下载一种用电子束物理气相沉积制备纳米多层高阻抗软磁材料及其方法的技术资料

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本发明涉及一种用电子束物理气相沉积制备纳米多层高阻抗软磁材料的方法,它是在金属、非金属表面镀上一层或一层以上的纳米多层高阻抗软磁材料,该软磁材料由铁系软磁材料和陶瓷材料组成,其结构可以为一层铁系软磁材料层,一层陶瓷材料层,或一层铁系软磁材料...
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