晶片承载装置制造方法及图纸

一种晶片承载装置，包括：一机械手臂，向其前方延伸出一盘体；至少一倾斜支撑片，设置在该盘体的一端，且该倾斜支撑片具有一倾斜表面，用来支撑一晶片；至少一末端固定卡件，设置在该盘体的另一端；一可内缩式活动卡件，设于该倾斜支撑片的一侧，用来将该晶片由该倾斜表面推向该末端固定卡件，并与该末端固定卡件共同夹住并定位该晶片；以及一绝缘材料薄膜，贴覆于该倾斜支撑片的该倾斜表面上以及该末端固定卡件上，用来降低该晶片与该晶片承载装置之间的摩擦力。（*该技术在2015年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种晶片承载盘(robot blade)，尤其涉及可以降低微粒的污染以及晶片在晶片承载盘表面上摩擦力的晶片承载装置。
技术介绍
如本领域技术人员所知，在300mm晶片厂中，具有300mm晶片传送盒(Front Opening Unified Pod，FOUP)、晶片载入机(Load Port Unit，LPU)及微环境(Minienvironment，M/E)的晶片载卸模块(Material Loading Module)为目前主要的晶片载卸设备，其中FOUP晶片传送盒专作晶片储存及传输之用，而LPU晶片载入机则是用来开启FOUP边门的装置，使得储存于FOUP晶片传送盒内的晶片得以经由一机械手臂而载入工艺机台。传统的洁净室设计皆采用大空间的洁净控制，但随着洁净度要求越来越高，无论在成本上，或是污染粒子的控制上皆显得相当不利，因此以隔离方法作为提升洁净环境，且减少能源浪费的技术俨然已成为半导体厂的设计主流。此技术主要具有三个特性(1)在隔离空间之内须要求最高的洁净度；(2)隔离技术采用的微环境必须阻止污染物进入隔离环境空间内；(3)必须具有一种将产品传入传出隔离空间，且可在本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种晶片承载装置，其特征在于，包括：　　　　一机械手臂，向其前方延伸出一盘体；　　　　至少一倾斜支撑片，设置在该盘体的一端，且该倾斜支撑片具有一倾斜表面，用来支撑一晶片；　　　　至少一末端固定卡件，设置在该盘体的另一端；　　　　一可内缩式活动卡件，设于该倾斜支撑片的一侧，用来将该晶片由该倾斜表面推向该末端固定卡件，并与该末端固定卡件共同夹住并定位该晶片；以及　　　　一绝缘材料薄膜，贴覆于该倾斜支撑片的该倾斜表面上以及该末端固定卡件上，用来降低该晶片与该晶片承载装置之间的摩擦力。

【技术特征摘要】
1.一种晶片承载装置，其特征在于，包括一机械手臂，向其前方延伸出一盘体；至少一倾斜支撑片，设置在该盘体的一端，且该倾斜支撑片具有一倾斜表面，用来支撑一晶片；至少一末端固定卡件，设置在该盘体的另一端；一可内缩式活动卡件，设于该倾斜支撑片的一侧，用来将该晶片由该倾斜表面推向该末端固定卡件，并与该末端固定卡件共同夹住并定位该晶片；以及一绝缘材料薄膜，贴覆于该倾斜支撑片的该倾斜表面上以及该末端固定卡件上，用来降低该晶片与该晶片承载装置之间的摩擦力。2.如权利要求1所述的晶片承载装置，其特征在于，该绝缘材料薄膜包括聚酰亚胺。3.如权利要求1所述的晶片承载装置，其特征在于，该绝缘材料薄膜包括铁氟龙。4.如权利要求1所述的晶片承载装置，其特征在于，该绝缘材料薄膜包括添加粘土的聚酰亚胺的纳米复合材料。5.一种晶片承载装置，其特征在于，包括一机械手臂；一盘体；至少一倾斜支撑片，设置在该盘体上，且该倾斜支撑片具有一倾斜表面，用来支撑一晶片；一第一绝缘材料薄膜，贴覆于该倾斜支撑片的该倾斜表面上...

【专利技术属性】
技术研发人员：洪柳宏，陈民恭，黄士豪，庄铭德，陈国梁，
申请(专利权)人：联华电子股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：71[中国|台湾]