连续式电浆处理机构制造技术

本实用新型专利技术涉及磁控溅镀设备领域，具体涉及连续式电浆处理机构，包括：真空清洁腔、与真空清洁腔连接的真空隔断阀和真空法兰、穿过真空法兰与真空清洁腔内部空间连通的液冷管、设置在真空清洁腔内的液冷电极、台车，以及脉冲式直流电源；采用本实用新型专利技术，通过台车配合真空清洁腔内的滚轮，实现在线转运的效果，无需中转上下料，节约人力物力；真空隔断阀与真空法兰提供真空环境，配合脉冲式直流电源和液冷管接入液冷电极，实现真空电浆清洗活化；在磁控溅镀设备线设计适用的在线机构，实现产品清洁活化制程的在线化，减少产品中转的成本，提高产品的质量。高产品的质量。高产品的质量。

【技术实现步骤摘要】
连续式电浆处理机构


[0001]本技术涉及磁控溅镀设备领域，具体涉及连续式电浆处理机构。

技术介绍

[0002]水平式磁控溅镀机，由于受限于腔体抽气容积考量，多为扁长型设计。旧型设备在设计建置时未必会考量加入真空电浆前处理。若有出现镀膜附着不佳时，就需要在镀膜前针对表面进行预处理，例如喷砂糙化、清洗、烘烤，或者电浆处理；
[0003]喷砂糙化制程需耗费水资源，市场现有的电浆前处理设备则多为单机型设计，二者皆须使用人力及周转设备进行不同设备的上下料周转，相当浪费人力物力。

技术实现思路

[0004]本技术目的是在于提供一种适用于磁控溅镀在线转运、真空电浆清洁、电极高效液冷的电浆处理机构
[0005]连续式电浆处理机构，包括：真空清洁腔、与真空清洁腔连接的真空隔断阀和真空法兰、穿过真空法兰与真空清洁腔内部空间连通的液冷管、设置在真空清洁腔内的液冷电极、台车，以及脉冲式直流电源；
[0006]所述液冷电极包括液冷上电极板和若干液冷下电极板，所述真空清洁腔的内腔体底面设置有若干滚轮，所述液冷下电极板设置在滚轮的间隙，并通过绝缘座固定在真空清洁腔的内腔体底面；所述液冷上电极板通过绝缘架架设在液冷下电极板的上方；
[0007]所述台车架设在滚轮上，与滚轮滚动接触，所述台车用于放置待加工产品；所述真空隔断阀的气管与绝缘架连接；所述接入真空清洁腔的液冷管与液冷电极连接；所述脉冲式直流电源通过真空法兰与液冷电极连接。
[0008]进一步的，所述液冷上电极板包括上电极板和上液冷管，所述上液冷管紧贴固定在上电极板的上方；所述上液冷管与液冷管连通，并进行液循环。
[0009]进一步的，所述液冷下电极板包括下电极板和下液冷管，所述下液冷管穿设在绝缘座中，并紧贴固定在下电极板的下方；所述下液冷管与液冷管连通，并进行液循环。
[0010]进一步的，所述绝缘架包括：固定在真空清洁腔的内底面上的底架、与上电极板连接的上架和用于连接上架和底架的横架；所述底架上开设有通气孔，所述通气孔的气管与真空隔断阀的气管连接。
[0011]进一步的，所述绝缘座和真空法兰均由铁氟龙材质制成。
[0012]本技术的有益效果是：
[0013]本技术正常工作状态下，由真空隔断阀通过绝缘架对真空清洁腔内进行真空前置准备，通入适量的氧气、氩气、氮气等混合气体，使真空清洁腔内维持特定的工作环境，再由脉冲式直流电源通过真空法兰向上液冷电极板和液冷下电极板供电，外部液冷管也通过真空法兰向上液冷电极板和下液冷电极板通入冷却液，通入的高压电压，使得真空清洁腔内的气体，电离成为电浆，所述台车通过固定在真空清洁腔内底面上的滚轮的支撑，可以
有效平稳的运行，从而带动产品经过上液电极板和上液冷电极板之间，电极之间解离行程的电浆离子和电子，受两个电极之间的电压差的驱动，来回加速运动，电浆离子轰击产品表面，达到了电浆清洁与火花的效果；
[0014]采用本技术，通过台车配合真空清洁腔内的滚轮，实现在线转运的效果，无需中转上下料，节约人力物力；真空隔断阀与真空法兰提供真空环境，配合脉冲式直流电源和液冷管接入液冷电极，实现真空电浆清洗活化；在磁控溅镀设备线设计适用的在线机构，实现产品清洁活化制程的在线化，减少产品中转的成本，提高产品的质量。
附图说明
[0015]图1是本技术的侧视示意图；
[0016]图2是本技术的正视示意图；
[0017]附图标记：1-液冷上电极板、101-上液冷管、102-上电极板、2
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液冷下电极板、201-下液冷管、202-下电极板、3-滚轮、4-台车、5
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液冷管、6-绝缘架、61-底架、62-上架、63-横架、64-通气孔、7-真空清洁腔、8-绝缘座、9-真空隔断阀、10-产品、11-真空法兰、12-脉冲直流电源。
具体实施方式
[0018]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0019]参考图1-2所示，连续式电浆处理机构，包括：真空清洁腔7、与真空清洁腔7连接的真空隔断阀9和真空法兰11、穿过真空法兰 11与真空清洁腔7内部空间连通的液冷管5、设置在真空清洁腔7内的液冷电极、台车4，以及脉冲式直流电源12；
[0020]所述液冷电极包括液冷上电极板1和若干液冷下电极板2，所述真空清洁腔7的内腔体底面设置有若干滚轮3，所述液冷下电极板2 设置在滚轮3的间隙，并通过绝缘座8固定在真空清洁腔7的内腔体底面；所述液冷上电极板1通过绝缘架6架设在液冷下电极板2的上方；
[0021]所述台车4架设在滚轮3上，与滚轮3滚动接触，所述台车4用于放置待加工产品10；所述真空隔断阀9的气管与绝缘架6连接；所述接入真空清洁腔7的液冷管5与液冷电极连接；所述脉冲式直流电源12通过真空法兰11与液冷电极连接。
[0022]本技术正常工作状态下，由真空隔断阀9通过绝缘架6对真空清洁腔7内进行真空前置准备，通入适量的氧气、氩气、氮气等混合气体，使真空清洁腔7内维持特定的工作环境，再由脉冲式直流电源12通过真空法兰向上液冷电极板1和液冷下电极板2供电，外部液冷管5也通过真空法兰11向上液冷电极板1和下液冷电极板2通入冷却液，通入的高压电压，使得真空清洁腔7内的气体，电离成为电浆，所述台车4通过固定在真空清洁腔7内底面上的滚轮3的支撑，可以有效平稳的运行，从而带动产品10经过上液电极板1和上液冷电极板2之间，电极之间解离行程的电浆离子和电子，受两个电极之间的电压差的驱动，来回加速运动，电浆离子轰击产品10表面，达到了电浆清洁与火花的效果。
[0023]采用本技术，通过台车4配合真空清洁腔7内的滚轮3，实现在线转运的效果，
无需中转上下料，节约人力物力；真空隔断阀9 与真空法兰11提供真空环境，配合脉冲式直流电源12和液冷管5接入液冷电极，实现真空电浆清洗活化；在磁控溅镀设备线设计适用的在线机构，实现产品清洁活化制程的在线化，减少产品10中转的成本，提高产品的质量。
[0024]参考图1-2，连续式电浆处理机构，进一步的，所述液冷上电极板1包括上电极板102和上液冷管101，所述上液冷管101紧贴固定在上电极板102的上方；所述上液冷管101与液冷管5连通，并进行液循环。
[0025]进一步的，所述液冷下电极板2包括下电极板202和下液冷管201，所述下液冷管201穿设在绝缘座8中，并紧贴固定在下电极板 202的下方；所述下液冷管201与液冷管5连通，并进行冷却液循环。
[0026]本实施例中，上液冷管101和下液冷管201余液冷管5连通，可以更高效的使得上电极板102和下电极板202冷却，保证电离过程的稳定。
[0027]进一步的，所述绝缘架6包括：固定在真空清洁腔7的内底面上的底架61、与上电极板1本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.连续式电浆处理机构，其特征在于，包括：真空清洁腔(7)、与真空清洁腔(7)连接的真空隔断阀(9)和真空法兰(11)、穿过真空法兰(11)与真空清洁腔(7)内部空间连通的液冷管(5)、设置在真空清洁腔(7)内的液冷电极、台车(4)，以及脉冲式直流电源(12)；所述液冷电极包括液冷上电极板(1)和若干液冷下电极板(2)，所述真空清洁腔(7)的内腔体底面设置有若干滚轮(3)，所述液冷下电极板(2)设置在滚轮(3)的间隙，并通过绝缘座(8)固定在真空清洁腔(7)的内腔体底面；所述液冷上电极板(1)通过绝缘架(6)架设在液冷下电极板(2)的上方；所述台车(4)架设在滚轮(3)上，与滚轮(3)滚动接触，所述台车(4)用于放置待加工产品(10)；所述真空隔断阀(9)的气管与绝缘架(6)连接；所述接入真空清洁腔(7)的液冷管(5)与液冷电极连接；所述脉冲式直流电源(12)通过真空法兰(11)与液冷电极连接。2.根据权利要求1所述的连续式电浆处理机构，其特征在于，所述液冷上...

【专利技术属性】
技术研发人员：游秀屏，游敬峰，
申请(专利权)人：柏霆苏州光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：