下载晶片承载装置的技术资料

文档序号:3224216

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一种晶片承载装置,包括:一机械手臂,向其前方延伸出一盘体;至少一倾斜支撑片,设置在该盘体的一端,且该倾斜支撑片具有一倾斜表面,用来支撑一晶片;至少一末端固定卡件,设置在该盘体的另一端;一可内缩式活动卡件,设于该倾斜支撑片的一侧,用来将该晶片...
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