一种用于半导体制程工艺的烤箱装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种用于半导体制程工艺的烤箱装置；包括带有烘烤功能的烤箱本体，该所述的烤箱本体的两侧内壁均设置有上下间隔均匀的若干组横向挂杆；两侧的横向挂杆均对称设置，而每一组横向挂杆则均包括有若干个纵向间隔均匀的单个横向挂杆组成；而两侧相对应的每组横向挂杆上还均设置有L形状结构的挂板。本实用新型专利技术的烤箱内部的空间可自由自主的分隔成可大可小的不同层数的储存空间。

An oven device for semiconductor process

【技术实现步骤摘要】
一种用于半导体制程工艺的烤箱装置
本技术涉及半导体制程工艺设备领域，具体说是一种用于半导体制程工艺的烤箱装置。
技术介绍
在半导体制程工艺中，需要对半导体纸品进行烘干烘烤，现有技术中的用于半导体制程工艺的烘干设备中通常在烤箱内部设置四层固定的烤架用于放置半导体进行烘烤，这种形式的结构其内部烤架的摆放位置及层数过于固定，当需要烘烤的产品较少时，烤架较多不能很好进行均匀的烘烤；而当烘烤的产品较多的时候四层烤架的位置又不能进行调节，烘烤不同高度不同体积的产品时，烤箱内部的空间也不能进行相应调节，因此使用起来非常的不便，不方便进行调节。
技术实现思路
技术目的：针对上述现有技术存在的不足，提供一种用于半导体制程工艺的烤箱装置。技术方案：为了实现上述技术目的，本技术采用的技术方案如下：一种用于半导体制程工艺的烤箱装置；包括带有烘烤功能的烤箱本体，该所述的烤箱本体的两侧内壁均设置有上下间隔均匀的若干组横向挂杆；两侧的横向挂杆均对称设置，而每一组横向挂杆则均包括有若干个纵向间隔均匀的单个横向挂杆组成；而两侧相对应的每组横向挂杆上还均设置有L形状结构的挂板；该所述挂板的竖向边与横向挂杆可拆卸安装；而挂板的横向边上则安装有一排间隔均匀设置的螺杆，而该螺杆上还设置有可调螺帽；并且两侧相对应的挂板上相应的螺杆之间安装有烤架板；所述烤架板的两侧设置有与螺杆位置对应的卡槽；该卡槽的尺寸大于螺杆的外径而小于可调螺帽的，使得烤架板两侧的卡槽卡在螺杆的位置并搭放在可调螺帽或者是搭放在挂板上。作为优选，所述的烤箱本体一侧的横向挂杆以及横向挂杆上安装的挂板和烤架板从上而下共间隔均匀的设置有五组。作为优选，所述烤箱本体上一组横向挂杆在同一高度纵向共设置有间隔均匀的三个。作为优选，所述的挂板上其竖向边从底部向上设置有与横向挂杆位置对应的挂杆槽；所述的挂板安装时将其竖向边的挂杆槽相应挂在横向挂杆上构成可拆卸安装。作为优选，所述的横向挂杆的端部还设置有向上弯折的限位条。作为优选，所述的螺杆的上端高度与挂板3的上端高度位置持平。有益效果：本技术与现有技术相比，具有以下优点：本技术的烤箱内部的空间可自由自主的分隔成可大可小的不同层数的储存空间；现在烤箱内侧壁设置横线挂杆，通过横向挂杆可相应的安装L形状结构的挂板，并且两者的安装结构通过挂杆槽的设计可拆卸安装，拆装方便；而在挂板上再设置螺杆，螺杆上安装可调螺帽，而烤架板的两侧则设置有与螺杆位置相对应的卡槽，这样放置烤架板的时候两侧的卡槽相应卡装在螺杆上即可将烤架板放置在螺杆上；而烤架板的放置可以直接放置在挂板上，然后通过可调螺帽压紧即可；或者是先调节可调螺帽的高度，将烤架板放置在螺杆位置处，并且搭放在可调螺帽上，一样可以稳固烤架板的位置；这样烤架板的位置高度根据可调螺帽的调节可以进行调整，适应不同体积大小的产品的烘干操作，并且可以拆卸每一层的结构，随意设置其层数，因此使用更加的方便，可自由调整烘烤的空间。附图说明图1为本技术结构示意图；图2为图1中B向视图；图3为图1中A向视图。具体实施方式下面结合附图和具体实施例，进一步阐明本技术，本实施例在以本技术技术方案为前提下进行实施，应理解这些实施例仅用于说明本技术而不用于限制本技术的范围。一种用于半导体制程工艺的烤箱装置；包括带有烘烤功能的烤箱本体1，该所述的烤箱本体1的两侧内壁均设置有上下间隔均匀的若干组横向挂杆2；两侧的横向挂杆2均对称设置，而每一组横向挂杆2则均包括有若干个纵向间隔均匀的单个横向挂杆2组成；而两侧相对应的每组横向挂杆2上还均设置有L形状结构的挂板3；该所述挂板3的竖向边与横向挂杆2可拆卸安装；而挂板3的横向边上则安装有一排间隔均匀设置的螺杆4，而该螺杆4上还设置有可调螺帽5；并且两侧相对应的挂板3上相应的螺杆4之间安装有烤架板6；所述烤架板6的两侧设置有与螺杆4位置对应的卡槽7；该卡槽7的尺寸大于螺杆4的外径而小于可调螺帽5的，使得烤架板6两侧的卡槽7卡在螺杆4的位置并搭放在可调螺帽5或者是搭放在挂板3上。所述的烤箱本体1一侧的横向挂杆2以及横向挂杆2上安装的挂板3和烤架板6从上而下共间隔均匀的设置有五组；所述烤箱本体1上一组横向挂杆2在同一高度纵向共设置有间隔均匀的三个。所述的挂板3上其竖向边从底部向上设置有与横向挂杆2位置对应的挂杆槽8；所述的挂板3安装时将其竖向边的挂杆槽8相应挂在横向挂杆2上构成可拆卸安装；所述的横向挂杆2的端部还设置有向上弯折的限位条9；所述的螺杆4的上端高度与挂板3的上端高度位置持平。本技术的烤箱内部的空间可自由自主的分隔成可大可小的不同层数的储存空间；现在烤箱内侧壁设置横线挂杆，通过横向挂杆可相应的安装L形状结构的挂板，并且两者的安装结构通过挂杆槽的设计可拆卸安装，拆装方便；而在挂板上再设置螺杆，螺杆上安装可调螺帽，而烤架板的两侧则设置有与螺杆位置相对应的卡槽，这样放置烤架板的时候两侧的卡槽相应卡装在螺杆上即可将烤架板放置在螺杆上；而烤架板的放置可以直接放置在挂板上，然后通过可调螺帽压紧即可；或者是先调节可调螺帽的高度，将烤架板放置在螺杆位置处，并且搭放在可调螺帽上，一样可以稳固烤架板的位置；这样烤架板的位置高度根据可调螺帽的调节可以进行调整，适应不同体积大小的产品的烘干操作，并且可以拆卸每一层的结构，随意设置其层数，因此使用更加的方便，可自由调整烘烤的空间。具体实施方式只是本技术的一个优选实施例，并不是用来限制本技术的实施与权利要求范围的，凡依据本技术申请专利保护范围所述的内容做出的等效变化和修饰，均应包括于本技术专利申请范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于半导体制程工艺的烤箱装置；包括带有烘烤功能的烤箱本体(1)，其特征在于:该所述的烤箱本体(1)的两侧内壁均设置有上下间隔均匀的若干组横向挂杆(2)；两侧的横向挂杆(2)均对称设置，而每一组横向挂杆(2)则均包括有若干个纵向间隔均匀的单个横向挂杆(2)组成；而两侧相对应的每组横向挂杆(2)上还均设置有L形状结构的挂板(3)；该所述挂板(3)的竖向边与横向挂杆(2)可拆卸安装；而挂板(3)的横向边上则安装有一排间隔均匀设置的螺杆(4)，而该螺杆(4)上还设置有可调螺帽(5)；并且两侧相对应的挂板(3)上相应的螺杆(4)之间安装有烤架板(6)；所述烤架板(6)的两侧设置有与螺杆(4)位置对应的卡槽(7)；该卡槽(7)的尺寸大于螺杆(4)的外径而小于可调螺帽(5)的，使得烤架板(6)两侧的卡槽(7)卡在螺杆(4)的位置并搭放在可调螺帽(5)或者是搭放在挂板(3)上。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于半导体制程工艺的烤箱装置；包括带有烘烤功能的烤箱本体(1)，其特征在于:该所述的烤箱本体(1)的两侧内壁均设置有上下间隔均匀的若干组横向挂杆(2)；两侧的横向挂杆(2)均对称设置，而每一组横向挂杆(2)则均包括有若干个纵向间隔均匀的单个横向挂杆(2)组成；而两侧相对应的每组横向挂杆(2)上还均设置有L形状结构的挂板(3)；该所述挂板(3)的竖向边与横向挂杆(2)可拆卸安装；而挂板(3)的横向边上则安装有一排间隔均匀设置的螺杆(4)，而该螺杆(4)上还设置有可调螺帽(5)；并且两侧相对应的挂板(3)上相应的螺杆(4)之间安装有烤架板(6)；所述烤架板(6)的两侧设置有与螺杆(4)位置对应的卡槽(7)；该卡槽(7)的尺寸大于螺杆(4)的外径而小于可调螺帽(5)的，使得烤架板(6)两侧的卡槽(7)卡在螺杆(4)的位置并搭放在可调螺帽(5)或者是搭放在挂板(3)上。


2.根据权利要求1所述的一种用于半导体制程工艺的烤箱装置；其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘东明，周鑫，
申请(专利权)人：上海旻艾半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31