【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种精密光学干涉测量装置，包括激光器(1)、楔形体半透明半反射玻璃（2）、第一反射镜（3）、第二反射镜（4）、第三反射镜（5）、第四反射镜（6）、第五反射镜（7）、相位调节器（8）、光电二极管（9）、差分器（10）和相关器（11），其技术特征在于，激光器产生的相干光束经过楔形体半透明半反射玻璃分成两个相干光束，其中一个相干光束经过四个反射镜起到增加干涉臂的有效长度，提高了测量精度，另一束经过相位调制器产生一个相位差，这个相位调制器与待测的物理量有关，然后两个相干光束经过楔形体半透明半反射玻璃输出两个干涉光束，由于相位差的产生，汇聚到一起的两束光发生干涉，输出的光强随着相位差变换而变化，这样通过光强的测量就能够获得相位差的值，进而获得待测物理量的值。
【技术特征摘要】
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