【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种感应式转换器和电子卡尺，尤其涉及一种小尺寸，并具有高检测性能的感应式转换器，以及使用这种转换器的电子卡尺。在制造工业中，诸如电子卡尺之类的测量设备已经被广泛应用于测量物体的厚度或其它物理尺寸。作为电子卡尺的主要组成部分，已经使用了转换器。在各种转换器中，一般都知道电容型转换器和感应式转换器。在电容型转换器中，将发送电极和接收电极设置在栅板(游标)上，并将信号电极设置在与栅板相对的标尺上。使栅板上的发送电极和接收电极与标尺上的信号电极容性耦合。将驱动信号施加给发送电极，并由处理电路处理在接收电极处根据栅板和标尺的相对的位置而产生的检测信号，由此检测栅板相对于标尺的移动或位置。这种电容式转换器适合于用于相对干净和干燥的环境中，诸如检查室或设计室，但是它无法在诸如车间之类的污染程度相对高的环境中用于尺寸的测量。在存在诸如金属颗粒和研磨粉之类的微粒物质，或诸如冷却之类的流体，或切削液情况下，微粒物质或流体进入标尺上的信号电极和栅板上的信号电极或接收电极之间，并改变信号电极和发送电极或接收电极之间的电容，故而导致检测失败。另一方面，在感应式转换器中，...
【技术保护点】
一种根据两个部件之间的相对位移输出电信号的感应式转换器，其特征在于包含： 用于根据驱动信号产生磁通量的磁通量产生部分； 用于检测根据所述相对位移而改变的磁通量的磁通量检测部分；和 用于处理来自磁通量检测部分的检测信号的信号处理部分； 其中所述磁通量产生部分、磁通量检测部分和信号处理部分以多层结构形成在基底处。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：宫田俊治，林伸行，佐佐木康二，桐山哲郎，
申请(专利权)人：株式会社三丰，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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