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本实用新型提供掩模版保护膜的撬膜装置，包括：掩模温控模块，该模块设置于下平台内；膜框冷却模块，位于上盖板上且对应膜框位置，用于对模框降温；掩模版固定装置，分布在掩模版外周圈，用于固定掩模版；连接件，用于连接上盖板与膜框，上盖板开启时，带动膜...
该专利属于无锡迪思微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡迪思微电子有限公司授权不得商用。

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