【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及电路图案检查装置，该电路图案检査装置能够非接触式 检查在衬底的上面形成的导电图案是否良好，衬底通过固定的传感器 部分。
技术介绍
近年来的显示装置，取代阴极射线管等真空管显示装置，在玻璃衬 底上使用液晶的显示装置，即所谓液晶显示装置或者等离子显示装置 成为主流。所述显示装置的制造过程中，对于玻璃衬底上形成的电路 配线构成的导电图案，进行检査是否存在断线或者短路。到目前为止的一般导电图案的检査方法，例如专利文献1中记载的 接触式检查方法，检查探针的针尖顺次接触导电图案的两端，从一端 的检査探针施加直流检査信号，检査通过另一端的检査探针传输的直 流检査信号，根据是否有检查信号检查是否存在断线或者短路。(端部 连接方式)。不同的检查方法还有专利文献2中记载的方法，使至少两个检査探 针与导电图案的两端在不接触的电容耦合状态下一边移动， 一边从一 个检査探针施加交流检查信号，通过另一个检查探针检査经过导电图 案传输的交流检査信号。根据检查信号的波形变化，检査导电图案中 是否存在断线或短路。专利文献1:日本特开昭62-269075号公报专利文献2:日本特开20...
【技术保护点】
一种电路图案检查装置，其特征在于，具有： 传感器部，相对于传送的衬底上形成的多列导电图案，以电容耦合的非接触方式施加交流检查信号，以非接触方式检测该导电图案传输的上述交流检查信号； 检查台，与上述传感器部分离相对向，由导电体构成； 传送机构，传送上述衬底通过上述传感器部与上述检查台之间； 衬底位置调整机构，设置在上述检查台的与上述传感器部相对向面侧，使通过的上述衬底维持在既定距离的空气上浮状态； 判断部，根据上述传感器部连续获得的上述检测信号发生急剧振幅变化，判断导电图案不良情况。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：羽森宽，石冈圣悟，
申请(专利权)人：OHT株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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