长形柔性探针可以被布置在探针卡组件的上导板和下导板的孔中。每个探针都可以包括向其中一个所述导板中的孔的侧壁施加法向力的一个或多个弹簧机构。所述法向力能够在所述侧壁上引起摩擦力，该摩擦力基本平行于所述侧壁。所述摩擦力可以减少或阻止所述孔中的探针平行于所述侧壁的运动。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】【专利说明】
技术介绍
一些类型的探针卡组件包括均布置在间隔开的导板的孔内的长形探针。当将被测试的电子装置的端子被压靠在探针的接触端部上时，探针能够在导板中的孔中滑动和/或弯曲，这能够确保探针的相对端部被压缩在正被测试的电子装置的端子与探针卡组件的端子之间。然而，因为探针能够在导板中的孔内移动，所以在使用探针卡组件测试电子装置之前探针可能移动脱位。另外，探针在孔中移动会使得探针卡组件的组装操作和修理操作更为困难。本专利技术的实施方式能够抑制探针的这种不需要的移动，因而避免由于这种不需要的移动而引起的问题。
技术实现思路
在一些实施方式中，探针卡组件可以包括布置在基板上的导电端子和联接至所述基板的探针组件。所述探针组件可以包括导板和导电探针。每个探针可以包括基础端部、接触端部和位于所述基础端部和所述接触端部之间的长形柔性本体。所述本体的一部分可以被布置在其中一个引导孔中并且可以包括被构造成向所述引导孔的侧壁施加法向力的弹簧机构。所述法向力可以足够大以减少所述探针在所述引导孔中的移动。【附图说明】图1A是根据本专利技术的一些实施方式的探针卡组件的示例的仰视立体图。图1B是图1A的探针卡组件的侧剖视图。图1C是根据本专利技术的一些实施方式的布置在引导孔中并且包括用于阻止探针在引导孔中非有意移动的弹簧机构的探针的上本体部分的详细视图。图2A是根据本专利技术的一些实施方式的其中弹簧机构包括悬臂梁的探针的局部剖切侧视图。图2B示出了处于完全被压缩状态的图2A的悬臂梁。图2C示出了被插入导板的引导孔内的图2A的探针。图3是根据本专利技术的一些实施方式的其中弹簧机构包括多个梁(每个梁都两端受到支撑)的探针的局部剖切侧视图。图4是根据本专利技术的一些实施方式的其中弹簧机构包括在两端受到支撑的梁的探针的局部剖切侧视图。图5A是根据本专利技术的一些实施方式的图1A至IC的探针卡组件的侧剖视图，但是其中一个探针具有可压缩止动结构。图5B是根据本专利技术的一些实施方式的图5A的可压缩止动结构的详细视图。图5C是根据本专利技术的一些实施方式的处于被压缩状态的图5B的可压缩止动结构的详细图。图6A是根据本专利技术的一些实施方式的其中可压缩止动结构包括悬臂梁的探针的局部剖切侧视图。图6B是根据本专利技术的一些实施方式的其中包括悬臂梁的可压缩止动结构被压缩的图6A的探针的局部剖切侧视图。图7A是根据本专利技术的一些实施方式的其中可压缩止动结构包括空心球状结构的探针的局部剖切侧视图。图7B是根据本专利技术的一些实施方式的其中包括空心球状结构的可压缩止动结构被压缩的图6A的探针的局部剖切侧视图。图8示出了根据本专利技术的一些实施方式的其中能够使用图1A至IC的探针卡组件的测试系统的示例。图9示出了根据本专利技术的一些实施方式的探针的示例，其中位于下导板中的引导孔内的该探针本体的下部与位于上导板中的引导孔内的探针本体的上部错开。图10示出了根据本专利技术的一些实施方式的下导板中的引导孔从上导板中的引导孔错位的示例。【具体实施方式】该说明书将描述本专利技术的示例性实施方式和应用。然而，本专利技术不限于这些示例性实施方式和应用或这些示例性实施方式和应用操作的方式或这里描述这些示例性实施方式和应用的方式。而且，附图可能示出简化或部分视图，并且这些图中的元件的尺寸为了清楚起见可能被夸大或者并不成比例。另外，当这里使用术语“在…上”、“附装至”或“联接至”时，一个对象(例如，材料、层、基板等)可以“在另一个对象上”、“附装至”另一个对象或“联接”至另一个对象，而不管所述一个对象是否直接在另一个对象上、直接附装至另一个对象或直接联接至另一个对象，或者不管在所述一个对象和另一个对象之间是否存在一个或多个居间对象。另外，如果提供的话，方向(例如，在…上方、在…下方、顶部、底部、侧部、上、下、向下、在…下面、在…之上、上面、下面、水平、竖直、x、y、z等)都是相对的，并且仅仅通过示例的方式而不是限制的方式提供的，以便容易进行图示和讨论。另外，当参照一列元件(例如，元件a、b、c)时，这种参考旨在包括所列元件本身中的任何一个、少于全部所列元件少的任何组合和/或全部所列元件的组合。如这里使用的，“基本”是指足够为预期目的而工作。“基本平行”是指在平行的正负五度内。“基本法向”是指法线的正负五度内。“基本正交”是指在正交直线的正负五度内。“基本垂直”是指在垂直线的正负五度内。术语“多个”是指多于一个。“长形”是指具有比任何其他尺寸大的长度尺寸。在附图中至少有时示出了方向，并且这里针对正交轴X、y和z参考方向。z方向是指平行于Z轴的方向。如图所示，Z轴以及因而Z方向可以是竖直的，并且x、y平面可以是水平的。另选地，X、Y、Z轴可以不以Z轴竖直的方式取向。在本专利技术的一些实施方式中，布置在探针卡组件的上导板和下导板的对应孔中的长形柔性探针可以包括向所述导板中的一个导板中的孔的侧壁施加法向力的一个或多个弹簧机构。所述法向力在所述侧壁上引起摩擦力，该摩擦力基本平行于所述侧壁，这能够减少或阻止所述探针在所述孔中的移动。图1A至IC示出了根据本专利技术的一些实施方式的探针卡组件100的示例，该探针卡组件100包括均具有弹簧机构162的探针140，该弹簧机构162用于向上导板124中的上引导孔126的侧壁160施加法向(即，基本在与x、y平面平行的平面内)力，这由此提供了基本平行于侧壁160的摩擦力。该摩擦力能够减少或阻止探针140在上引导孔126中的不需要移动，该移动平行于侧壁160。如图所示探针卡组件100可以包括电气接口 104、布线基板102和探针组件120。如下面将参照图8讨论的，接口 104能够与/从测试器的电连接，以便控制电子装置180的测试。电子装置180可以例如为一个或多个半导体晶元(来自制造晶元的半导体晶片的单个或非单个的晶元)和/或其他类型的电子装置。接口 104可以包括提供多种电连接的任何电连接器。接口 104可以例如为一个或多个零插入力电连接器、弹簧针垫(pogo pin pad)等等。如图所示，接口 104可以被布置在布线基板102上，该布线基板102能够提供接口104和电气端子108之间的电连接106，所述电气端子108可以布置在布线基板102的下表面110上。布线基板102可以例如是布线板诸如印刷电路板、包括内部和/或外部电连接的陶瓷基板等。电连接106可以例如是位于布线基板102上和/或布线基板102中的导电过孔和/或迹线。布线基板102的下表面110可以例如基本平行于X、y平面。如图1A和IB所示，探针组件120可以包括布置在上导板124和下导板128中的引导孔126和130中的导电探针140，上导板124和下导板128可以布置在框架122中。如图所示，上导板124和下导板128可以附装至或布置在框架122中，使得导板124和128基本平行并且间隔开。例如，导板124和128可以基本平行于布线基板102的表面110，如上所述，该表面110基本平行于x、y平面。如图所示，在上导板124中可以有上引导孔126，并且在下引导板128中有对应的下引导孔130，探针140可以被布置在引导孔126和130中。如在图1C中所见，每个上孔126的侧壁160都可以基本平行于z轴。如图1B所示，每个探针140可以包括基础端部1本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种探针卡组件，包括：布置在基板上的导电端子；和联接至所述基板的探针组件，所述探针组件包括：包括引导孔的导板；和导电探针，每个所述探针都包括基础端部、接触端部和位于所述基础端部和所述接触端部之间的长形柔性本体，其中所述探针的所述本体的一部分布置在所述引导孔中的一个引导孔内，并且包括弹簧机构，该弹簧机构被构造成向所述引导孔中的所述一个引导孔的侧壁充分地施加法向力，以减少所述探针在所述引导孔中的所述一个引导孔中的移动。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：凯思·J·布赖因林格，凯文·J·休斯，
申请(专利权)人：佛姆法克特股份有限公司，
类型：发明
国别省市：美国;US
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