本发明专利技术提供一种与最佳阻抗特性相匹配，保持高检查精度
的探针单元及检查装置。该探针单元包括：探针组装体，具有
与检查对象板相接触而传输检查信号的探针；连接电缆部，电
连接上述探针侧和外部装置侧；上述连接电缆部具有传输伴随
着检查所产生的电信号的FPC电缆，该FPC电缆包括：传输检查
信号的多条信号线；在一侧面上形成该信号线的FPC基板；形
成在该FPC基板的另侧个面上的接地层；形成该接地层的一部
分，并插入到上述FPC基板的一侧面上的多条上述信号线之间
的线形的接地线。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种用于检查液晶面板等检查对象板的探针 单元及检查装置。
技术介绍
通常，通过在探针上形成全接地面来控制电气特性。作为该例子已有专利文献1 。基于图2和图3概括地i兌明专利文献1的 探针。被检查设备1的5个电极排列成一列，其中4个是电源电极 2, l个是接地电极3。配置在配线板4下侧即被检查设备1侧的电 源配线5和接地配线6与被检查设备1的多个电极相接触。电源配 线5和接地配线6对准电源电极2和接地电极3的位置进行配置。在配线板4上，在与接地配线6相反侧的面上隔着绝缘体7 设置有第 一全接地面8，借助通孔9接地配线6和第 一全接地面8 进行电连接。该第 一 全接地面8形成在位于配线板4上的绝缘体7 的整个面上。这样一来，通过^f吏与接地电极3同电位的第一全接地面8位 于电源配线5的上侧，从而不在电源配线5与接地配线6之间插入 电容器就能够降低探针前端即电源配线5前端部分的电感成分。 由此，能够减小电源配线54皮此之间的间隔和电源配线5与^r地 配线6的间隔，能够向具有窄间距(例如，200pm以下)的电^L 配置的被检查设备供给电源。在这样的探针中，根据全接地面8所具有的功能，作为电 气特性，不仅能够控制电感，而且也能够控制阻抗。专利文献l:日本特开2003 - 152036号公才艮
技术实现思路
专利技术要解决的问题但是，近年来检查对象板逐渐高清晰化，预计随之检查信号也会高频化。例如，在高清晰TV等中，预计在不久的将来， 检查信号将变为180Hz。然后，随着检查信号的高频化的发展， 若不使信号线的阻抗高度匹配，就会产生TCP的驱动用集成电 路驱动不良的问题。本专利技术是用于解决上述问题而提出的，其目的在于提供一 种即使检查信号高频化也能够进行稳定检查的探针单元和检查 装置。用于解决问题的方案为了解决上述问题，本专利技术的探针单元的特征在于，包括 探针组装体，具有与检查对象板相接触而传输检查信号的探针； 连接电缆部，电连接上述探针侧和外部装置侧；上述连接电缆 部具有传输伴随着检查所产生的电信号的F P C电缆，该F P C电缆 包括传输检查信号的多条信号线；在一侧面上形成该信号线 的FPC基板；形成在该FPC基板的另 一侧面上的4妄地层；形成该 接地层的一部分，并插入到上述FPC基板的一侧面上的多条上 述信号线之间的线形的接地线。最好将上述探针单元使用在下述的检查装置中，该检查装 置包括面板配设部，在对自外部插入的检查对象板的检查结 束之后，将检查对象板向外部搬出；测量部，支承从该面板配 设部输送来的#r查对象4反并进行试-验。专利技术的效果即使检查信号高频化也能够进行稳定的检查，能够保持高 检查精度。附图说明图l是表示本专利技术的实施方式的探针单元的后视的分解立 体图。图2是表示以往的探针单元的俯视图。 图3是表示以往的探针单元的侧视图。 图4是表示检查装置的一例的主视图。 图5是表示本专利技术的探针单元的立体图。 图6是表示本专利技术的探针单元的侧视图。 图7是表示本专利技术的探针单元的后视图。 图8是表示本专利技术的探针单元的后视立体图。 图9是表示本专利技术的探针单元的后视图。具体实施例方式以下， 一边参照附图 一边说明本专利技术的实施方式的探针单 元。另外，作为装有本实施方式的探针单元的检查装置，能够 使用各种的装置。例如，在检查对象是液晶面板的情况下，在 其制造工序中，对已封装了液晶的液晶面板是否具有说明书所 述的性能进行检查(试验)。通常，在该检查中使用包括具有多 个探针的探针单元的检查装置。该情况下，将检查装置的各探 针按压在液晶面才反的电才及上，在该状态下向*见定电才及供给夫见定 的电信号来进行检查。能够在这样的所有的检查装置中装入实 施方式的探针单元。图4表示这样的检查装置的一例。图示的检查装置ll主要 由面才反配i殳(panel set)部12和测量部13构成。面才反配设部12是用于将从外部插入的液晶面^反等4全查对 象板15输送到测量部11,并将完成检查的检查对象板15输送到外部的装置。面^反配i殳部12在其开口部16的里面设有面板配设 台17,由该面板配设台17支承检查对象板15并向测量部13输送。 此外，面板配设台17接收已在测量部13中完成4企查后的检查对 象板15,并向外部输送。测量部13是用于支承从面板配设部12输送来的检查对象 板15并进行试验的装置。测量部13具有卡盘顶部18和探针单元 21等。卡盘顶部18是用于支承检查对象板15的构件。该卡盘顶部 18由XYZe台(未图示)支承，控制向XYZ轴方向的移动和旋转， 从而调整纟企查对象板15的位置。本专利技术的探针单元21装在如上所述的检查装置11中。具体 地说，将探针单元21以面向基板20的开口 20A的状态由基板20 支承。另外，上述检查装置11是装有本专利技术的探针单元21的检 查装置的一例。可以在能装入本专利技术的探针单元21的所有检查 装置中适用本专利技术。如图5所示，探针单元21由探针基部22、支承部23、探针 组装体24和连接电缆部25构成。上述探针基部22是一体地支承多个支承部23的板材，该支 承部23支承探针组装体24。多个探针组装体24以面向工作台26 上的液晶面板等检查对象板15的状态借助支承部2 3由该探针基 部22支承。上述支承部23是用于在上述探针基部22上支承着该支承 部23基端侧的状态下，由其前端侧支承上述探针组装体24的构 件。如图5和图6所示，该支承部23包括悬吊块28，其直接安 装在上述探针基部22上并支承支承部23整体；滑块29,其支承 在该悬吊块28的前端部上；探针板30,其一体地安装在该滑块 29的内侧面(图6中的下侧面)上。探针组装体24是用于与检查对象板15的电路电极相接触 来传输检查信号的构件。探针组装体24安装在探针板30的下侧 面。该探针组装体24具有探针块32和探针33。探针块32直接安装在探针板30的下侧面。在该探针块32的 下侧安装有探针33。探针33是与检查对象板15的电路电极直接 相接触的构件。在纟果针33的前端部和基端部分别具有针部33A、 33B，前端部的针部33A与检查对象板15的电路电极相接触，基 端部的4十部3 3 B与连接电缆部2 5的端子相4妄触。连接电缆部25是用于电连接上述探针33和外部装置侧(未 图示)的构件。具体地说，该连接电缆部25直接与上述探针33 的针部33B和探针基部22侧的信号基板35连接，经由该探针基 部22侧的电路与外部装置进行电连接。即，该连接电缆部25经部装置电连接。如图6-8所示，该连接电缆部25由FPC板37、 驱动用集成电路38及FPC电缆39构成。上述FPC板37是用于将上述连接电缆部25固定在上述探针 组装体24侧的构件。FPC板37安装在探针板3 0的下侧。驱动用集成电路38是进行伴随着检查操作的处理的电路。 驱动用集成电路38安装在FPC板37的下侧。驱动用集成电路38 的一端与FPC电缆39连接。驱动用集成电路38的另 一端经由各 配线41,与探针33的基端侧的针部33B进行电连4妻。FPC电缆39是用于传输伴随着检查操作而产生的电信号的 电缆。FPC电缆39的一端固定在FPC板37上，并与驱动用集成电 路38进行电连接，在该状态下另 一本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种探针单元，其特征在于， 包括：探针组装体，具有与检查对象板相接触而传输检查信号的探针；连接电缆部，电连接上述探针侧和外部装置侧； 上述连接电缆部具有传输伴随着检查所产生的电信号的ＦＰＣ电缆， 该ＦＰＣ电缆包括：传输检查信号的多条信号线；在一侧面上形成该信号线的ＦＰＣ基板；形成在该ＦＰＣ基板的另侧个面上的接地层；形成该接地层的一部分，并插入到上述ＦＰＣ基板的一侧面上的多条上述信号线之间的线形的接地线。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：奈良冈修治，山内和弘，
申请(专利权)人：日本麦可罗尼克斯股份有限公司，
类型：发明
国别省市：JP
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