下载基于干涉光学测量的薄膜应变传感器的技术资料

文档序号:2511122

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一种聚合物/半导体薄膜应变计,包括来自分光仪(10)且射到薄膜无源传感器(12)的可见光,所述传感器(12)有一透明玻璃基片(14)和从该基片开始连续的层迭结构,层迭结构包括聚酰亚胺层(18a)、装填氧化铝颗粒的聚硅氧烷层(16a)、聚酰亚...
该专利属于罗得岛及普罗维登斯属地高等教育管理委员会所有,仅供学习研究参考,未经过罗得岛及普罗维登斯属地高等教育管理委员会授权不得商用。

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