依照本专利技术第一实施例的彩色率光片基板(Color Filter Substrate) 100的示意图。彩色滤光片基板100包括一遮光层110及 一滤光材料层120。遮光层110(又称为黑色矩阵(Black Matrix))具有一透光 开口 111 (如虚线所示的区域)。滤光材料层120系至少覆盖透光开口 111，在本实施例中，滤光材料层120完整覆盖透光开口 lll及一部份的遮光层110。滤光材料层120具有一梯形凸出部121，梯形凸出部121系对应于透光开口 111 的一第一透光长边llla并覆盖部分之遮光层110。如图1所示，滤光材料层 120在第一透光长边llla处并非为一直线，而是以梯形凸出部121向外凸出。滤光材料层120的材质系为具有某种原色的透光材料，例如是红色透光材 料、绿色透光材料或蓝色透光材料。 一般而言，相邻的两个画素之间，二个滤 光材料层120系以遮光层IIO作区隔，以确保相邻的两个画素不会互相污染， 并提高色彩的对比度。虽然梯形凸出部121系向外凸出，但梯形凸出部121仍位于遮光层110的 范围内，并未超出至另一画素的范围。如图1所示，梯形凸出部121的凸出部 高度121d小于相邻二滤光材料层120的间距D120。因此，两个相邻的画素之 间，仍然以遮光层IIO作良好的区隔。梯形凸出部121具有一凸出部短边121a及一凸出部长边121b。凸出部短 边121a系位于凸出部长边121b的外侧。也就是说，梯形凸出部121的宽度由 内向外逐渐缩小。梯形凸出部121具有一凸出部斜边121c。凸出部斜边121c与凸出部长边 121b的夹角9 121大于30度。在本实施例中，凸出部斜边121与凸出部长边 121b的夹角e 121系为45度。本实施例的梯形凸出部121系为一等腰梯形结构。所以，梯形凸出部121 的两个凸出部斜边121c与凸出部长边121b的两个夹角0 121相等。请同时参照图2及图3A 3H，图2绘示图1的彩色滤光片基板100的制造 流程图，图3A 3H绘示依照图2的各步骤的示意图。首先，请参照图3A，在 步骤S102中，提供一透光基板130。接着，请参照图3B，在步骤S104中，形成一遮光材料IIO，于透光基板 130上。然后，请参照图3C，在步骤S106中，图案化遮光层IIO，以形成数个透 光开口 111。接着，请参照图3D，在步骤S108中，形成具有某种原色的一滤光材料层120于透光基板130上。然后，请参照图3E，在步骤S110中，提供一图案化掩模200。图案化掩 模200包括一透光基板210及一遮光图案层220。遮光图案层220系形成于透 光基板210上。遮光图案层220具有一曝光开口 230。上述的滤光材料层120 系为一种负型光阻，滤光材料层120透过曝光开口 230曝光并经过显影液显影 后，已曝光的滤光材料层120将会留下。也就是说，曝光开口 230的形状系对 应于欲留下的曝光材料层120的形状。更详细来说，请同时参照图1及图3E。曝光开口 230具有一梯形凹口 231。 梯形凹口 231系相对于曝光材料层120的梯形凸出部121。梯形凹口 231系位 于曝光开口 230的一第一曝光长边230a。所以，曝光开口 230在第一曝光长边 230a处并非为一直线，而是以梯形凹口 231向外侧縮入。梯形凹口 231具有一凹口短边231a及一凹口长边231b，凹口短边231a系 位于凹口长边231b的外侧。也就是说，梯形凹口 231的宽度由外向内逐渐縮小。梯形凹口 231具有一凹口斜边231c。较佳地，凹口斜边231c与凹口长边 231b的夹角6231大于30度。在本实施例中，凹口斜边231c与凹口长边231b 的夹角9 231系为45度。本实施例的梯形凹口 231系为一等腰梯形结构。所以，梯形凹口231的两 个凹口斜边231c与凹口长边231b的两个夹角9 231相等。然后，请参照图3F，在步骤S112中，以图案化掩模200为屏蔽，曝光上 述的滤光材料层120。接着，请参照图3G及3H，在步骤S114中，以显影液显影已曝光的滤光材 料层120。其中图3G系为图3E的图案化掩模200及图1的彩色滤光片基板100 沿截面线G-G，的剖面图，图3H系为图3E的图案化掩模200及图1的彩色滤 光片基板IOO沿截面线H-H'的剖面图。如图3H所示，图案化掩模200的梯形 凹口 231系对应于彩色滤光片基板100的梯形凸出部121。所以梯形凹口 231 系对应于彩色滤光片基板100的遮光层110的部分区域，并未超出遮光层110 的范围。因此，留下的滤光材料层120并未超出至另一画素的范围。如此，即形成具本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种彩色滤光片基板（Ｃｏｌｏｒ　Ｆｉｌｔｅｒ　Ｓｕｂｓｔｒａｔｅ），包括：　一遮光层，具有一透光开口；以及　一滤光材料层，系至少覆盖该透光开口，该滤光材料层具有一第一梯形凸出部，该第一梯形凸出部系对应于该透光开口的一第一透光长边 并覆盖部分之该遮光层，其中该滤光材料层由一图案化掩模曝光而成，该图案化掩模包括一遮光图案层，该遮光图案层具有一曝光开口，该曝光开口具有一第一梯形凹口，该第一梯形凹口系位于该曝光开口之一第一曝光长边，该第一梯形凹口对应于该梯形凸出部。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈彦任，
申请(专利权)人：友达光电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]