用于衬底传递的高温抗下垂终端受动器制造技术

本发明专利技术的实施方式涉及用于传递半导体衬底的高温抗下垂终端受动器。本发明专利技术的一个实施方式提供一种使用衬底传送器的终端受动器。所述终端受动器包含自由端，其具有配置为支撑衬底的衬底支撑平面，并使衬底相对于水平面成第一角度定位；所述终端受动器包含固定端，其配置为安装在所述衬底传送器上，其中当没有衬底设置在自由端上时，所述终端受动器安装在衬底传送器上的衬底支撑平面相对于水平面成第二角度的位置，以及所述第一角度不同于第二角度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术的实施方式通常涉及在半导体处理中装卸并传送半导体衬底。本发 明的实施方式尤其涉及使用机械手传送半导体衬底的终端受动器。
技术介绍
在不适宜和/或不期望人工操作的应用中，机械臂的使用对制造非常便利。 例如在半导体制造业中，机械臂用于在多个步骤期间以及步骤之间加快传送衬 底并减少污染。在半导体处理中使用的衬底传送器(substrate handler)通常包括一个或多 个连接到机械臂的终端受动器，也被称为是机械刀片或承载器。终端受动器配 置为在半导体传递期间支撑衬底。对于集成半导体处理系统，机械臂通常设置 在具有多个小平面和装载/卸载端口的传递室，其中具有多个小平面是为了适 用于多个处理室。在处理期间，传递室中的机械臂首先从装载端口将衬底装载 在终端受动器上。在将衬底放回传递室之后，机械臂将衬底传递至连接到该传 递室的处理室。机械臂将衬底放在处理室中的衬底支架上，并取回终端受动器。 当在处理室中完成处理时，使用机械臂从衬底室中取回衬底，并将衬底移动至 另一个处理室，用于下一个处理步骤。一些普通传递室具有多个小平面以适用于四到六个处理室。处理室可包括 快速热处理(RTP)室、物本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种使用衬底传送器的终端受动器，包含：　　　　自由端，其具有配置为支撑衬底的衬底支撑平面，并位于使衬底相对于水平面成第一角度的位置；以及　　　　固定端，其配置为安装在所述衬底传送器上，其中当没有衬底设置在所述自由端上时，所述终端受动器安装在所述衬底传送器上的衬底支撑平面相对于水平面成第二角度的位置，所述第一角度不同于第二角度。

【技术特征摘要】
US 2007-3-9 60/894,0981、一种使用衬底传送器的终端受动器，包含自由端，其具有配置为支撑衬底的衬底支撑平面，并位于使衬底相对于水平面成第一角度的位置；以及固定端，其配置为安装在所述衬底传送器上，其中当没有衬底设置在所述自由端上时，所述终端受动器安装在所述衬底传送器上的衬底支撑平面相对于水平面成第二角度的位置，所述第一角度不同于第二角度。2、 根据权利要求1所述的终端受动器，其特征在于，所述第一角度和第 二角度之间的差是由所述终端受动器的结构、所述终端受动器的材料、所述衬 底的尺寸和重量或操作温度来预先确定的。3、 根据权利要求1所述的终端受动器，其特征在于，所述固定端的顶表 面基本平行于所述自由端的衬底支撑平面，并且底表面相对于顶表面倾斜。4、 根据权利要求3所述的终端受动器，其特征在于，倾斜角度等于所述 第一角度和第二角度之间的差。5、 根据权利要求1所述的终端受动器，其特征在于，所述第一角度约为 零度。6、 根据权利要求1所述的终端受动器，其特征在于，所述自由端包含三 个凸起支架，该凸起支架配置为在其上支撑衬底而不接触衬底的边缘。7、 根据权利要求1所述的终端受动器，其特征在于，所述自由端具有配 置为侧面保持衬底的末端垫座。8、 根据权利要求1所述的终端受动器，其特征在于，所述固定端在终端 受动器的中心线附近具有对准槽，并且所述对准槽配置为将所述终端受动器与 所述衬底传送器对准。9、 一种使用衬底传送器的终端受动器，包含自由端，其具有配置为在其上支撑衬底的衬底支撑平面，其中所述衬底支 撑平面延伸至第一平面；以及固定端，其具有配置为将终端所述受动器固定在衬底传送器的安装表面， 其中所述安装表面延伸至第二平面，且所述第一平面和第二平面相交。10、 根据权利要求9所述的终端受动器，其特征在于，所述固定端具有形成在终端受动器的中心线附近的对准槽，其配置为将终端受动器与衬底传送器 对...

【专利技术属性】
技术研发人员：杰弗里A布罗迪恩，多明戈格拉，怀特尼B克勒兹，
申请(专利权)人：应用材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]