A probe card for a wafer test system is provided, which has many board features, can controller channel fan out of a test system for testing a number of DUT on the wafer, while limiting the adverse effects of fan out on test results. Board features a probe card includes one or more of the following: (a) DUT signal isolation, it is through the resistor with each DUT input series to isolate the fault of DUT set; (b) DUT power switch, isolation, the series with each DUT power supply pin limit the converter or regulator to set out the power supply, so that the isolation of the fault of the DUT; (c) self testing with single board micro controller or FPGA set; (d) as part of a probe card and set the stacked sub card, for receiving a single board test circuit is added; and (E) in use the bottom of the PCB and sub probe card card or between the test bus controller interface, so that the number of interface between wires at the bottom of the PCB and the sub card or between the bottom of the PCB and the test system of the controller reaches the minimum.
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种测试晶片上集成电路(IC)时所使用的测试系统的探针卡结构。 更具体地讲，本专利技术涉及一种具有智能单板特征的探针卡结构，该结构能使探针卡分配一 条从测试系统控制器到多个测试探针的单通道从而连接到晶片上的IC。
技术介绍
当测试晶片上的IC时，同时测试尽可能多的器件在成本方面是有利的，这会减少 每个晶片所用的测试时间。测试系统控制器不断改进，以便增大通道的数目和可以同时测 试的器件的数目。然而，测试系统控制器的测试通道不断增多对于该测试系统而言是一个 显著的成本因素，因为探针卡具有复杂的路由线路以用来容纳多个平行的测试通道。因此， 期望能提供一种整体的探针卡架构，它可以在不要求增多测试系统控制器通道且不增大探 针卡路由复杂性的情况下增大测试并行性。在测试系统控制器资源有限的情况下，在探针卡中将来自测试系统控制器的一个 信号扇出到多个传输线路可能是值得期望的，因为一个新测试系统控制器的成本通常会超 过探针卡路由复杂性所增加的成本。测试系统控制器所具有的资源能够测试晶片上固定数 目的待测器件(DUT)。随着技术的进步，单个晶片上可制造出更多的DUT。...
【技术保护点】
１．一种探针卡组件，包括：隔离缓冲器，每一个隔离缓冲器都串联在单个测试器通道和多个测试探针之间，从而提供了测试探针的隔离。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：C·A·米勒，M·E·查夫特，R·J·汉森，
申请(专利权)人：佛姆法克特股份有限公司，
类型：发明
国别省市：US
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