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本发明的实施方式涉及用于传递半导体衬底的高温抗下垂终端受动器。本发明的一个实施方式提供一种使用衬底传送器的终端受动器。所述终端受动器包含自由端，其具有配置为支撑衬底的衬底支撑平面，并使衬底相对于水平面成第一角度定位；所述终端受动器包含固定端...
该专利属于应用材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料股份有限公司授权不得商用。

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