用于电机测试和确认探针板的设备和方法技术

一种测试探针板的方法，包括在放置在平台上的验证晶片上的探测器内放置探针板的步骤。探针板与验证晶片上的接触区域接触。验证晶片包括围绕接触区域的短路板。测试信号通过验证晶片发送到探针板。接收并分析来自探针板的响应信号。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及半导体制造中使用的设备的测试，且更为具体地，涉及用于探测半导体晶片的探针板的测试。
技术介绍
半导体管芯在制造过程中必须进行测试，以确保该集成电路在管芯方面的可靠性和性能特性。因此，半导体制造商已经发展出不同的测试程序，用于测试半导体管芯。总的功能性的标准测试一般由探针执行，在测试晶片级时的管芯来执行。晶片级上的探针测试也可用于评定管芯的速度等级。在晶片级时并行地测试大量集成电路芯片提供了显著优势，因为测试时间和费用可充分减少。现在，需要包括大型机的大规模的测试器，每次甚至测试一个芯片，且当增加并行测试芯片的阵列容量时，这些机器的复杂性就增加了。然而，因为并行测试所提供的时间的节省，能够同时探查和收集来自许多芯片的数据的高引脚计数(high pin-count)测试器已经被引入，且能同时测试的芯片数量已经逐渐增加。测试设备的重要元件是探针板，它包括测试过程中依次连接到处于测试的晶片的许多探针。因此，确保探针板本身何时运行是测试过程的重要部分。
技术实现思路
本专利技术涉及一种测试晶片测试探针板的方法，它实际上消除了现有技术的一个或多个和缺点。提供了一种测试探针板的方法，该方法包括在放置在平台上的验证晶片上的探测器内放置探针板的步骤。该探针板与验证晶片上的触点区域接触。验证晶片包括围绕接触区域的短路板。测试信号通过验证晶片发送到探针板。接收并分析来自探针板的响应信号。另一方面，提供了一种测试探针板的方法，该方法包括在放置在平台上的空白晶片上的探测器内放置探针板的步骤。该探针板与空白晶片上的触点区域接触。探针板的探针通过在使用平台在X、Y平面内移动空白晶片在空白晶片上做出擦痕。检查空白晶片上的擦痕，以确定探针板上的探针的位置。本专利技术额外的特征和优点将在以下的描述中提出。然而，基于这里提出的描述或从本专利技术的实施中，本专利技术进一步的特征和优点对本领域的技术人员将会明显。说明书和权利要求书，以及附图中特别指出的结构可认识到并获得本专利技术的优点。可以理解，前述的一般描述以及下面的详细描述是示例性的和说明性的，且意图提供对所要求的本专利技术的进一步说明。附图说明包括提供对本专利技术的进一步理解并予以并入说明书，且构成说明书的一部分的附图，图示说明本专利技术的实施例和说明书一起用于说明本专利技术的原理。附图中图1说明半导体探测系统的前视图；图2说明图1的半导体探测系统的侧视图；图3说明本专利技术的一个实施例的探针板的俯视图；图4说明本专利技术的一个实施例的探针板的侧视图；图5说明本专利技术的一个实施例的验证晶片的俯视图；图6说明本专利技术的一个实施例的验证晶片的侧视图；图7说明验证晶片和测试器之间的连接；图8示出示例性的时域反射计的图；图9示出本专利技术的一个实施例的探测器和测试器之间的连接；图10是用于校准图1的测试器的定时的设备的框图；图11到图13是说明图10的各个信号之间的定时关系的定时示意图；图14是由图10的设备产生的关于测试和图10的参考信号之间的相位相关量的数据值的图；图15是由图10的设备产生的关于向图10的测试器通道提供的延迟校准数据值的数据值的图； 图16是说明用于校准图10的测试器的通道定时的一部分设备的框图；图17到图19是说明在反复的校准过程中，图10的各种信号之间的定时关系的额外的定时示意图。具体实施例现在将详细参考本专利技术的实施例，在伴随的附图中说明本专利技术的例子。本专利技术可用于探测半导体晶片，以测试晶片上的半导体管芯。图1和图2说明半导体探测系统。如图1所示，示出前视图，而图2示出侧视图，半导体探测系统包括由两根通信电缆154和155连接到探测器152的测试器151。晶片盘(boat)161安装在探测器152内，并拥有多个晶片160。一个晶片160(通常叫做“处于测试的晶片”，或WUT)被机器手158放置在平台159上。探测器152由通信电缆155连接到测试器151。测试头153通过通信电缆154连接到测试器151。测试头153包括带有到多个探针164的多个电气连接157的探针板156。当WUT160相对于探针板156放置时，使用上看照相机162和下看照相机163用于平台159上的WUT160的对准，以及WUT160上测试垫片164与探针的对准。一般地，平台159垂直(即，在z方向)移动WUT160，以使WUT160上的测试垫片与探针164接触。测试器151控制测试过程。它生成测试数据，通过通信电缆154向测试头153、且通过电缆155向探测器发送测试数据。测试器151一般为计算机。测试头153从测试器151接收测试数据，且通过探针板156向晶片160传递测试数据。测试头153通过探针板156接收由晶片160生成的响应数据，并向测试器151发送响应数据。平台159支持正在测试的晶片160，并垂直和水平移动。平台159也能加倾斜和旋转。平台159将正在测试的晶片169对着探针164移动。探测器152内的一个或多个照相机162、163标识晶片160上的对准标记和探针板156，以帮助晶片160对着探针板156正确放置。机器手158在平台159和晶片板161之间移动晶片160。图3和图4分别示出简化的探针板162的俯视图和侧视图。一般，图1和图2所示的测试头153和探针板156之间的电气连接由pogo(弹簧单高跷)引脚157形成，它们在探针板156上接触pogo引脚垫片301。图4中，沿探针板156的外围以成对示出十六个pogo引脚垫片301。也如图3所示，16个通孔302置于两维正方形阵列中探针板156的中央并通过示踪物303连接到垫片301。为了简化，只示出7个示踪物303。此例中，16个pogo引脚301通过16个示踪物303电气连接到16个通孔302。通孔302通过探针板156提供到探针164的电气路径。如图3和图4所示，示踪物303把pogo引脚301连接到通孔302。图3和图4实际上以简化形式示出了探针板156。例如，一般的探针板通常有数百个pogo引脚垫片301、通孔302和探针164。此外，探针板156一般包括图4所示的多于一个的基底401。例如，图5的美国专利第5,974,662中示出了具有三个基底(PCB、插入物、以及空间变压器)的探针板装置，这里通过引用结合该专利，且它是探针板装置的基本结构的一般例子。探测器152可被用于测试最近制造的探针板156。当探针板156用于测试半导体晶片时，探测器152也可用于周期性地测试探针板156。需要测试的探针板156被放置在探测器152内。然而，却没有制作图1和图2所示的连接探针板156和测试头153的电气连接(探测器152不需要连接到测试器153。)。验证晶片501，如图5和图6说明的一个放置在平台159上。如图5和图6所示，验证晶片501具有与基底601的中间的触点503的短路板502。触点503通过绝缘体与短路板502绝缘。如图7所示，触点503由电缆506连接到一个或多个测试驱动器505，该电缆可以是，例如，柔性电缆、或同轴电缆。尽管未示出，短路板502是接地的。如所示，然后移动验证晶片501与探针164接触。其中一个探针164触摸验证晶片501的“触点”503，而其他探针164接触短路板502。图5和图6的基底601可为任何基底(例如，印制电路板材本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种测试探针板的方法，该方法包含以下步骤：在验证晶片上的探测器内放置探针板；使探针板与验证晶片上的接触区域接触，该验证晶片包括围绕接触区域的短路板；通过接触区域向探针板发送测试信号；以及通过验证晶片从探针板接 收响应信号。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：CA米勒，EB赫里什，
申请(专利权)人：佛姆法克特股份有限公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]