【技术实现步骤摘要】
掩模版保护膜的撬膜装置
本技术主要涉及掩模版
，尤其涉及掩模版保护膜的撬膜装置。
技术介绍
掩模版保护膜用于保护掩模版，防止在使用过程中颗粒掉落到掩模版版面上，影响曝光图形的精确性，同时减少划伤版面的风险，延长掩模版的使用寿命。掩模版保护膜一般由硝化纤维组成，如图2所示，该透明保护膜粘附在框架上，由框架来支承，与掩模版之间是中空的。当贴完保护膜的掩模版出现异常情况时，则需要撬膜重新处理，当前业内撬膜的一般方式是直接撬膜，操作过程中，由于胶的粘附力极大，容易把掩模版的铬层粘起，形成缺陷导致掩模版的报废。
技术实现思路
本技术提供掩模版保护膜的撬膜装置，降低了胶对掩模铬层带来伤害的风险，也减少了胶粘附在掩模版上的几率，为了实现上述目的，采用以下技术方案：包括：下平台，掩模版安装于下平台上；掩模温控模块，该模块设置于下平台内，用于对掩模版加热；掩模版固定装置，分布在掩模版外周圈，用于固定掩模版；上盖板，所述上盖板与下平台轴连接；膜框冷却模块，位于上盖板内且对应膜框位置，用于对膜框的降温；连接件...
【技术保护点】
1.一种掩模版保护膜的撬膜装置，其特征在于：包括：下平台(2)，掩模版(5)安装于下平台(2)上；掩模温控模块(3)，该模块设置于下平台(2)内，用于对掩模版(5)加热；掩模版固定装置(6)，分布在掩模版(5)外周圈，用于固定掩模版(5)；上盖板(1)，所述上盖板(1)与下平台(2)轴连接；膜框冷却模块(4)，位于上盖板(1)内且对应膜框(8)位置，用于对膜框(8)的降温；连接件(7)，设置在上盖板(1)上，连接上盖板(1)与膜框(8)，配合掩模版固定装置(6)用于将膜框(8)与掩模版(5)分离。/n
【技术特征摘要】
1.一种掩模版保护膜的撬膜装置，其特征在于：包括：下平台(2)，掩模版(5)安装于下平台(2)上；掩模温控模块(3)，该模块设置于下平台(2)内，用于对掩模版(5)加热；掩模版固定装置(6)，分布在掩模版(5)外周圈，用于固定掩模版(5)；上盖板(1)，所述上盖板(1)与下平台(2)轴连接；膜框冷却模块(4)，位于上盖板(1)内且对应膜框(8)位置，用于对膜框(8)的降温；连接件(7)，设置在上盖板(1)上，连接上盖板(1)与膜框(8)，配合掩模版固定装置(6)用于将膜框(8)与掩模版(5)分离。
2.根据权利要求1所述的掩模版保护膜的撬膜装置，其特征在于：上盖板(1)的下表面开设一凹槽，上盖板(1)的侧面开设有连通凹槽的通孔，连接件(7)一端穿过该通孔后旋入该凹槽内。
3.根据权利要求2所述的掩模版保护膜的撬膜装置，其特征在于：膜框冷却模块(4)采用液体冷却方式，包括两路液体管路，液体管路布置在上盖板(1)内的凹槽槽壁内，连接件(7)位于所述两路液体管路的间隙内。
4.根据权利要求3所述的掩模版保护膜的撬膜装置，其特征在于：所述连接件(7)为销钉，其小头部分穿入凹槽内...
【专利技术属性】
技术研发人员：张闯，严江伟，
申请(专利权)人：无锡迪思微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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