基于干涉光学测量的薄膜应变传感器制造技术

一种聚合物／半导体薄膜应变计，包括来自分光仪（１０）且射到薄膜无源传感器（１２）的可见光，所述传感器（１２）有一透明玻璃基片（１４）和从该基片开始连续的层迭结构，层迭结构包括聚酰亚胺层（１８ａ）、装填氧化铝颗粒的聚硅氧烷层（１６ａ）、聚酰亚胺层（１８ｂ）和装有氧化铝颗粒的聚硅氧烷层（１６ｂ）。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及聚合物/半导体薄膜应变计。
技术介绍
许多民用工程构造在暴露于自然数年后，会呈现出疲劳，偶尔会失效。有时，失效是灾害造成的，如地震、龙卷风或暴风雨等。这样，就要求有一种不受季节环境变化影响的廉价、耐用和灵敏的应变计，此外，这类传感器应该结构简单、便于安装且容易集成到现代数据通信系统内。这里揭示的传感器系统能监视构造的完整性，以保证公共安全与维护。特写的应用场合包括大楼、道路与桥梁的完整性。作为敏感元件，本系统采用了多个廉价的光学应变计，它们对自然环境呈惰性，物理结构牢固。与自动数据采集和诊断分析程序相结合，还可把这类传感器及其光纤数据链路装在上层建筑与桥梁基础上，装在大楼支承件中，或嵌入道路与人行天桥的表面。只用最少的人工可自动地监视和评估此类结构与表面的“健康”状况。在评估日常维护要求或潜在灾害性负载后修复要求方面，详尽的应用信息也具有一定价值。专利技术概述传感器的灵敏度与无源性和源有技术不同。目前的电阻应变传感器，其应变系数(灵敏度的量度)约为1～3，而揭示的传感器的应变系数为200～800量级。难以相信原有技术揭示的无源传感器传感器会配备不依赖于电源的存储器本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种干涉应变计传感器，包括：支承件；具有第一折射率的第一层聚合材料；具有不同于第一折射率的第二折射率的第二层聚合材料，传感器的应变系数至少为１００，光能与传感器有联系，当对传感器加应力时，光能被部分吸收，且光能变化与施加的应力相 关。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：WB尤勒，OJ格雷戈里，GC赫斯顿，
申请(专利权)人：罗得岛及普罗维登斯属地高等教育管理委员会，
类型：发明
国别省市：US[美国]