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本发明的探针板，用于半导体器件可靠性的测试，包括一组探针、探针固定装置、电性连接部分、承载板，探针由探针固定装置固定在承载板上，并通过电性连接部分与外接电源连接，其中每一探针至少包括三部分，其整体是折型，每一部分是直型，并与其相邻部分呈一角...
该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司授权不得商用。

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