一种用电子束物理气相沉积制备纳米多层高阻抗软磁材料及其方法技术

本发明专利技术涉及一种用电子束物理气相沉积制备纳米多层高阻抗软磁材料的方法，它是在金属、非金属表面镀上一层或一层以上的纳米多层高阻抗软磁材料，该软磁材料由铁系软磁材料和陶瓷材料组成，其结构可以为一层铁系软磁材料层，一层陶瓷材料层，或一层铁系软磁材料层，一层铁系软磁材料层＋陶瓷材料层的纳米颗粒复合单层膜。通过控制各层的晶粒度、单轴各向异性以及层间距，可以获得高饱和磁化强度及高电阻率的纳米级复合多层软磁材料。本发明专利技术制备的纳米混合层复合材料适用于高频交变磁场下工作的各种电子器件及其它用途的薄膜与涂层。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及。现在技术铁系(铁硅合金(FeSi)、铁镍合金(FeNi)、铁氮(FeN)等)软磁材料(材料A)通常具有较高的饱和磁化强度及导磁率，较低的矫顽力及电阻率；陶瓷材料(氧化锆(ZrO2)、三氧化二铝(Al2O3)、氮化铝(AlN)等)(材料B)通常具有较高的电阻率。如果将二者以纳米或微米多层的形式复合，并控制层间距及层界面形态，可获得具有高阻抗、低矫顽力的软磁材料。另一方面，由于陶瓷层的存在，将使体系的饱和磁化强度下降，因此，在某些特定的使用背景下，难以满足电子器件小型化、轻量化、超薄型化对饱和磁化强度的要求。专利技术目的本专利技术的目的是提供一种纳米多层高阻抗软磁材料。本专利技术的另一个目的是提供一种用电子束物理气相沉积制备纳米多层高阻抗软磁材料的方法。技术方案本专利技术的目的是这样实现的一种用电子束物理气相沉积制备纳米多层高阻抗软磁材料，它是在金属、非金属表面镀上一层或一层以上的纳米多层高阻抗软磁材料，其中，纳米多层高阻抗软磁材料由铁系软磁材料和陶瓷材料组成，其结构为一层铁系软磁材料层，一层陶瓷材料层交替沉积而成；或者结构为一层铁系软磁材料层，一层铁系软磁材料层+本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用电子束物理气相沉积制备纳米多层高阻抗软磁材料，它是在金属、非金属表面镀上一层或一层以上的纳米多层高阻抗软磁材料，其特征在于：纳米多层高阻抗软磁材料由铁系软磁材料和陶瓷材料组成，其结构为一层铁系软磁材料层，一层陶瓷材料层交替沉积而成。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：毕晓昉，宫声凯，徐惠彬，
申请(专利权)人：北京航空航天大学，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]