氮化镓基Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体LED的发光装置制造方法及图纸

技术编号:3224297 阅读:227 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种氮化镓基Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体LED的发光装置,包括一基板、一多层磊晶结构、一光取出层、一n型金属电极及一p型金属电极等构成,该多层磊晶结构又包括缓冲层、第一半导体层、光产生层、及第二半导体层等;其特征在于: 该基板,系可为蓝宝石(sapphire)材质,且基板的上表面可成长一缓冲层; 该第一半导体层,系成长于缓冲层上的n型GaN基Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体层; 该光产生层,系成长于第一半导体层上的GaN基Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体层,或称为活性层,可为GaN多量子井(MQW); 该第二半导体层,系成长于光产生层上的p型GaN基Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体层; 该光取出层,系成长于第二半导体层上可透光的金属氧化层; 该n型金属电极,系设置在第一半导体层的露出面上; 该p型金属电极,系设置在光取出层上;由此,可构成一氮化镓基LED的发光装置,并可经由后续的晶粒加工、设置、接线、及树脂灌膜封装,而构成一氮化镓基LED。(*该技术在2012年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种氮化镓基III-V族化合物半导体LED的发光装置,尤指一种适用于氮化镓基(GaN-based)III-V族材料的发光二极管(light-emitting diode,简称LED)者,主要是在一基板(substrate)上成长一多层磊晶结构(multi-layered epitaxial structure),并以磊晶(epitaxial)的方式成长一适当厚度且透光性较佳的金属氧化层(metal oxide layer,例如ZnO)在多层磊晶结构上,以作为光取出层(light extraction layer),而构成一氮化镓基LED的发光装置,具有较高的光取出率(light extraction efficiency)及可厚膜化等特性。
技术介绍
按,传统的氮化镓基发光装置,系以Ni/Au结构作为透明电极于P型半导体层表面,而藉以改善发光装置的发光效率;惟,Ni/Au结构本身即具有透光性较为不佳的材质特性,因此,结构特征上,Ni/Au结构的成形厚度极薄,仅可在0.005至0.2μm间;又,根据临界角度θC(CriticalAngle)原则,透明电极应最好具有适当厚度(本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种氮化镓基III-V族化合物半导体LED的发光装置,包括一基板、一多层磊晶结构、一光取出层、一n型金属电极及一p型金属电极等构成,该多层磊晶结构又包括缓冲层、第一半导体层、光产生层、及第二半导体层等;其特征在于该基板,系可为蓝宝石(sapphire)材质,且基板的上表面可成长一缓冲层;该第一半导体层,系成长于缓冲层上的n型GaN基III-V族化合物半导体层;该光产生层,系成长于第一半导体层上的GaN基III-V族化合物半导体层,或称为活性层,可为GaN多量子井(MQW);该第二半导体层,系成长于光产生层上的p型GaN基III-V族化合物半导体层;该光取出层,系成长于第二半导体层上可透光的金属氧化层;该n型金属电极,系设置在第一半导体层的露出面上;该p型金属电极,系设置在光取出层上;由此,可构成一氮化镓基LED的发光装置,并可经由后续的晶粒加工、设置、接线、及树脂灌膜封装,而构成一氮化镓基LED。2.根据权利要求1所述的氮化镓基III-V族化合物半导体LED的发光装置,其特征在于该基板,亦可为碳化硅(SiC)材质。3.根据权利要求1所述的氮化镓基III-V族化合物半导体LED的发光装置,其特征在于该基板的厚度,可在300至450μm;该缓冲层,系于基板的上表面所形成的LT-GaN/HT-GaN的缓冲层,LT-GaN系为先成长在基板上的低温缓冲层,LT-GaN的厚度可在30至500,HT-GaN系为成长在LT-GaN上的高温缓冲层,HT-GaN的厚度可在0.5至6μm;该第一半导体层的厚度,可在2至6μm;该第二半导体层,可为p-GaN、p-InGaN、p-AlInGaN的磊晶沉积层,厚度可在0.2至0.5μm。4.根据权利要求1所述的氮化镓基III-V族化合物半导体LED的发光装置,其特征在于该光产生层,亦可为InGaN多量子井(MQW)。5.根据权利要求1所述的氮化镓基III-V族化合物半导体LED的发光装置,其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员:洪详竣黄振斌易乃冠
申请(专利权)人:炬鑫科技股份有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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