一种探针板制造技术

本发明专利技术的探针板，用于半导体器件可靠性的测试，包括一组探针、探针固定装置、电性连接部分、承载板，探针由探针固定装置固定在承载板上，并通过电性连接部分与外接电源连接，其中每一探针至少包括三部分，其整体是折型，每一部分是直型，并与其相邻部分呈一角度。这样的探针结构使其弹性得到提高，在高温变形之后，常温下还可以回复原样。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体制造过程中检测器件电性能用的探针板，特别是涉及具有高温探测防止变形的针的探针板。
技术介绍
在半导体器件制作过程中，常常需要对器件的可靠性进行测试，包括热载流子效应、栅氧击穿效应、电迁移效应、应力迁移效应等测试。本领域中通常采用探针板来进行可靠性测试。如图1A、1B所示，是现有技术的用于可靠性测试的一探针板的整体图和局部放大图。探针板包括一组探针、探针固定装置、电性连接部分、承载板等，其中，探针与被测试器件的焊盘接触，通过电性连接部分与外接电源进行连接，使器件工作来进行可靠性测试。通常是一组探针，如图1C所示，而探针如图1D所示，是与探针板的平面呈15度角，长度为0.45cm、断面为圆形的直型针，而且通常这些针由钨制成。在测试过程中，探针4与器件上的焊盘5接触，常温下，针扎在焊盘5上，如图2A所示，不会产生特别问题。可是在加高温80℃做应力实验时，焊盘5受热膨胀，焊盘的受热膨胀部分6挤压针4的接触端，针受压弯曲，发生变形，如图2B所示。当实验结束后，温度回复到常温，但是针已经不能回复原样，如图2C所示。因此高温应力测试很容易使针损坏。大多数损坏是发生在针上。实本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种探针板，用于半导体器件可靠性的测试，包括：一组探针；探针固定装置，用于固定一组探针于承载板上；电性连接部分，用于将探针与外接电源连接；一板，承载探针、探针固定装置及电性连接部分；其特征在于，所述每一探针至少包括三部分，其整体呈折型，每一部分呈直型，并与其相邻的部分呈一角度。

【技术特征摘要】
1.一种探针板，用于半导体器件可靠性的测试，包括一组探针；探针固定装置，用于固定一组探针于承载板上；电性连接部分，用于将探针与外接电源连接；一板，承载探针、探针固定装置及电性连接部分；其特征在于，所述每一探针至少包括三部分，其整体呈折型，每一部分呈直型，并与其相邻的部分呈一角度。2.根据权利要求1所述的探针板，其特征在于，所述的探针包括三部分，依次首尾相连，其中，第二部分与第一部分的夹角为130～165度；第三部分与第一部分平行。3.根据权利要求2所述的探针板，其特征在于，所述的第一部分与第二部分、第二部分与第三部分的夹角均为135度，三部分的长度相等。4.根据权利要求1所述的探针板，其特征在于，所述的探针包括四部分，依次首尾相连，其中，第一部分与探针板呈10～20度角；第二部分与第一部分呈1...

【专利技术属性】
技术研发人员：王欢，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]